一种石英坩埚数控铣磨专用机床的制作方法

1.本发明属于石英坩埚加工设备技术领域，特别是涉及一种石英坩埚数控铣磨专用机床。


背景技术：

2.石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料，石英坩埚在加工的过程中需要使用铣磨装置对石英坩埚进行铣磨，但现有铣磨装置对石英坩埚进行定位时难度较大，导致操作人员的工作难度较大，对石英坩埚进行固定时，通常使用夹具从石英坩埚的外侧对石英坩埚进行固定，装置对石英坩埚进行铣磨时容易受到影响，为操作人员提供极大的不便，且石英坩埚的表面进行铣磨时铣磨的效果较差。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种石英坩埚数控铣磨专用机床，以解决了现有的问题：现有铣磨装置对石英坩埚进行定位时难度较大，导致操作人员的工作难度较大。
4.为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：本发明为一种石英坩埚数控铣磨专用机床，包括固定底板和校准机构，所述校准机构位于固定底板的上端，所述校准机构的中间位置设置有固定机构；所述校准机构包括置物板，所述置物板的上端固定有环形固定圈，所述环形固定圈的周侧固定有多个限位管，多个所述限位管的内部均安装有螺纹限位杆，所述螺纹限位杆位于环形固定圈内部的一端固定有限位撑板，所述置物板的上端开设有多个与限位撑板相适应的限位滑槽，所述限位撑板的下端滑动连接在限位滑槽的内部；所述限位管远离环形固定圈的一端转动连接有螺纹传动圈，所述螺纹传动圈和螺纹限位杆螺纹连接，所述螺纹传动圈的外侧固定有从动锥齿圈，所述环形固定圈的外侧转动连接有传动锥齿圈，所述传动锥齿圈和从动锥齿圈啮合连接；所述固定底板内部的一端开设有工作腔，所述工作腔的内部滑动连接有滑动底座，所述滑动底座的上端固定有铣磨机构，所述固定底板的一端装配有第二传动电机，所述第二传动电机的输出端固定连接有传动螺纹杆，且所述传动螺纹杆位于工作腔的内部，所述传动螺纹杆和滑动底座螺纹连接。
5.本技术方案中，通过设置校准机构能够较为简单的对石英坩埚进行定位，从而大大的降低了操作人员的工作难度。
6.进一步地，所述限位撑板的表面胶合连接有柔性垫片。
7.进一步地，所述限位管远离环形固定圈的一端装配有滚动轴承，所述限位管和螺纹传动圈通过滚动轴承转动连接。
8.进一步地，所述传动锥齿圈的上端固定有转动扶手。
9.进一步地，所述固定机构包括多个螺纹固定圈，所述螺纹固定圈固定在校准机构的内部，所述螺纹固定圈的内部螺纹连接有吸附管，所述吸附管外侧的下端固定有从动啮齿轮，多个所述从动啮齿轮的外侧转动连接有环形转动盘，所述环形转动盘的内部设置有传动啮齿圈，所述传动啮齿圈和从动啮齿轮啮合连接；所述吸附管的下端装配有液压缸，所述液压缸的输出端固定连接有分隔板，且所述分隔板位于吸附管的内部，所述分隔板的外侧装配有密封圈，所述密封圈和吸附管为过渡配合，所述吸附管的下端且位于液压缸的周侧开设有多个换气孔。
10.本技术方案中，设置固定机构能够较为简单的从石英坩埚的底部对石英坩埚进行固定，避免对石英坩埚进行铣磨时受到影响，从而为操作人员提供极大的便利。
11.进一步地，所述吸附管的上端胶合连接有吸附垫片，所述吸附垫片的材质为橡胶。
12.进一步地，所述固定底板上端的一端转动连接有转动圈，所述转动圈的周侧开设有多个观察槽，所述转动圈的外侧固定有从动涡轮圈，所述固定底板的上端还装配有第一传动电机，所述第一传动电机的输出端固定有传动蜗杆，所述传动蜗杆和从动涡轮圈啮合连接。
13.本技术方案中，通过各个配件的配合能够均匀的对石英坩埚的表面进行铣磨，从而大大的提升装置铣磨的效果。
14.进一步地，所述固定底板的上端还固定有两个加固支架，所述传动蜗杆转动连接在两个加固支架的中间位置。
15.进一步地，所述固定底板的一端固定有电机安装板，所述第二传动电机螺钉连接在电机安装板的表面。
16.本发明具有以下有益效果：1、本发明通过设置校准机构能够较为简单的对石英坩埚进行定位，从而大大的降低了操作人员的工作难度。
17.2、本发明通过设置固定机构能够较为简单的从石英坩埚的底部对石英坩埚进行固定，避免对石英坩埚进行铣磨时受到影响，从而为操作人员提供极大的便利。
18.3、本发明通过各个配件的配合能够均匀的对石英坩埚的表面进行铣磨，从而大大的提升装置铣磨的效果。
附图说明
19.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为本发明一种石英坩埚数控铣磨专用机床的结构示意图；图2为本发明一种石英坩埚数控铣磨专用机床校准机构的结构示意图；图3为本发明一种石英坩埚数控铣磨专用机床校准机构的局部剖切结构示意图；图4为本发明一种石英坩埚数控铣磨专用机床图3中a处的大样图；图5为本发明一种石英坩埚数控铣磨专用机床固定机构的结构示意图；图6为本发明一种石英坩埚数控铣磨专用机床固定机构的剖切结构示意图；
图7为本发明一种石英坩埚数控铣磨专用机床固定机构的局部剖切结构示意图；图8为本发明一种石英坩埚数控铣磨专用机床环形转动盘的剖切结构示意图；图9为本发明一种石英坩埚数控铣磨专用机床的局部结构示意图；图10为本发明一种石英坩埚数控铣磨专用机床局部剖切结构示意图。
21.附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、固定底板；2、校准机构；3、固定机构；4、第一传动电机；5、传动蜗杆；6、加固支架；7、第二传动电机；8、工作腔；9、滑动底座；10、传动螺纹杆；11、铣磨机构；12、置物板；13、环形固定圈；14、限位管；15、螺纹传动圈；16、从动锥齿圈；17、螺纹限位杆；18、传动锥齿圈；19、转动扶手；20、限位撑板；21、限位滑槽；22、环形转动盘；23、螺纹固定圈；24、吸附管；25、从动啮齿轮；26、吸附垫片；27、分隔板；28、密封圈；29、液压缸；30、换气孔；31、传动啮齿圈；32、电机安装板；33、转动圈；34、观察槽；35、从动涡轮圈。
具体实施方式
22.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
23.请参阅图1-4所示，本发明为一种石英坩埚数控铣磨专用机床，包括固定底板1和校准机构2，校准机构2位于固定底板1的上端，校准机构2的中间位置设置有固定机构3；校准机构2包括置物板12，置物板12的上端固定有环形固定圈13，环形固定圈13的周侧固定有多个限位管14，多个限位管14的内部均安装有螺纹限位杆17，螺纹限位杆17位于环形固定圈13内部的一端固定有限位撑板20，置物板12的上端开设有多个与限位撑板20相适应的限位滑槽21，限位撑板20的下端滑动连接在限位滑槽21的内部；在此，限位撑板20的表面胶合连接有柔性垫片，通过设置柔性垫片能够有效的对石英坩埚进行保护；限位管14远离环形固定圈13的一端转动连接有螺纹传动圈15，螺纹传动圈15和螺纹限位杆17螺纹连接，螺纹传动圈15的外侧固定有从动锥齿圈16，环形固定圈13的外侧转动连接有传动锥齿圈18，传动锥齿圈18和从动锥齿圈16啮合连接；具体的，限位管14远离环形固定圈13的一端装配有滚动轴承，限位管14和螺纹传动圈15通过滚动轴承转动连接；且，传动锥齿圈18的上端固定有转动扶手19，通过设置转动扶手19能够更加方便的转动传动锥齿圈18；将石英坩埚放置在置物板12的上端中间位置，然后用手旋转转动扶手19,转动扶手19转动时会带动传动锥齿圈18一起进行转动，因为传动锥齿圈18和从动锥齿圈16啮合连接，传动锥齿圈18转动时会带动从动锥齿圈16进行转动，从动锥齿圈16转动时会带动螺纹传动圈15一起进行转动，因为螺纹传动圈15和螺纹限位杆17螺纹连接，且螺纹限位杆17受到限位撑板20的限制只能够沿限位滑槽21方向进行滑动，螺纹传动圈15转动时会带动螺纹限位杆17沿限位滑槽21方向进行移动，螺纹限位杆17移动时会带动限位撑板20一起进行移动，当限位撑板20在移动的过程中和石英坩埚接触时，会对石英坩埚进行推动，将石英坩埚
推动至置物板12上端的中间位置，从而能够较为简单的对石英坩埚进行定位，大大的降低了操作人员的工作难度；进一步地，请参阅图1和图5-8所示，固定机构3包括多个螺纹固定圈23，螺纹固定圈23固定在校准机构2的内部，螺纹固定圈23的内部螺纹连接有吸附管24，吸附管24外侧的下端固定有从动啮齿轮25，多个从动啮齿轮25的外侧转动连接有环形转动盘22，环形转动盘22的内部设置有传动啮齿圈31，传动啮齿圈31和从动啮齿轮25啮合连接；旋转环形转动盘22，环形转动盘22转动时会带动传动啮齿圈31进行转动，因为传动啮齿圈31和从动啮齿轮25啮合连接，传动啮齿圈31转动时会带动从动啮齿轮25进行转动，从动啮齿轮25转动时会带动吸附管24一起进行转动，因为吸附管24和螺纹固定圈23螺纹连接，吸附管24转动时会进行垂直移动，直至吸附垫片26和石英坩埚的底端贴合；且，吸附管24的下端装配有液压缸29，液压缸29的输出端固定连接有分隔板27，且分隔板27位于吸附管24的内部，分隔板27的外侧装配有密封圈28，密封圈28和吸附管24为过渡配合，吸附管24的下端且位于液压缸29的周侧开设有多个换气孔30；在此，吸附管24的上端胶合连接有吸附垫片26，吸附垫片26的材质为橡胶；此时，将液压缸29启动，液压缸29启动后会带动分隔板27在吸附管24的内部进行移动，将分隔板27从吸附管24内部的上端移动至吸附管24内部的底端，分隔板27移动时会将吸附管24内部的空气通过换气孔30排出，使吸附管24的内部产生较大的负压，对石英坩埚进行吸附，能够较为简单的从石英坩埚的底部对石英坩埚进行固定，避免对石英坩埚进行铣磨时受到影响，从而为操作人员提供极大的便利；进一步地，请参阅图1和图9-10所示，固定底板1上端的一端转动连接有转动圈33，转动圈33的周侧开设有多个观察槽34，转动圈33的外侧固定有从动涡轮圈35，固定底板1的上端还装配有第一传动电机4，第一传动电机4的输出端固定有传动蜗杆5，传动蜗杆5和从动涡轮圈35啮合连接；在此，固定底板1的上端还固定有两个加固支架6，传动蜗杆5转动连接在两个加固支架6的中间位置；且，固定底板1内部的一端开设有工作腔8，工作腔8的内部滑动连接有滑动底座9，滑动底座9的上端固定有铣磨机构11，固定底板1的一端装配有第二传动电机7，第二传动电机7的输出端固定连接有传动螺纹杆10，且传动螺纹杆10位于工作腔8的内部，传动螺纹杆10和滑动底座9螺纹连接；在铣磨石英坩埚时将第二传动电机7启动，第二传动电机7启动后带动传动螺纹杆10进行转动，因为传动螺纹杆10和滑动底座9螺纹连接，且滑动底座9受到工作腔8的限制只能够在工作腔8的内部进行滑动，传动螺纹杆10转动时会带动滑动底座9沿工作腔8方向进行滑动，滑动底座9滑动时会带动铣磨机构11进行移动，使铣磨机构11和石英坩埚接触，然后启动铣磨机构11对石英坩埚进行铣磨；将第一传动电机4启动，第一传动电机4启动后会带动传动蜗杆5进行转动，因为传动蜗杆5和从动涡轮圈35啮合连接，传动蜗杆5转动时会带动从动涡轮圈35进行转动，从动涡轮圈35转动时会带动转动圈33一起进行转动，转动圈33转动时会带动校准机构2进行转动，校准机构2转动时会带动石英坩埚进行转动，使铣磨机构11能够均匀的对石英坩埚的表面进行铣磨，从而大大的提升装置铣磨的效果；
具体的，固定底板1的一端固定有电机安装板32，第二传动电机7螺钉连接在电机安装板32的表面。
24.本实施例的一个具体应用为：在使用时将石英坩埚放置在置物板12的上端中间位置，然后用手旋转转动扶手19,转动扶手19转动时会带动传动锥齿圈18一起进行转动，因为传动锥齿圈18和从动锥齿圈16啮合连接，传动锥齿圈18转动时会带动从动锥齿圈16进行转动，从动锥齿圈16转动时会带动螺纹传动圈15一起进行转动，因为螺纹传动圈15和螺纹限位杆17螺纹连接，且螺纹限位杆17受到限位撑板20的限制只能够沿限位滑槽21方向进行滑动，螺纹传动圈15转动时会带动螺纹限位杆17沿限位滑槽21方向进行移动，螺纹限位杆17移动时会带动限位撑板20一起进行移动，当限位撑板20在移动的过程中和石英坩埚接触时，会对石英坩埚进行推动，将石英坩埚推动至置物板12上端的中间位置，从而能够较为简单的对石英坩埚进行定位，大大的降低了操作人员的工作难度；然后旋转环形转动盘22，环形转动盘22转动时会带动传动啮齿圈31进行转动，因为传动啮齿圈31和从动啮齿轮25啮合连接，传动啮齿圈31转动时会带动从动啮齿轮25进行转动，从动啮齿轮25转动时会带动吸附管24一起进行转动，因为吸附管24和螺纹固定圈23螺纹连接，吸附管24转动时会进行垂直移动，直至吸附垫片26和石英坩埚的底端贴合；此时，将液压缸29启动，液压缸29启动后会带动分隔板27在吸附管24的内部进行移动，将分隔板27从吸附管24内部的上端移动至吸附管24内部的底端，分隔板27移动时会将吸附管24内部的空气通过换气孔30排出，使吸附管24的内部产生较大的负压，对石英坩埚进行吸附，能够较为简单的从石英坩埚的底部对石英坩埚进行固定，避免对石英坩埚进行铣磨时受到影响，从而为操作人员提供极大的便利；在铣磨石英坩埚时将第二传动电机7启动，第二传动电机7启动后带动传动螺纹杆10进行转动，因为传动螺纹杆10和滑动底座9螺纹连接，且滑动底座9受到工作腔8的限制只能够在工作腔8的内部进行滑动，传动螺纹杆10转动时会带动滑动底座9沿工作腔8方向进行滑动，滑动底座9滑动时会带动铣磨机构11进行移动，使铣磨机构11和石英坩埚接触，然后启动铣磨机构11对石英坩埚进行铣磨；同时，将第一传动电机4启动，第一传动电机4启动后会带动传动蜗杆5进行转动，因为传动蜗杆5和从动涡轮圈35啮合连接，传动蜗杆5转动时会带动从动涡轮圈35进行转动，从动涡轮圈35转动时会带动转动圈33一起进行转动，转动圈33转动时会带动校准机构2进行转动，校准机构2转动时会带动石英坩埚进行转动，使铣磨机构11能够均匀的对石英坩埚的表面进行铣磨，从而大大的提升装置铣磨的效果。
25.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
26.以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅
受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。