部件安装装置以及部件安装方法与流程

1.本发明涉及部件安装装置以及部件安装方法。


背景技术：

2.在电子设备的生产工序中，使用专利文献1中公开的部件安装装置。
3.现有技术文献
4.专利文献1：日本专利公开公报特开2020-013819号
5.部件安装装置将部件安装于基板的目标位置。部件的安装位置(实际的位置)与目标位置有可能偏离。因此，实施计算安装位置与目标位置的偏离量的校准处理。在校准处理中，将部件安装于专用的夹具。基于安装于夹具的部件的拍摄结果，计算安装位置与目标位置的偏离量。在实施校准处理的期间，部件安装装置无法实施将部件安装于基板的安装处理。因此，存在部件安装装置的可动率降低的可能性。


技术实现要素：

6.本发明的目的在于高效地导出安装位置与目标位置的偏离量。
7.根据本发明，提供一种部件安装装置，具备：动作参数取得部，取得安装头的动作参数；安装偏离量计算部，计算安装偏离量，所述安装偏离量表示通过所述安装头安装于基板上的部件的安装位置与目标位置的偏离量；学习模型生成部，基于表示所述动作参数与所述安装偏离量之间的关系的学习数据，生成学习模型，所述学习模型将所述动作参数作为输入并将所述安装位置与所述目标位置的偏离量作为输出；推定部，将所述动作参数输入所述学习模型，输出推定偏离量，所述推定偏离量表示所述安装位置与所述目标位置的偏离量的推定值；以及动作指令部，基于所述推定偏离量，输出使所述安装头动作的动作指令，以将所述部件安装于所述目标位置。
8.根据本发明，能够高效地导出安装位置与目标位置的偏离量。
附图说明
9.图1是示意性地表示实施方式的部件安装装置的侧视图。
10.图2是示意性地表示实施方式的部件安装装置的俯视图。
11.图3是表示实施方式的吸嘴的侧视图。
12.图4是表示实施方式的控制装置的功能框图。
13.图5是用于说明实施方式的安装头的动作参数的示意图。
14.图6是用于说明实施方式的安装头的动作参数的示意图。
15.图7是用于说明实施方式的安装头的动作参数的示意图。
16.图8是用于说明实施方式的安装头的动作参数的示意图。
17.图9是表示实施方式的部件检测装置的示意图。
18.图10是表示实施方式的学习阶段的流程图。
19.图11是表示实施方式的安装阶段的流程图。
20.图12是表示实施方式的计算机系统的框图。
21.附图标记说明：
22.1：部件安装装置；2：部件供给装置；3：基板支承装置；4：吸嘴；5：安装头；5s：轴；6：吸嘴移动装置；7：头移动装置；8：部件识别装置；9：部件检测装置；10：控制装置；11：基台；12：支柱；13：x轴移动装置；13a：引导部件；13b：致动器；14：y轴移动装置；14a：引导部件；14b：致动器；15：压力传感器；21：生产程序存储部；22：动作参数取得部；23：安装偏离量计算部；24：学习模型生成部；25：学习模型存储部；26：推定部；27：修正量计算部；28：动作指令部；41：连结部；42：第一主体部；43：凸缘部；44：第二主体部；45：保持部；1000：计算机系统；1001：处理器；1002：主内存；1003：存储器；1004：接口；c：部件；ap：供给位置；bp：处理位置；cp：识别位置；dp：安装位置；ep：吸附位置；fp：中心位置；gp：目标位置；w：基板；δb：吸附偏离量；δm：安装偏离量；δme：推定偏离量。
具体实施方式
23.以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明，但本发明并不限定于此。以下说明的实施方式的构成要素能够适当地组合。另外，也存在不使用一部分的构成要素的情况。
24.在实施方式中，设定xyz直角坐标系，参照xyz直角坐标系对各部的位置关系进行说明。xyz直角坐标系是设定于部件安装装置1的局部坐标系。将与规定面内的x轴平行的方向设为x轴方向。将与和x轴正交的规定面内的y轴平行的方向设为y轴方向。将与和规定面正交的z轴平行的方向设为z轴方向。将以x轴为中心的旋转或倾斜方向设为θx方向。将以y轴为中心的旋转或倾斜方向设为θy方向。将以z轴为中心的旋转或倾斜方向设为θz方向。规定面与水平面平行。z轴方向为上下方向。另外，规定面也可以相对于水平面倾斜。另外，在以下的说明中，将规定面适当称为xy平面。
25.[部件安装装置]
[0026]
图1是示意性地表示实施方式的部件安装装置1的侧视图。图2是示意性地表示实施方式的部件安装装置1的俯视图。部件安装装置1将部件c安装于印刷有膏状焊料的基板w。
[0027]
部件安装装置1具备基台11、支柱12、部件供给装置2、基板支承装置3、具有吸嘴4的安装头5、吸嘴移动装置6、头移动装置7、部件识别装置8、部件检测装置9以及控制装置10。
[0028]
基台11设置在使用部件安装装置1的工业设施的地面上。在xy平面内，基台11在x轴方向上较长。基台11的上表面的外形为矩形。支柱12从基台11的上表面向上方突出。支柱12固定于基台11。在实施方式中，支柱12分别配置在基台11的上表面的四角。
[0029]
部件供给装置2供给部件c。在部件安装装置1设定供给位置ap。部件供给装置2将部件c向供给位置ap供给。部件供给装置2包括多个带式供料器。带式供料器具有：带盘，卷绕有保持部件c的带；以及驱动装置，放出卷绕于带盘的带。驱动装置放出带，以使保持于带的部件c向供给位置ap移动。另外，部件供给装置2也可以包括保持部件c的托盘。
[0030]
基板支承装置3支承基板w。在部件安装装置1设定处理位置bp。基板支承装置3在处理位置bp支承基板w。基板支承装置3支承在基台11上。基板支承装置3包括：基板输送装
置，将基板w输送到处理位置bp；以及基板支承部件，支承输送到处理位置bp的基板w。基板输送装置包括：输送机，沿着x轴方向输送基板w；以及引导部件，沿着x轴方向引导基板w。基板支承部件以使基板w的表面与xy平面平行的方式支承基板w。
[0031]
吸嘴4能够拆装地保持部件c。吸嘴4是吸附部件c的上表面的吸附吸嘴。在吸嘴4的前端部设置有开口。吸嘴4的开口与真空系统连接。在吸嘴4的前端部与部件c的上表面接触的状态下，通过执行吸嘴4的开口的吸引动作，将部件c吸附保持在吸嘴4的前端部。通过解除吸嘴4的开口的吸引动作，从吸嘴4释放部件c。
[0032]
安装头5具有多个吸嘴4。安装头5将保持于吸嘴4的部件c安装于基板w。安装头5能够在供给位置ap与处理位置bp之间移动。在xy平面内，供给位置ap以及安装位置bp设定在不同的位置。安装头5移动到供给位置ap，用吸嘴4保持从部件供给装置2供给的部件c。安装头5在供给位置ap用吸嘴4保持部件c之后，移动到处理位置bp，将部件c安装于支承于基板支承装置3的基板w。
[0033]
安装头5具有安装吸嘴4的轴5s。吸嘴4安装在轴5s的下端部。
[0034]
吸嘴移动装置6分别沿着z轴方向以及θz方向移动吸嘴4。吸嘴移动装置6包括安装于安装头5的致动器。吸嘴移动装置6分别设置在多个吸嘴4。吸嘴移动装置6通过将轴5s沿着z轴方向以及θz方向移动，将吸嘴4沿着z轴方向以及θz方向移动。
[0035]
头移动装置7将安装头5分别沿着x轴方向以及y轴方向移动。头移动装置7具有：x轴移动装置13，将安装头5沿着x轴方向移动；以及y轴移动装置14，将安装头5沿着y轴方向移动。
[0036]
x轴移动装置13包括：引导部件13a，沿着x轴方向延伸；以及致动器13b，产生使安装头5沿着x轴方向移动的动力。安装头5支承于引导部件13a。引导部件13a沿着x轴方向引导安装头5。致动器13b的至少一部分配置在安装头5与引导部件13a之间。安装头5一边被引导部件13a引导一边利用致动器13b产生的动力沿着x轴方向移动。
[0037]
y轴移动装置14包括一对引导部件14a以及致动器14b，所述致动器14b产生使引导部件13a沿着y轴方向移动的动力。一方的引导部件14a支承在配置在基台11的 x侧的端部的两个支柱12。另一方的引导部件14a支承在配置在基台11的-x侧的端部的两个支柱12。引导部件13a的 x侧的端部支承在一方的引导部件14a。引导部件13a的-x侧的端部支承在另一方的引导部件14a。引导部件14a沿着y轴方向引导引导部件13a。致动器14b的至少一部分配置在引导部件13a与引导部件14a之间。引导部件13a一边被引导部件14a引导一边利用致动器14b产生的动力沿着y轴方向移动。通过引导部件13a沿着y轴方向移动，安装头5沿着y轴方向移动。
[0038]
吸嘴4通过吸嘴移动装置6以及头移动装置7能够沿着x轴方向、y轴方向、z轴方向以及θz方向这四个方向移动。通过吸嘴4移动，保持在吸嘴4的部件c也能够沿着x轴方向、y轴方向、z轴方向以及θz方向这四个方向移动。
[0039]
部件识别装置8识别保持在吸嘴4的部件c。在部件安装装置1设定识别位置cp。部件识别装置8在识别位置cp识别部件c。识别位置cp设定在供给位置ap与处理位置bp之间。部件识别装置8包括拍摄装置。部件识别装置8识别在供给位置ap保持在吸嘴4且安装于基板w之前的部件c。部件识别装置8识别部件c的形状以及吸嘴4对部件c的保持状态。
[0040]
部件检测装置9检测安装于基板w的部件c。部件检测装置9设置在安装头5。部件检
测装置9包括拍摄装置。部件检测装置9以与多个吸嘴4对应的方式设置有多个。部件检测装置9检测安装于基板w的部件c的安装位置dp。部件c的安装位置dp是指安装于基板w的表面的部件c的实际的位置。部件c的安装位置dp是在xyz直角坐标系中规定的坐标的位置。
[0041]
控制装置10包括计算机系统。控制装置10输出使安装头5动作的动作指令。控制装置10存储表示将部件c向基板w安装的步骤的生产程序。控制装置10基于生产程序输出使安装头5动作的动作指令。
[0042]
[吸嘴]
[0043]
图3是表示实施方式的吸嘴4的侧视图。如图3所示，吸嘴4具有：连结部41，与轴5s连结；第一主体部42，与连结部41连接；第二主体部44，经由凸缘部43与第一主体部42连接；以及保持部45，保持部件c。
[0044]
轴5s为管状。连结部41为柱状。连结部41插入轴5s的内部。第一主体部42与连结部41的下部连接。凸缘部43与第一主体部42的下部连接。第二主体部44与凸缘部43的下部连接。凸缘部43设置在第一主体部42与第二主体部44的边界。与真空系统连接的开口设置在保持部45的下端部。真空系统与保持部45的开口经由轴5s的内部空间连接。
[0045]
吸嘴4吸附部件c的上表面的吸附位置ep。吸嘴4的吸附位置ep是指部件c的上表面中被吸嘴4吸附的位置。即，吸嘴4的吸附位置ep是指部件c的上表面中与保持部45的下端部接触的位置。控制装置10进行控制以使部件c的上表面的中心位置fp被吸嘴4吸附。
[0046]
安装头5具有检测吸嘴4吸附部件c时的吸附压的压力传感器15。压力传感器15例如配置在轴5s的内部空间。吸附压是指吸嘴4吸附部件c时的真空系统与保持部45的开口之间的压力。吸附压为负压。
[0047]
[控制装置]
[0048]
图4是表示实施方式的控制装置10的功能框图。如图4所示，控制装置10分别与包括吸嘴移动装置6及头移动装置7的安装头5、部件识别装置8、部件检测装置9以及压力传感器15连接。
[0049]
控制装置10具有生产程序存储部21、动作参数取得部22、安装偏离量计算部23、学习模型生成部24、学习模型存储部25、推定部26、修正量计算部27以及动作指令部28。
[0050]
生产程序存储部21存储生产程序。生产程序是指表示将部件c安装于基板w的步骤的计算机程序。
[0051]
动作参数取得部22取得安装头5的动作参数。动作参数是指确定安装头5的动作的参数。
[0052]
图5是用于说明实施方式的安装头5的动作参数的示意图。动作参数包含由生产程序规定的动作指令、部件识别装置8的检测数据、压力传感器15的检测数据以及控制装置10的计算数据。动作参数取得部22从生产程序存储部21取得动作参数的至少一部分。动作参数取得部22从部件识别装置8取得动作参数的至少一部分。动作参数取得部22从压力传感器15取得动作参数的至少一部分。动作参数取得部22从修正量计算部27取得动作参数的至少一部分。
[0053]
在实施方式中，动作参数包含安装于基板w的部件c的目标位置gp、到目标位置gp为止的安装头5的移动条件、将部件c安装于基板w时的吸嘴4的移动条件、吸嘴4对部件c的保持条件、部件识别装置8处的部件c的移动条件、以及由修正量计算部27计算的修正量。
[0054]
图6是用于说明实施方式的安装头5的动作参数的示意图。如图6所示，部件c的目标位置gp是指安装于基板w的表面的部件c的目标的位置。部件c的目标位置gp是在xyz直角坐标系中规定的坐标的位置。部件c的目标位置gp记述在生产程序中。即，基于动作指令规定部件c的目标位置gp。
[0055]
如图6所示，到目标位置gp为止的安装头5的移动条件包含从识别位置cp或供给位置ap到目标位置gp为止的安装头5的移动条件。另外，在安装头5设置有对准装置(未图示)，在设置有设在基板w上的对准标记的情况下，在安装头5从通过对准装置检测到对准标记后移动到目标位置gp的情况下，到目标位置gp为止的安装头5的移动条件包含从对准标记检测位置到目标位置gp为止的安装头5的移动条件。到目标位置gp为止的安装头5的移动条件包含到目标位置gp为止的安装头5的移动距离、移动速度以及移动方向。移动距离包括安装头5的x轴方向的移动距离以及y轴方向的移动距离。移动速度包括安装头5的x轴方向的移动速度以及y轴方向的移动速度。移动方向是从识别位置cp或供给位置ap到目标位置gp为止的xy平面内的安装头5的移动方向。到目标位置gp为止的安装头5的移动条件记述在生产程序中。即，基于动作指令规定到目标位置gp为止的安装头5的移动条件。
[0056]
图7是用于说明实施方式的安装头5的动作参数的示意图。如图7所示，将部件c安装于基板w时的吸嘴4的移动条件包含到将部件c安装于基板w为止的z轴方向上的吸嘴4的移动距离以及移动速度。另外，将部件c安装于基板w时的吸嘴4的移动条件包含θz方向上的吸嘴4的旋转角度。将部件c安装于基板w时的吸嘴4的移动条件记述在生产程序中。即，基于动作指令规定将部件c安装于基板w时的吸嘴4的移动条件。
[0057]
图8是用于说明实施方式的安装头5的动作参数的示意图。如图8所示，吸嘴4对部件c的保持条件包含吸附偏离量δb，所述吸附偏离量δb表示吸嘴4的吸附位置ep与部件c的上表面的中心位置fp的偏离量。吸附偏离量δb由部件识别装置8检测。即，基于部件识别装置8的检测数据规定吸附偏离量δb。
[0058]
吸嘴4对部件c的保持条件包含吸嘴4吸附部件c时的吸附压。吸附压由压力传感器15检测。即，基于压力传感器15的检测数据规定吸附压。
[0059]
在使部件识别装置8识别保持于吸嘴4的部件c的情况下，安装头5在识别位置cp使部件c移动。部件识别装置8处的部件c的移动条件包含识别位置cp处的部件c的移动距离、移动速度以及移动方向。部件识别装置8处的部件c的移动条件记述在生产程序中。即，基于动作指令规定部件识别装置8处的部件c的移动条件。
[0060]
安装偏离量计算部23计算安装偏离量δm，所述安装偏离量δm表示通过安装头5安装于基板w的部件c的安装位置dp与目标位置gp的偏离量。如上所述，部件c的安装位置dp是指安装于基板w的表面的部件c的实际的位置。部件c的目标位置gp是指安装于基板w的表面的部件c的目标的位置。部件c的安装位置dp由部件检测装置9检测。部件c的目标位置gp记述在生产程序中。安装偏离量计算部23基于部件检测装置9的检测数据以及生产程序，计算安装偏离量δm。
[0061]
图9是表示实施方式的部件检测装置9的示意图。部件检测装置9包括拍摄装置。部件检测装置9设置于安装头5。部件检测装置9检测安装于基板w的部件c的xyz直角坐标系中的安装位置dp。
[0062]
学习模型生成部24基于表示安装头5的动作参数与安装偏离量δm之间的关系的
学习数据，生成学习模型，所述学习模型将安装头5的动作参数作为输入并将安装位置dp与目标位置gp的偏离量作为输出。即，学习模型生成部24基于由动作参数取得部22取得的动作参数以及由安装偏离量计算部23计算出的安装偏离量δm，执行机器学习。学习模型生成部24基于动作参数以及安装偏离量δm执行机器学习，生成学习模型。
[0063]
学习模型存储部25存储由学习模型生成部24生成的学习模型。
[0064]
推定部26将安装头5的动作参数输入学习模型，计算推定偏离量δme，所述推定偏离量δme表示安装位置dp与目标位置gp的偏离量的推定值。推定部26输出计算出的推定偏离量δme。从动作参数取得部22向推定部26发送安装头5的动作参数。从学习模型生成部24向推定部26发送学习模型。推定部26向由学习模型生成部24生成的学习模型输入由动作参数取得部22取得的动作参数，输出推定偏离量δme。
[0065]
修正量计算部27基于从推定部26输出的推定偏离量δme，计算用于将部件c安装于目标位置gp的修正量。修正量是与xy平面内的安装头5的位置相关的修正量。
[0066]
动作指令部28基于从推定部26输出的推定偏离量δme、以及存储于生产程序存储部21的生产程序，输出使安装头5动作的动作指令，以将部件c安装于目标位置gp。在实施方式中，动作指令部28基于由修正量计算部27计算出的修正量，修正记述在生产程序中的动作指令，向安装头5输出修正后的动作指令。
[0067]
如上所述，安装头5具有多个吸嘴4。在实施方式中，动作参数取得部22取得与多个吸嘴4分别相关的动作参数。推定部26针对多个吸嘴4分别输出推定偏离量δme。修正量计算部27针对多个吸嘴4分别计算用于将部件c安装于目标位置gp的修正量。动作指令部28输出动作指令，以使多个吸嘴4分别将部件c安装于目标位置gp。
[0068]
[学习阶段]
[0069]
图10是表示实施方式的学习阶段的流程图。在学习阶段中，生成将动作参数作为输入并将安装位置dp与目标位置gp的偏离量作为输出的学习模型。
[0070]
在部件安装装置1的安装处理中，动作参数取得部22取得安装头5的动作参数。另外，在部件安装装置1的安装处理中，安装偏离量计算部23基于生产程序以及部件检测装置9的检测数据，计算安装偏离量δm。部件安装装置1的安装处理是指通过安装头5将部件c安装于基板w的处理。即，部件安装装置1的安装处理是生产电子设备的处理。
[0071]
学习模型生成部24从动作参数取得部22取得动作参数。另外，学习模型生成部24从安装偏离量计算部23取得安装偏离量δm。学习模型生成部24取得包含动作参数以及基于该动作参数安装部件c时的安装偏离量δm的学习数据(步骤sa1)。
[0072]
学习模型生成部24基于在步骤sa1中取得的学习数据，执行机器学习(步骤sa2)。作为机器学习算法，例示了神经网络(neural network)、支持向量机(support vector machine：svm)、决策树(decision tree)、随机森林(random forest)以及引导(booting)的至少一种。
[0073]
学习模型生成部24通过执行机器学习，生成学习模型，所述学习模型将动作参数作为输入并将安装位置dp与目标位置gp的偏离量作为输出(步骤sa3)。
[0074]
学习模型生成部24将在步骤sa3中生成的学习模型存储到学习模型存储部25中(步骤sa4)。
[0075]
[安装阶段]
[0076]
图11是表示实施方式的安装阶段的流程图。在安装阶段中，将动作参数输入学习模型，输出推定偏离量δme，所述推定偏离量δme表示安装位置dp与目标位置gp的偏离量的推定值。
[0077]
在部件安装装置1的安装处理中，动作参数取得部22取得安装头5的动作参数(步骤sb1)。
[0078]
推定部26将在步骤sb1中取得的动作参数输入存储在学习模型存储部25中的学习模型，输出推定偏离量δme，所述推定偏离量δme表示安装位置dp与目标位置rp的偏离量的推定值(步骤sb2)。
[0079]
修正量计算部27基于在步骤sb2中输出的推定偏离量δme，计算用于将部件c安装于目标位置gp的修正量(步骤sb3)。
[0080]
动作指令部28基于从推定部26输出的推定偏离量δme以及存储在生产程序存储部21中的生产程序，输出使安装头5动作的动作指令，以将部件c安装于目标位置gp。在实施方式中，动作指令部28基于在步骤sb3中计算出的修正量，修正记述在生产程序中的动作指令，向安装头5输出修正后的动作指令(步骤sb4)。
[0081]
由此，将部件c安装于基板w的表面的目标位置gp。
[0082]
安装头5具有多个吸嘴4。在实施方式中，动作参数取得部22取得与多个吸嘴4分别相关的动作参数。推定部26对多个吸嘴4的每一个，输出推定偏离量δme。修正量计算部27对多个吸嘴4的每一个计算用于将部件c安装于目标位置gp的修正量。动作指令部28输出动作指令，以通过多个吸嘴4的每一个将部件c安装于目标位置gp。
[0083]
[计算机系统]
[0084]
图12是表示实施方式的计算机系统1000的框图。上述控制装置10包括计算机系统1000。计算机系统1000具有：cpu(central processing unit，中央处理单元)这样的处理器1001；包括rom(read only memory，只读存储器)这样的非易失性存储器以及ram(random access memory，随机存取存储器)这样的易失性存储器的主内存1002；存储器1003；以及包括输入输出电路的接口1004。控制装置10的功能作为计算机程序存储在存储器1003中。处理器1001从存储器1003读出计算机程序并在主内存1002中展开，按照计算机程序执行上述处理。另外，计算机程序也可以经由网络向计算机系统1000分发。
[0085]
计算机程序能够按照上述的实施方式使计算机系统1000执行：取得安装头5的动作参数；计算表示通过安装头5安装于基板w的部件c的安装位置dp与目标位置gp的偏离量的安装偏离量δm；基于表示动作参数与安装偏离量δm之间的关系的学习数据，生成将动作参数作为输入并将安装位置dp与目标位置gp的偏离量作为输出的学习模型；向学习模型输入动作参数，输出表示安装位置dp与目标位置gp的偏离量的推定值的推定偏离量δme；以及基于推定偏离量δme使安装头5动作，以将部件c安装于目标位置gp。
[0086]
[效果]
[0087]
如以上说明的那样，根据实施方式，在学习阶段中，基于表示安装头5的动作参数与安装偏离量δm之间的关系的学习数据，生成将动作参数作为输入并将安装位置dp与目标位置gp的偏离量作为输出的学习模型。在安装阶段中，将动作参数输入学习模型，计算表示安装位置dp与目标位置gp的偏离量的推定值的推定偏离量δme。基于计算出的推定偏离量δme，对安装头5进行控制，以将部件c安装于目标位置gp。在部件安装装置1的安装处理
中取得安装头5的动作参数。因此，即使不停止部件安装装置1的安装处理，也能够高效地导出安装位置dp与目标位置gp的推定偏离量δme。因此，能够抑制部件安装装置1的可动率的降低。
[0088]
动作参数包含部件c的目标位置gp。如上所述，部件c的目标位置gp是在xyz直角坐标系中规定的坐标的位置。在将部件c安装于基板w的情况下，安装头5配置在目标位置gp的上方。基于xyz直角坐标系中的安装头5的位置，例如存在如下的可能性：基台11或支柱12的变形状态发生变化，或者基台11或支柱12的振动状态发生变化，或者基台11或支柱12的重量平衡发生变化。由于变形状态的变化、振动状态的变化或重量平衡的变化，存在安装偏离量δm发生变化的可能性。即，基于目标位置gp，存在安装偏离量δm发生变化的可能性。
[0089]
例如，在将目标位置gp设定在基板w的中央部的情况以及将目标位置gp设定在基板w的周缘部的情况下，存在安装偏离量δm不同的可能性。例如，存在将目标位置gp设定在基板w的周缘部的情况下的安装偏离量δm大于将目标位置gp设定在基板w的中央的情况下的安装偏离量δm的可能性。
[0090]
另外，在将目标位置gp设定在接近对准标记的位置的情况以及将目标位置gp设定在远离对准标记的位置的情况下，存在安装偏离量δm不同的可能性。例如，存在将目标位置gp设定在远离对准标记的位置的情况下的安装偏离量δm大于将目标位置gp设定在接近对准标记的位置的情况下的安装偏离量δm的可能性。
[0091]
通过动作参数包含部件c的目标位置gp，推定部26能够针对不同的目标位置gp的每一个适当地计算推定偏离量δme。修正量计算部27能够针对不同的目标位置gp的每一个适当地计算修正量。因此，动作指令部28能够在不同的目标位置gp分别适当地安装部件c。
[0092]
动作参数包含到部件c的目标位置gp为止的安装头5的移动条件。安装头5的移动条件包含到目标位置gp为止的安装头5的移动距离、移动速度以及移动方向。基于安装头5的移动条件，例如存在如下的可能性：基台11或支柱12的变形状态发生变化，或者基台11或支柱12的振动状态发生变化，或者基台11或支柱12的重量平衡发生变化。由于变形状态的变化、振动状态的变化或重量平衡的变化，存在安装偏离量δm发生变化的可能性。即，基于安装头5的移动条件，存在安装偏离量δm发生变化的可能性。
[0093]
例如，在到目标位置gp为止的安装头5的移动距离为第一移动距离的情况以及比第一移动距离长的第二移动距离的情况下，存在安装偏离量δm不同的可能性。例如，存在安装头5的移动距离为第二移动距离的情况下的安装偏离量δm大于安装头5的移动距离为第一移动距离的情况下的安装偏离量δm的可能性。
[0094]
另外，在到目标位置gp为止的安装头5的移动速度为第一移动速度的情况以及比第一移动速度快的第二移动速度的情况下，存在安装偏离量δm不同的可能性。例如，存在安装头5的移动速度为第二移动速度的情况下的安装偏离量δm大于安装头5的移动速度为第一移动速度的情况下的安装偏离量δm的可能性。
[0095]
另外，在到目标位置gp为止的安装头5的移动方向为x轴方向的情况以及y轴方向的情况下，存在安装偏离量δm不同的可能性。例如，存在安装头5的移动方向为x轴方向的情况下的安装偏离量δm大于安装头5的移动方向为y轴方向的情况下的安装偏离量δm的可能性。
[0096]
通过动作参数包含安装头5的移动条件，推定部26能够针对安装头5的不同的移动
条件的每一个适当地计算推定偏离量δme。修正量计算部27能够针对安装头5的不同的移动条件的每一个适当地计算修正量。因此，动作指令部28能够在安装头5的不同的移动条件的每一个条件下将部件c适当地安装于目标位置gp。
[0097]
动作参数包含将部件c安装于基板w时的吸嘴4的移动条件。吸嘴4的移动条件包含到将部件c安装于基板w为止的z轴方向上的吸嘴4的移动距离以及移动速度。另外，将部件c安装于基板w时的吸嘴4的移动条件包含θz方向上的吸嘴4的旋转角度。基于吸嘴4的移动条件，例如存在如下的可能性：吸嘴4或轴5s的变形状态发生变化，或者吸嘴4或轴5s的振动状态发生变化。由于变形状态的变化或振动状态的变化，存在安装偏离量δm发生变化的可能性。即，基于吸嘴4的移动条件，存在安装偏离量δm发生变化的可能性。
[0098]
例如，在吸嘴4的移动距离为第三移动距离的情况以及比第三移动距离长的第四移动距离的情况下，存在安装偏离量δm不同的可能性。例如，存在吸嘴4的移动距离为第四移动距离的情况下的安装偏离量δm大于吸嘴4的移动距离为第三移动距离的情况下的安装偏离量δm的可能性。
[0099]
另外，在吸嘴4的移动速度为第三移动速度的情况以及比第三移动速度快的第四移动速度的情况下，存在安装偏离量δm不同的可能性。例如，存在吸嘴4的移动速度为第四移动速度的情况下的安装偏离量δm大于吸嘴4的移动速度为第三移动速度的情况下的安装偏离量δm的可能性。
[0100]
另外，在吸嘴4的旋转角度为0
°
的情况以及90
°
的情况下，存在安装偏离量δm不同的可能性。例如，起因于轴5s的稍微弯曲或旋转中心的偏心，存在吸嘴4的旋转角度为90
°
的情况下的安装偏离量δm大于吸嘴4的旋转角度为0
°
的情况下的安装偏离量δm的可能性。
[0101]
通过动作参数包含吸嘴4的移动条件，推定部26能够在吸嘴4的不同的移动条件的每一个条件下适当地计算推定偏离量δme。修正量计算部27能够在吸嘴4的不同的移动条件的每一个条件下适当地计算修正量。因此，动作指令部28能够在吸嘴4的不同的移动条件的每一个条件下将部件c适当地安装于目标位置gp。
[0102]
动作参数包含吸嘴4对部件c的保持条件。部件c的保持条件包含吸附偏离量δb，所述吸附偏离量δb表示吸嘴4的吸附位置ep与部件c的上表面的中心位置fp的偏离量。基于吸附偏离量δb，存在安装偏离量δm发生变化的可能性。
[0103]
例如，在吸附偏离量δb为第一吸附偏离量的情况以及比第一吸附偏离量大的第二吸附偏离量的情况下，存在安装偏离量δm不同的可能性。例如，存在吸附偏离量δb为第二吸附偏离量的情况下的安装偏离量δm大于吸附偏离量δb为第一吸附偏离量的情况下的安装偏离量δm的可能性。通常，安装头5在考虑了吸附偏离量δb的状态下实施安装处理，以将部件c安装于目标位置gp。但是，如果吸附偏离量δb过大，则当保持有部件c的吸嘴4接近基板w的目标位置gp而释放了部件c时，例如起因于部件c的重量平衡，存在部件c被安装于从目标位置gp偏离的位置的可能性。
[0104]
通过动作参数包含吸附偏离量δb，推定部26能够针对不同的吸附偏离量δb的每一个适当地计算推定偏离量δme。修正量计算部27能够针对不同的吸附偏离量δb的每一个适当地计算修正量。因此，动作指令部28能够以不同的吸附偏离量δb的每一个将部件c适当地安装于目标位置gp。
[0105]
另外，部件c的保持条件包含吸嘴4吸附部件c时的吸附压。基于吸附压，存在安装
偏离量δm发生变化的可能性。
[0106]
例如，在吸附压为第一吸附压的情况以及比第一吸附压高的第二吸附压的情况下，存在安装偏离量δm不同的可能性。例如，存在吸附压为第二吸附压的情况下的安装偏离量δm大于吸附压为第一吸附压的情况下的安装偏离量δm的可能性。吸附压高意味着吸嘴4对部件c的吸附是不完善的。如果吸嘴4的部件c的吸附压不完善，则在保持有部件c的吸嘴4接近基板w的目标位置dp而释放部件c时，例如起因于部件c的重量平衡，存在部件c安装于从目标位置gp偏离的位置的可能性。
[0107]
通过动作参数包含吸附压，推定部26能够针对不同的吸附压的每一个适当地计算推定偏离量δme。修正量计算部27能够针对不同的吸附压的每一个适当地计算修正量。因此，动作指令部28能够以不同的吸附压的每一个将部件c适当地安装于目标位置gp。
[0108]
动作参数包含部件识别装置8处的部件c的移动条件。如上所述，在使部件识别装置8识别保持在吸嘴4的部件c的情况下，安装头5在识别位置cp使部件c移动。部件识别装置8处的部件c的移动条件包含识别位置cp处的部件c的移动距离、移动速度以及移动方向。基于部件识别装置8处的部件c的移动条件，例如存在如下的可能性：基台11或支柱12的变形状态发生变化，或者基台11或支柱12的振动状态发生变化，或者基台11或支柱12的重量平衡发生变化。由于变形状态的变化、振动状态的变化或重量平衡的变化，存在部件识别装置8的识别结果发生变化的可能性。例如，存在由部件识别装置8检测的吸附偏离量δb发生变化的可能性。其结果是，存在安装偏离量δm发生变化的可能性。即，基于部件识别装置8处的部件c的移动条件，存在安装偏离量δm发生变化的可能性。
[0109]
通过动作参数包含部件识别装置8处的部件c的移动条件，推定部26能够针对部件识别装置8处的部件c的不同的移动条件的每一个适当地计算推定偏离量δme。修正量计算部27能够针对部件识别装置8处的部件c的不同的移动条件的每一个适当地计算修正量。因此，动作指令部28能够以部件识别装置8处的部件c的不同的移动条件的每一个将部件c适当地安装于目标位置gp。
[0110]
安装头5具有多个吸嘴4。在实施方式中，动作参数取得部22取得与多个吸嘴4分别相关的动作参数。推定部26针对多个吸嘴4的每一个输出推定偏离量δme。修正量计算部27针对多个吸嘴4的每一个计算用于将部件c安装于目标位置gp的修正量。动作指令部28输出动作指令，以通过多个吸嘴4的每一个将部件c安装于目标位置gp。由此，多个吸嘴4的每一个能够将部件c适当地安装于目标位置gp。
[0111]
[其他实施方式]
[0112]
在上述实施方式中，在学习阶段中，通过部件检测装置9检测部件c的安装位置dp。也可以通过与部件安装装置1不同的检查装置检测部件c的安装位置dp。