一种光学滤波器件的制作方法

1.本实用新型涉及一种半导体器件领域，特别涉及一种光学滤波器件。


背景技术：

2.基于fabry-perot(法伯腔)干涉的光学滤波器件(fpi)可以用于制造微型光谱仪和小型甚至迷你高光谱相机。在可见光-近红外(400nm-1000nm)的高光谱成像领域，相较于其他的解决方案，法伯腔提供最简单的光路和系统结构，可以极大降低高光谱相机的体积、成本以及功效。
3.相机的视场角决定了光学仪器的视野范围，视场角越大，相机拍摄的范围越大，俗称广角。当成像镜头需要大视场角时，单个的光学滤波器件的最大入射角受限制，必须通过拼接或者阵列光学滤波器件的形式来扩大视场角。
4.现有技术常通过打金线工艺实现拼接或阵列后的光学滤波器件之间的电气连接，但该工艺操作复杂，容易产生使光学滤波器件变形的压力，导致光学滤波器件无法正常工作。


技术实现要素：

5.为解决上述现有技术存在的问题，本技术的目的在于提供一种光学滤波器件，在所述光学滤波器件背离法伯腔的上、下外表面设置有刻蚀加工出来的连接焊盘，当光学滤波器件相互拼接或阵列时，通过彼此之间的焊盘直接触压或者以导电胶进行电气连接。拼接方便，操作简单，对光学滤波器件基本不产生压力，提高了组装时的成品率。
6.本实用新型提供一种光学滤波器件，包括设置有第一镜面的第一固定基板和设置有第二镜面的第二固定基板，所述第一固定基板与所述第二固定基板相互键合在一起以在所述第一镜面和所述第二镜面之间形成腔体；所述第一固定基板和/或所述第二固定基板的外表面周边设置有连接焊盘，从而便于所述光学滤波器件对外的信号连接。光学滤波器件通过连接焊盘直接触压或者导电胶对外进行电气连接，对光学滤波器件不产生压力，提高了光学滤波器件组装时的成品率。
7.在一个优选的实施例中，所述第一固定基板尺寸小于第二固定基板，所述第二固定基板的至少一个边缘相对于所述第一固定基板的边缘形成台阶，所述连接焊盘分布在所述台阶的台面上。此形式的光学滤波器件拼接/阵列时，彼此台阶面与台阶面相扣，上下焊盘以触压方式或者通过片状导电胶实现电气连接，所形成的fpi阵列表面平齐美观。
8.在一个优选的实施例中，所述第一固定基板和所述第二固定基板的整体形状上下匹配，其形状是长方形或者椭圆形或者任一不规则形状。光学滤波器件的外形可以根据其所使用的环境进行设计，适用范围广。
9.在一个优选的实施例中，所述第一固定基板和所述第二固定基板的边角轮廓上下对应，其轮廓是直角或者锐角或者弧形或者任一不规则圆弧角。光学滤波器件的轮廓也是根据其所使用的环境进行设计，适用范围广。
10.在一个优选的实施例中，所述光学滤波器件通过有效焊盘和空焊盘交叉电连接。采用此种焊盘形式，便于减少焊盘导电材料的用量，节约成本。
11.在一个优选的实施例中，所述光学滤波器件通过有效焊盘阵列电连接。
12.优选的，所述光学滤波器通过二个有效焊盘电连接，便于减少焊盘导电材料的用量，同时减少刻蚀焊盘的工作量。
13.优选的，所述光学滤波器件通过多个小焊盘阵列电连接。小焊盘形状无限制，便于增加电气连接的稳定性。
14.本实用新型公开了一种光学滤波器件，包括设置有第一镜面的第一固定基板和设置有第二镜面的第二固定基板，所述第一固定基板与所述第二固定基板相互键合在一起以在所述第一镜面和所述第二镜面之间形成腔体；所述第一固定基板和/或所述第二固定基板的外表面周边设置有连接焊盘，从而便于所述光学滤波器件对外的信号连接。当光学滤波器件相互拼接或阵列时，通过彼此之间的焊盘直接触压或者以导电胶进行电气连接。拼接方便，操作简单，对光学滤波器件基本不产生应力，大大提高生产效率，减轻工人的操作难度。
附图说明
15.包括附图1-11，以提供对实施例的进一步理解并且附图被并入本说明书中并且构成本说明书的一部分。附图图示了实施例并且与描述一起用于解释本实用新型的工作原理。将容易认识到其它实施例和实施例的很多预期优点，因为通过引用以下详细描述，它们变得被更好地理解。附图的元件不一定是相互按照比例的。同样的附图标记指代对应的类似部件。
16.图1是本实用新型第一个具体实施例双台阶光学滤波器件的正视结构示意图；
17.图2是本实用新型第一个具体实施例双台阶光学滤波器件的俯视结构示意图；
18.图3是本实用新型第二个具体实施例无台阶光学滤波器件的正视结构示意图；
19.图4是本实用新型第二个具体实施例无台阶光学滤波器件的俯视结构示意图；
20.图5是本实用新型第三个具体实施例单台阶光学滤波器件的正视结构示意图；
21.图6是本实用新型第三个具体实施例单台阶光学滤波器件的俯视结构示意图；
22.图7是本实用新型第一个具体实施例双台阶光学滤波器件的焊盘不同面示意图；
23.图8是本实用新型第二个具体实施例单台阶光学滤波器件的焊盘不同面示意图；
24.图9是本实用新型焊盘构成的第一个实施例示意图；
25.图10是本实用新型焊盘构成的第二个实施例示意图；
26.图11本实用新型焊盘构成的第三个实施例示意图；
具体实施方式
27.为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
28.下面结合附图和实施例对本实用新型作详细的说明。可以理解的是，此处所描述
的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分。
29.需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的技术特征可以相互组合。
30.如图1-4所示，本实用新型提供了一种光学滤波器件，包括设置有第一镜面的第一固定基板1和设置有第二镜面的第二固定基板2，所述第一固定基板1与所述第二固定基板2相互键合在一起，以在所述第一镜面和所述第二镜面之间形成法珀腔体；所述第一固定基板1和/或所述第二固定基板2的外表面周边设置有连接焊盘3，从而便于所述光学滤波器件对外的信号连接。
31.由于焊盘被设置在基板的外表面，所述光学滤波器件无正、反之分，焊盘位置和形式也没有严格要求，因此多个光学滤波器件彼此通过焊盘电气连接，可以任意拼接或组合成fpi阵列，适用于成像镜头的大视场角，应用前景广阔。使用焊盘形式，与传统的打金线工艺相比，工艺简单，方便操作，对光学滤波器件产生的压力小，可以有效的提高组装时的成品率。
32.在具体的实施例中，如图3-4所示，所述光学滤波器件的第一固定基板1与第二固定基板2的尺寸相同，所述连接焊盘3分布在所述第一固定基板1和/或所述第二固定基板2的外表面上。这种上下尺寸相同的光学滤波器件，便于使fpi阵列小型化设计。相邻的光学滤波器件通过片状导电胶实现电气连接，所形成的fpi阵列趋于小型化。
33.在具体实施例中，如图1-2所示，第一固定基板1的尺寸小于第二固定基板2，所述第二固定基板2的至少一个边缘相对于所述第一固定基板1的边缘形成台阶，所述连接焊盘3分布在所述台阶的台面上。这种设有台阶的光学滤波器件，彼此连接时台阶面与台阶面相扣，上下焊盘以触压方式或者通过片状导电胶实现电气连接，所形成的fpi阵列表面平齐美观。
34.如图2所示，第二基板2相对于第一基板1的两个边缘都设有台阶，连接焊盘分别设置在两个台阶面上，此种形式的光学滤波器件适用于拼接或阵列的中间部件，两边分别和邻近的光学滤波器件之间彼此以台阶面相扣，并通过台阶面上的焊盘3相互电连接，电连接线路内部走线，不暴露拼接或阵列的表面，所形成的fpi阵列表面整齐美观。
35.此实施例还有另一种选择。第二基板2相对于第一基板1的一个边缘设有台阶，另一边与第一基板1对齐。这种一端对齐另一端有台阶的光学滤波器件，适用于作为fpi阵列的边缘部件，其与相邻的光学滤波器件连接时，以台阶面相扣，上下焊盘以触压方式或者通过片状导电胶实现电气连接，同样是内部走线，fpi阵列表面整齐美观。
36.在具体的实施例中，根据fpi阵列的不同设计需要，如图1-6所示，焊盘的位置可以位于同一个面上，也可以如图7-8所示，位于光学滤波器件的不同面上。
37.在具体的实施例中，所述第一固定基板1和所述第二固定基板2的形状上下匹配，其形状是长方形或者椭圆形或者任一不规则形状。根据fpi阵列的适用环境，所述光学滤波器件的外形可以设计成适用该环境的任意形状。
38.在具体实施例中，所述第一固定基板1和所述第二固定基板2的边角轮廓上下对应，其轮廓是直角或者锐角或者弧形或者任一不规则圆弧角。同上所述，根据fpi阵列的适用环境，所述光学滤波器件的轮廓可以设计成适用该环境的任意轮廓。
39.在具体实施例中，连接焊盘3的构成方式有多种选择。如图9所示，所述连接焊盘3通过有效焊盘p1和空焊盘p-null交叉构成，便于减少焊盘导电材料的用量，节约成本。
40.如图10-11所示，所述连接焊盘3由有效焊盘阵列构成。
41.在具体实施例中，如图10所示，连接焊盘3由两个较大焊盘p1阵列构成，便于减少焊盘导电材料的用量，同时减少刻蚀焊盘的工作量。
42.在具体实施例中，如图11所示，连接焊盘3有多个小焊盘阵列构成，小焊盘形状无限制，便于增加电气连接的稳定性。
43.在上述具体实施例中公开的一种光学滤波器件，包括设置有第一镜面的第一固定基板和设置有第二镜面的第二固定基板，所述第一固定基板与所述第二固定基板相互键合在一起以在所述第一镜面和所述第二镜面之间形成腔体；所述第一固定基板和/或所述第二固定基板的外表面周边设置有连接焊盘，从而便于所述光学滤波器件对外的信号连接。所述光学滤波器件无正、反之分，焊盘位置和形式也没有严格要求，因此多个光学滤波器件彼此通过焊盘电气连接，可以任意拼接或组合成fpi阵列，适用于成像镜头的大视场角，应用前景广阔。使用焊盘形式，与传统的打金线工艺相比，工艺简单，方便操作，对光学滤波器件产生的压力小，可以有效的提高组装时的成品率。
44.虽然上面结合具体实施例对本实用新型的原理进行了详细的描述，本领域技术人员应该理解，上述实施例仅仅是对本实用新型的示意性实现方式的解释，并非对本实用新型包含范围的限定。实施例中的细节并不构成对本实用新型范围的限制，在不背离本实用新型的精神和范围的情况下，任何基于本实用新型技术方案的等效变换、简单替换等显而易见的改变，均落在本实用新型保护范围之内。