一种声波谐振器及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种声波谐振器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底具有空气腔；压电膜，所述压电膜设置在所述衬底的上表面；多个叉指电极，所述多个叉指电极设置在所述压电膜的上表面；其中，所述多个叉指电极包括第一叉指电极集合，所述第一叉指电极集合中每个第一叉指电极上开设有刻蚀通孔，所述刻蚀通孔贯穿所述第一叉指电极和所述压电膜，所述刻蚀通孔与所述空气腔连通。2.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述每个第一叉指电极的侧面设有补偿电极，所述补偿电极的下表面与所述压电膜的上表面连接，所述补偿电极的位置与所述刻蚀通孔的位置匹配。3.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述多个叉指电极还包括第二叉指电极集合；所述第二叉指电极集合与所述第一叉指电极集合相邻设置，且所述第二叉指电极集合与所述第一叉指电极集合间具有间隔。4.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述空气腔是通过所述刻蚀通孔向所述衬底注入刻蚀材料形成的。5.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述多个叉指电极中每个叉指电极的金属化率在区间[1％,50％]内。6.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述压电膜的材料为铌酸锂/钽酸锂；所述压电膜的厚度小于1.5微米。7.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，所述压电膜的厚度与所述多个叉指电极中相邻两个叉指电极的中心间距的比值在区间[0.02,0.5]内。8.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，每个所述叉指电极的下表面和每个所述叉指电极的部分侧面位于所述压电膜内；或者；每个所述叉指电极的下表面和每个所述叉指电极的全部侧面位于所述压电膜内。9.根据权利要求1所述的声波谐振器，其特征在于，还包括：介质层，所述介质层设置在所述压电膜的上表面；或者，所述介质层设置在所述压电膜的下表面；或者，所述介质层设置在所述压电膜的上表面和下表面。10.一种声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括：获取衬底；在所述衬底的上表面制备压电膜；在所述压电膜的上表面制备多个叉指电极；所述多个叉指电极包括第一叉指电极集合；在所述第一叉指电极集合的每个第一叉指电极上开设刻蚀通孔；所述刻蚀通孔贯穿所述第一叉指电极和所述压电膜；
通过所述刻蚀通孔向所述衬底注入刻蚀材料，使得在所述衬底内形成空气腔；所述空气腔与所述刻蚀通孔连通。

技术总结
本申请实施例所公开的一种声波谐振器及其制备方法，声波谐振器包括衬底、压电膜和多个叉指电极，其中，衬底具有空气腔，压电膜设置在衬底的上表面，多个叉指电极设置在压电膜的上表面，多个叉指电极包括第一叉指电极集合，第一叉指电极集合中每个第一叉指电极上开设有刻蚀通孔，刻蚀通孔贯穿第一叉指电极和压电膜，刻蚀通孔与空气腔连通。基于本申请实施例通过在第一叉指电极上开设刻蚀通孔，利用各向同性的刻蚀和释放工艺，可以控制多余的悬空区域的大小，在不影响器件性能的前提下，可以提高器件的功率容量，并且通过减小悬空区域可以提升器件机械稳定性，此外还可以抑制部分杂散波模式。波模式。波模式。


技术研发人员：欧欣 郑鹏程 张师斌 吴进波 张丽萍
受保护的技术使用者：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
技术研发日：2021.10.19
技术公布日：2022/1/11