过氧化氢分解抑制剂的制作方法

技术特征：
1.一种用于抑制氮化钛用蚀刻液组合物中所含的过氧化氢的分解的分解抑制剂，其中，包含选自唑类化合物、氨基羧酸类化合物和膦酸类化合物的至少1种化合物作为有效成分。2.根据权利要求1所述的分解抑制剂，其中，还包含水。3.根据权利要求1或2所述的分解抑制剂，其中，还包含水溶性有机溶剂。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的分解抑制剂，其中，包含选自唑类化合物、氨基羧酸类化合物和膦酸类化合物的至少2种化合物。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的分解抑制剂，其中，作为唑类化合物，包含选自1,2,4-三唑、1,2,3-三唑、咪唑和苯并咪唑的至少1种化合物。6.根据权利要求1～4中的任一项所述的分解抑制剂，其中，作为氨基羧酸类化合物，包含选自反式-1,2-二氨基环己烷-n,n,n',n'-四乙酸、乙二胺四乙酸、二亚乙基三胺五乙酸、乙二醇二乙醚二胺四乙酸和三亚乙基四胺六乙酸的至少1种化合物。7.根据权利要求1～4中的任一项所述的分解抑制剂，其中，作为膦酸类化合物，包含选自1-羟基乙烷-1,1-二膦酸和乙二胺四亚甲基膦酸的至少1种化合物。8.根据权利要求1～7中的任一项所述的分解抑制剂，其中，该分解抑制剂用于添加至蚀刻液组合物，使得相对于蚀刻液组合物中的100ppm氮化钛，选自唑类化合物、氨基羧酸类化合物和膦酸类化合物的至少1种化合物达到2mmol/l以上的比例。9.一种抑制氮化钛用蚀刻液组合物中所含的过氧化氢的分解的方法，其中，使用权利要求1～8中的任一项所述的分解抑制剂。10.一种氮化钛用蚀刻液组合物，其中，包含权利要求1～8中的任一项所述的分解抑制剂和过氧化氢。11.根据权利要求10所述的氮化钛用蚀刻液组合物，其中，相对于100ppm氮化钛，以2mmol/l以上的比例包含选自唑类化合物、氨基羧酸类化合物和膦酸类化合物的至少1种化合物。12.根据权利要求10或11所述的氮化钛用蚀刻液组合物，其中，还包含除唑类化合物、氨基羧酸类化合物和膦酸类化合物以外的螯合剂。13.根据权利要求10～12中的任一项所述的氮化钛用蚀刻液组合物，其中，ph为4.0～8.0。

技术总结
本发明以提供抑制氮化钛用蚀刻液组合物中所含的过氧化氢的分解的分解抑制剂为课题。本发明涉及一种用于抑制氮化钛用蚀刻液组合物中所含的过氧化氢的分解的分解抑制剂，其中，包含选自唑类化合物、氨基羧酸类化合物和膦酸类化合物的至少1种化合物作为有效成分。膦酸类化合物的至少1种化合物作为有效成分。膦酸类化合物的至少1种化合物作为有效成分。


技术研发人员：高桥秀树 荻原艾琳娜 廖本男 吴柏衡 李懿
受保护的技术使用者：关东化学株式会社
技术研发日：2020.06.12
技术公布日：2022/1/14