药液提供装置的制作方法

药液提供装置
1.本技术主张对2020年7月7日向韩国特许厅申请的韩国专利申请第2020-00083381号的优先权。
技术领域
2.本发明的实施例涉及药液提供装置。更具体来讲，本发明的实施例涉及为了在基板上形成向不同方向排列的像素而能够向所述基板上提供药液的药液提供装置。


背景技术：

3.近来，用于制造液晶显示装置、有机发光显示装置之类的显示装置的基板的尺寸在不断增大。大体上为了从具有大尺寸的基板上获得尽量多的板，可在一个基板上形成具有不同尺寸的多个板。例如，可从具有大尺寸的一个基板同时获得约65英寸的板及约32英寸的板。这些具有不同尺寸的板可包括向不同方向排列的像素。
4.为了形成所述向不同方向排列的像素，可向所述基板的至少两个区域上提供药液。例如，为了形成65英寸的板的像素，可朝着第一方向向所述基板的至少两个区域上提供所述药液，为了形成32英寸的板的像素，可朝着第二方向向所述基板的至少两个其他区域上提供所述药液。
5.现有的药液提供装置的药液吐出部件只能朝着一个方向向所述基板上提供所述药液。即，现有的药液吐出部件只能沿着所述第一方向向所述基板的至少两个区域上提供所述药液，或者只能朝着所述第二方向向所述基板的至少两个其他区域提供所述药液。因此，为了在一个基板上形成向不同方向排列的像素，可能需要包括朝着所述第一方向向所述基板提供所述药液的药液吐出部件的药液提供装置及朝着所述第二方向向所述基板上提供所述药液的其他药液吐出部件的其他药液提供装置。利用这些装置在所述基板上形成具有不同尺寸的板的情况下，不仅可能导致所述装置的结构复杂，而且可能导致显示装置的制造费用及时间增加。


技术实现要素：

6.技术问题
7.本发明的目的是提供为了在基板上形成向不同方向排列的像素而能够向所述基板上提供药液的药液提供装置。
8.技术方案
9.根据本发明的一个方面，提供一种包括用于配置基板的工作台、药液吐出部件及方向转换部件的药液提供装置。所述药液吐出部件能够朝着第一方向向用于第一像素的所述基板的至少两个第一区域上提供药液，能够朝着第二方向向用于第二像素的所述基板的至少两个第二区域上提供所述药液。所述方向转换部件能够将所述基板的方向从朝向所述第二方向变更为朝向所述第一方向。
10.在例示性实施例中，所述方向转换部件可包括用于保持所述基板的底面的局部的
保持部件及用于旋转所述保持部件的旋转部件。
11.在部分例示性实施例中，所述保持部件能够向所述基板的底面的局部提供真空吸引。
12.在另一例示性实施例中，所述保持部件能够向所述基板的底面的局部同时提供真空吸引及空气喷射。
13.在部分例示性实施例中，所述药液提供装置还可以包括在变更所述基板的方向时防止超出所述工作台的所述基板的边缘部分向下方弯曲的弯曲防止部件。
14.在例示性实施例中，所述药液提供装置的所述弯曲防止部件能够向超出所述工作台的所述基板的边缘部分提供空气喷射。
15.根据本发明的另一方面，提供一种包括工作台、移送部件、药液吐出部件及方向转换部件的药液提供装置。具有相对长的边及相对短的边的基板可位于所述工作台。所述移送部件能够保持着所述基板的相对长的边的端部或所述基板的相对短的边的端部移送所述基板。所述药液吐出部件能够朝着第一方向向用于第一像素的所述基板的至少两个第一区域上提供药液，能够朝着垂直于所述第一方向的第二方向向用于第二像素的所述基板的至少两个第二区域上提供所述药液。所述方向转换部件能够将所述基板的方向从朝向所述第二方向变更为朝向所述第一方向。
16.在例示性实施例中，所述方向转换部件可包括用于向所述基板的底面的中心部提供真空吸引的保持部件及用于旋转所述保持部件的旋转部件。
17.在部分例示性实施例中，所述方向转换部件可包括用于向所述基板的底面的周边部提供真空吸引的保持部件及用于旋转所述保持部件的旋转部件。其中，所述基板的底面的周边部可位于到所述基板的相对长的边及所述基板的相对短的边的距离相同的位置。
18.在另一例示性实施例中，所述保持部件能够向所述基板的底面同时提供所述真空吸引与空气喷射。
19.在部分例示性实施例中，所述药液提供装置还可以包括所述基板旋转的过程中所述移送部件从把持所述基板的相对长的边的端部改为把持所述基板的相对短的边的端部，或者所述移送部件从把持所述基板的相对短的边的端部改为把持所述基板的相对长的边的端部的情况下，旋转的所述基板的相对长的边的端部或旋转的所述基板的相对长的短的边的端部超出所述移送部件时，调整所述基板的位置或所述移送部件的位置使得所述移送部件把持旋转的所述基板的相对长的边的端部或旋转的所述基板的相对短的边的端部的位置调整部件。
20.在部分例示性实施例中，所述位置调整部件可包括与所述基板的底面接触使得所述基板向所述移送部件移动的旋转辊。
21.在另一例示性实施例中，所述药液提供装置还可以包括为了防止在变更所述基板的方向时超出所述工作台的所述基板的边缘部分向下方弯曲而向超出所述工作台的所述基板的边缘部分提供空气喷射的弯曲防止部件。
22.根据本发明的又一方面，提供一种包括浮起工作台、移送部件、药液吐出部件及方向转换部件的药液提供装置。所述浮起工作台能够在上部浮起具有相对长的边及相对短的边的基板。所述移送部件能够保持着所述基板的相对长的边的端部或所述基板的相对短的边的端部移送所述基板。所述药液吐出部件能够朝着第一方向向用于第一像素的所述基板
的至少两个第一区域上提供药液，能够朝着垂直于所述第一方向的第二方向向用于第二像素的所述基板的至少两个第二区域上提供所述药液。所述方向转换部件能够把持着到所述基板的相对长的边及所述基板的相对短的边的距离相同的所述基板的周边部将所述基板的方向从朝向所述第二方向变更为朝向所述第一方向。
23.在例示性实施例中，所述移送部件能够向所述基板的底面的局部提供真空吸引。
24.在例示性实施例中，所述药液吐出部件可以包括向在所述浮起工作台的上部移送的所述基板上吐出所述药液的门形架及喷墨头。
25.在部分例示性实施例中，所述方向转换部件可以包括向所述基板的底面的局部提供真空吸引的保持部件及直接与所述保持部件连接的直联电动机。
26.在部分例示性实施例中，所述保持部件能够向所述基板的底面的局部同时提供所述真空吸引与空气喷射。
27.在另一例示性实施例中，所述药液提供装置还可以包括为了防止所述基板的方向变更时超出所述工作台的所述基板的边缘部分向下方弯曲而向超出所述工作台的所述基板的边缘部分提供空气喷射的弯曲防止部件。
28.技术效果
29.根据本发明的例示性实施例，所述药液提供装置能够变更配置于所述工作台上的所述基板的方向，因此只用一个药液提供装置即可在一个基板上轻易地形成向不同方向排列的像素。并且，即使由于实质上具有长方形形状的基板旋转而在所述基板与所述移送部件之间发生对齐错误也仍能够调整所述基板的位置及/或所述移送部件的位置，因此能够实现所述基板与所述移送部件之间的准确对齐。尤其，所述药液提供装置能够通过偏心旋转来旋转所述基板，因此能够防止旋转所述基板期间所述基板与所述移送部件之间发生对齐错误。
30.然而，本发明的效果不限于上述效果，在不超出本发明的思想及领域的范围内可进行多种扩张。
附图说明
31.图1为用于说明本发明的例示性实施例的药液提供装置的简要示意图；
32.图2为用于说明适用于本发明的例示性实施例的药液提供装置的基板的示意图；
33.图3为图2的“i”部分的放大图；
34.图4为图2的“ii”部分的放大图；
35.图5为用于说明本发明的例示性实施例的药液提供装置的方向转换部件的简要平面图；
36.图6为用于说明图5的方向转换部件的立体图；
37.图7为用于说明图5的方向转换部件的保持部件的简要剖面图；
38.图8为用于说明本发明的例示性实施例的方向转换部件的配置的简要平面图；
39.图9为用于说明本发明的另一例示性实施例的方向转换部件的配置的简要平面图；
40.图10至图12为用于说明利用本发明的例示性实施例的方向转换部件变更基板的方向的方法的简要平面图；
41.图13及图14为用于说明利用本发明的另一例示性实施例的方向转换部件变更基板的方向的方法的简要平面图。
具体实施方式
42.以下说明本发明的例示性实施例。本发明可做多种变更，可以具有多种形态，以下在说明书中具体说明例示性实施例。但其目的并非将本发明限定于特定公开形态，实际上应该理解为包括本发明思想及技术范围内的所有变更、等同物及替代物。在说明各附图时对类似的构成要素标注类似的附图标记。第一、第二等用语可用于说明多种构成要素，但所述构成要素不得限定于所述用语。所述用语只是用于区分一个构成要素与其他构成要素。本技术中使用的用语只是用于说明特定实施例，而并非意图限定本发明。单数的表现形式在无其他特殊说明的情况下还包括复数的表现形式。应该将本技术中所述“包括”或“构成”等用语理解为存在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合，不应理解为预先排除一个或多个其他特征或数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合。
43.若无另行定义，包括技术用语或科学用语在内的所有用语均表示与本领域普通技术人员通常理解相同的意思。通常使用的词典中定义过的用语应解释为与相关技术的文章脉络相一致的意思，本技术没有明确定义的情况下不得解释为理想或过度形式性的意思。
44.以下参见附图说明本发明的例示性实施例的药液提供装置。在附图中实质上相同或相似的构成要素可用实质上相同或相似的附图标记表示。
45.图1为用于说明本发明的例示性实施例的药液提供装置的简要平面图。
46.参见图1，例示性实施例的药液提供装置100可在液晶显示装置、有机发光显示装置等显示器装置的制造工程中用于向基板上提供指定的药液。例如，所述药液提供装置100可在用于在所述基板形成所述显示装置的像素的工程上向所述基板上提供所述药液。
47.所述药液提供装置100可包括工作台11、药液吐出部件13、移送部件19等。
48.基板10可配置于所述工作台11上，在向所述基板10上提供所述药液期间所述工作台11可保持所述基板10。所述工作台11可具有比所述基板10的尺寸充分更大的尺寸。例如，所述工作台11可具有能够在其上部充分收容所述基板10的尺寸。因此，所述基板10被搬入所述药液提供装置100内的情况下及所述基板10在所述药液提供装置100内被旋转至指定角度的情况下所述工作台11仍能够稳定地支撑所述基板10。
49.在例示性实施例中，所述基板10浮在所述工作台11上部的状态下可向所述基板10上提供所述药液。该情况下，为了在其上部浮起所述基板10，所述工作台11可向所述基板10的底面施加指定的浮起力。例如，所述浮起力可通过空气及/或超声波发生。
50.在部分例示性实施例中，在向所述基板10上提供所述药液期间，所述基板10可具有从所述工作台11的表面被精确控制的高度。即，为了向所述基板10的预期的区域上准确地提供所述药液，需要较为精确地控制所述基板10的底面与所述工作台11的上面之间的距离。为此，所述工作台11可具有能够向所述基板10的底面上同时提供空气喷射及真空吸引的构成。
51.如图1例示，所述药液吐出部件13能够向配置于所述工作台11上或浮在所述工作台11上部的所述基板10上提供所述药液。所述药液吐出部件13能够向通过所述移送部件19在所述工作台11上部被移送的所述基板10上提供所述药液。例如，所述药液吐出部件13可
配置于沿着所述工作台11移动的所述基板10上部。
52.在例示性实施例中，所述药液吐出部件13可在与所述基板10一起移动的同时向所述基板10上提供所述药液。该情况下，所述药液吐出部件13可包括门形架15及设置于所述门形架15的至少一个喷墨头17。在部分例示性实施例中，所述药液吐出部件13可包括多个喷墨头，其中所述多个喷墨头可分别包括用于向所述基板10上喷射所述药液的多个喷嘴。
53.所述门形架15可向实质上与所述基板10被所述移送部件19移送的方向垂直的方向配置。并且，所述至少一个喷墨头17可向实质上与所述门形架15所配置的方向相同的方向配置。在例示性实施例中，所述至少一个喷墨头17能够沿着实质上与所述门形架15的配置方向相同的方向向所述基板10的至少两个区域上提供所述药液。其中，所述基板10被沿着y方向(以下，称为“第二方向”)移送的情况下，所述门形架15及所述至少一个喷墨头17可向x方向(以下，称为“第一方向”)配置。在此，所述至少一个喷墨头17能够朝着所述第一方向及/或所述第二方向向所述基板10的至少两个区域上喷射所述药液。
54.如上所述，例示性实施例的药液提供装置100可具有所述药液吐出部件13能够向所述第一方向及/或所述第二方向向在所述工作台11上或在所述工作台11上部被沿着所述第一方向移送的所述基板10的至少两个区域上至少提供所述药液的结构。
55.在另一例示性实施例中，所述门形架15及所述至少一个喷墨头17所配置的所述第一方向与所述基板10被移送的第二方向也可以实质上并不垂直。例如，所述第二方向相对于所述第一方向可倾斜指定角度而并非直角。
56.以下对能够被本发明的例示性实施例的药液提供装置提供所述药液的基板的构成进行说明。
57.图2为用于说明被本发明的例示性实施例的药液提供装置提供所述药液的基板的构成的平面图。图3为图2的“i”部分的放大图，图4为图2的“ii”部分的放大图。
58.如图2例示，参见图1说明的能够被药液提供装置100吐出所述药液的基板10实质上可具有四角形的平面形状。在例示性实施例中，所述基板10可以是具有相对长的长度的第一边(side)及具有相对短的长度的第二边的长方形的平面形状。
59.在例示性实施例中，所述基板10可用于制造有机发光显示装置、液晶显示装置之类的显示器装置的板。为了制造具有多种构成的显示器装置，相比于在一个基板上形成实质上具有相同尺寸的多个板，可在一个基板上形成具有不同尺寸的多个板。从这种角度来看，在例示性实施例中，可利用所述药液提供装置100在一个基板10上形成约65英寸的板之类的第一板10a及约32英寸板之类的第二板10b。其中，所述第一板10a及所述第二板10b可分别包括多个像素。
60.根据例示性实施例，可利用所述药液提供装置100在所述基板10上形成分别具有不同尺寸的多个像素。换而言之，可利用所述药液提供装置100在所述基板10上形成具有不同尺寸的多种像素。其中，所述多个像素在所述基板10上可向不同的方向排列。例如，如图3例示，各第一板10a可包括多个第一像素31。并且，如图4例示，各第二板10b可包括多个第二像素41。该情况下，所述第一像素31及所述第二像素41可分别向不同的方向排列。
61.在例示性实施例中，如图3例示，所述第一板10a的第一像素31可实质上排列成具有相对长的长度的边沿着所述第一方向配置，具有长度相对短的长度的边沿着所述第二方向配置的长方形的构成。该情况下，所述第一像素31可包括分别相邻配置的红色(r)像素、
绿色(g)像素及蓝色(b)像素。换而言之，各第一像素31可配置成包括相邻配置的红色(r)像素、绿色(g)像素及蓝色(b)像素的像素单元。
62.在例示性实施例中，如图4例示，所述第二板10b的第二像素41可排列成具有相对长的长度的边向所述第二方向配置，具有相对短的长度的边向所述第一方向配置的实质上为长方形的构成。类似地，所述第二像素41可包括分别相邻配置的红色(r)像素、绿色(g)像素及蓝色(b)像素。即，各第二像素41可配置成包括相邻配置的红色(r)像素、绿色(g)像素及蓝色(b)像素的像素单元。
63.在部分例示性实施例中，各所述第一像素31可排列成长轴沿着所述第一方向配置，短轴向所述第二方向配置的实质上为椭圆或实质上为轨道的构成。并且，可排列成各所述第二像素41的长轴沿着所述第二方向配置，短轴向所述第一方向配置的实质上为椭圆或实质上为轨道的构成。
64.在另一例示性实施例中，各所述第一像素31可排列成长轴沿着所述第一方向配置，短轴向所述第二方向配置的实质上为菱形的构成。并且，各所述第二像素41可排列成长轴沿着所述第二方向配置，短轴向所述第一方向配置的实质上为菱形的构成。
65.再次参见图1，所述药液吐出部件13能够如上沿着所述第一方向向所述基板10的至少两个区域上提供所述药液。在例示性实施例中，所述第一像素31可向所述第一方向排列，因此所述药液吐出部件13能够沿着所述第一方向向用于所述第一像素31的所述基板10的至少两个第一区域上吐出所述药液。另外，所述第二像素41可向所述第二方向排列，因此所述药液吐出部件13沿着所述第一方向将所述药液吐出到用于所述第二像素41的所述基板10的至少两个第二区域上的情况下，所述药液可能无法准确地提供到所述第二区域上。因此，为了准确地从所述药液吐出部件13向所述基板10的第二区域上提供所述药液，可以将所述第二像素41的排列方向从朝向所述第二方向转换成朝向所述第一方向。换而言之，可利用所述药液提供装置100转换所述基板10的方向。
66.以下，对本发明的例示性实施例的用于变更所述基板10的方向的方法进行说明。
67.图5为用于说明本发明的例示性实施例的药液提供装置的方向转换部件的简要平面图。图6为用于说明图5的方向转换部件的立体图。图7为用于说明图5的方向转换部件的保持部件的简要剖面图。图8为用于说明本发明的例示性实施例的方向转换部件的位置的简要平面图。图9为用于说明本发明的另一例示性实施例的方向转换部件的位置的简要平面图。
68.参见图1及图5，例示性实施例的药液提供装置100可包括能够变更所述基板10的配置方向的方向转换部件51。
69.所述方向转换部件51能够变更配置于所述工作台11上的所述基板10的方向。例如，所述方向转换部件51能够将用于所述第二像素41的所述基板10的第二区域的排列从朝向所述第二方向变更成朝向所述第一方向。
70.如图1、图5及图6例示，所述药液提供装置100的方向转换部件51可包括保持部件53及旋转部件55。在例示性实施例中，所述工作台11可包括凹部(recess)结构，所述方向转换部件51可收容于所述工作台11的这种凹部结构内。
71.所述保持部件53可保持配置于所述工作台11上的所述基板10。所述旋转部件55可收容所述保持部件53，可以与所述基板10一起旋转所述保持部件53。例如，所述旋转部件55
可包括能够收容所述保持部件53的槽(groove)结构，所述保持部件53可部分收容于所述旋转部件55的槽结构内。在例示性实施例中，所述旋转部件55可包括能够直接连接于所述保持部件53从而能够向所述保持部件53提供指定的旋转力的直联电动机(direct coupled motor)。
72.在例示性实施例中，所述方向转换部件51能够局部支撑配置于所述工作台11的所述基板10的同时旋转所述基板10，因此所述基板10在所述工作台11上的方向能够变更。例如，能够将所述基板10旋转成用于所述第二像素41的所述基板10的第二区域从朝向所述第二方向排列变更成朝向所述第一方向排列。如上所述，所述第二方向不仅可以与所述第一方向实质上垂直，但所述第二方向也可以相对于所述第一方向倾斜成指定的角度。
73.如图7例示，所述保持部件53可通过真空吸引在所述工作台11上保持所述基板10。在例示性实施例中，所述保持部件53可包括能够向所述基板10的底面施加指定的吸引力的真空泵。所述保持部件53向所述基板10的底面只通过提供所述吸引力保持所述基板10的情况下，所述基板10的底面可能会受损。
74.在部分例示性实施例中，所述保持部件53能够向所述基板10的底面同时提供真空吸引及空气喷射以保持所述基板10。因此，所述保持部件53能够在不损伤所述基板10的底面的情况下通过真空吸引及空气喷射稳定地保持所述基板10的底面。为此，所述保持部件53可包括能够向所述基板10的底面施加指定的吸引力的真空泵及能够向所述基板10的底面施加指定的喷射力的空气压缩机。
75.所述基板10具有大尺寸的情况下，为了充分地收容所述基板10，所述工作台11也具有大尺寸，因此为了变更所述基板10的方向而旋转如上所述的工作台11可能并不容易。根据例示性实施例，并不是旋转上部配置有所述基板10的所述工作台11以变更所述基板10的方向，而是利用配置于所述工作台10上的所述方向转换部件51旋转所述基板10。因此，能够在所述工作台10上通过所述方向转换部件51轻易地转换所述基板10的方向。
76.在部分例示性实施例中，所述工作台11为浮起工作台的情况下，当在这种工作台11上部变更所述基板10的方向时，可在向被所述保持部件53保持的基板10的局部以外的所述基板10的底面上喷射空气的同时通过所述方向转换部件51变更所述基板10的方向。换而言之，从所述药液吐出部件13向所述基板10上提供所述药液时所述工作台11能够向所述基板10的底面同时提供空气喷射及真空吸引，但为了变更所述基板10的方向而在所述工作台11上部旋转所述基板10时，所述工作台11为了防止所述基板10向下方弯曲而可以向所述基板10的底面仅提供空气喷射。
77.根据例示性实施例，所述药液提供装置100能够沿着所述第一方向向用于所述第一像素31的所述基板10的至少两个第一区域上提供所述药液，能够将所述基板10的配向从朝向所述第二方向转换成朝向所述第一方向，之后可沿着所述第一方向向用于所述第二像素41的基板10的至少两个第二区域上提供所述药液。因此，仅利用一个药液提供装置即可从一个基板获得包括向不同方向排列的像素的不同尺寸的板。其结果，所述药液提供装置100可具有简单的构成，而且能够节省包括所述板的显示装置的制造费用与时间。
78.根据本发明，所述药液提供装置100的方向转换部件51的位置能够相对于所述工作台11及/或所述基板10发生变化。图8为用于说明本发明的例示性实施例的方向转换部件的配置的简要平面图。图9为用于说明本发明的另一例示性实施例的方向转换部件的配置
的简要平面图。
79.参见图8，方向转换部件51能够保持配置于工作台11上的基板10的底面的中心部。所述基板10具有实质上为长方形的平面形状的情况下，所述基板10的底面的中心部可以是连接所述基板10的彼此相对的相对长的边的中心的线及连接彼此相对的相对短的边的中心的线交叉的部分。换而言之，所述基板10的底面的中心部可以是连接所述基板10的相对的两个角的一个线及连接所述基板10的相对的两个角的另一个线交叉的部分。
80.所述方向转换部件51能够以真空吸引方式保持配置于所述工作台11的所述基板10的底面的中心部。为此，所述方向转换部件51可包括配置于与所述基板10的底面的中心部相对的所述工作台11的部分的保持部件53及旋转所述保持部件53的旋转部件55。
81.在例示性实施例中，所述方向转换部件51可配置在其上部承载来自外部的所述基板10的所述工作台11的局部上。选择性地，所述方向转换部件51可配置在预设的所述工作台11局部使得向用于第一像素的所述基板10的第一区域上提供药液后配置所述基板10。
82.如图9例示，方向转换部件51能够保持位于工作台11上的基板10的底面的周边部。所述基板10实质上具有长方形的平面形状的情况下，所述基板10的底面的周边部可以是从连接所述基板10的彼此相对的相对长的边的中心的线及连接彼此相对的相对短的边的中心的线交叉的部分向所述基板10的相对长的边或所述基板10的相对短的边相隔指定的距离的部分。例如，所述基板10的底面的周边部可以是与所述基板10的相对长的边相隔的第一距离d1及与所述基板10的相对短的边相隔的第二距离d2实质上相同的部分。该情况下，所述基板10的底面的周边部可位于连接所述彼此相对的相对长的边的中心的线上。
83.所述方向转换部件51能够通过真空吸引方式保持位于所述工作台11的所述基板10的底面的中心部。为此，所述方向转换部件51可包括配置于与所述基板10的底面的中心部相对的所述工作台11的部分的保持部件53及旋转所述保持部件53的旋转部件55。
84.所述方向转换部件51可配置于其上部承载来自外部的所述基板10的所述工作台11的局部上。选择性地，所述方向转换部件51可配置于预设的所述工作台11的局部使得向用于第一像素的所述基板10的第一区域上提供药液后配置所述基板10。
85.如上所述，所述药液吐出装置100的方向转换部件51能够保持所述基板10的底面的中心部或所述基板10的底面的周边部。
86.在例示性实施例中，所述药液吐出装置100的方向转换部件51可固定于所述工作台11的局部，或者可具有转换所述基板10的方向时能够在所述工作台11的上部工作的构成。在另一例示性实施例中，所述工作台11为所述浮起工作台的情况下，所述方向转换部件51可固定于所述浮起工作台的局部，向所述基板10上提供所述药液时可被控制成向所述基板10的底面同时施加真空吸引及空气喷射，可被控制成转换所述基板10的方向时向所述基板10的底面只施加真空吸引或同时施加真空吸引及空气喷射。该情况下，向所述基板10上提供所述药液期间从所述方向转换部件51施加到所述基板10的底面的吸引力及喷射力与从所述浮起工作台施加到所述基板10的底面的吸引力及喷射力实质上可以相同。
87.再次参见图1，所述药液吐出装置100可包括能够在所述工作台11上或在上部移送所述基板10的所述移送部件19。例如，所述移送部件19能够在所述工作台11上部沿着所述第二方向移送所述基板10。该情况下，所述移送部件19能够把持所述基板10的端部。在例示性实施例中，所述移送部件19能够把持着所述基板10的相对长的边的端部或所述基板10的
相对短的边的端部在所述工作台11上部移动所述基板10。
88.在例示性实施例中，所述移送部件19可包括导轨、把持部件、驱动部件等。所述导轨可沿着所述第二方向配置于所述工作台11的一侧上，所述把持部件可把持所述基板10的端部，所述驱动部件可沿着所述导轨移动所述把持部件。例如，所述把持部件能够以真空吸引方式保持所述基板10的底面的端部。
89.所述基板10实质上具有长方形形状的情况下，在利用所述药液吐出装置100向所述基板10上提供所述药液的工序中，所述移送部件19能够把持所述基板10的相对长的边的端部或所述基板10的相对短的边的端部。转换所述基板10的方向时所述基板10的相对长的边的端部或所述基板10的相对短的边的端部可能超出所述移送部件19。换而言之，所述基板10旋转的过程中所述移送部件19从把持所述基板10的相对长的边的端部改为把持所述基板10的相对短的边的端部时，所述基板10的相对短的边的端部可超出所述移送部件19。否则，所述基板10旋转的过程中所述移送部件19从把持所述基板10的相对短的边的端部改为把持所述基板10的相对长的边的端部时，所述基板10的相对长的边的端部可超出所述移送部件19。
90.在例示性实施例中，所述药液提供装置100可包括能够调整所述基板10的位置及/或所述移送部件19的位置的位置调整部件23。所述位置调整部件23在所述基板10的方向变化致使所述基板10的端部超出所述移送部件19的情况下，可使得所述移送部件19重新把持所述基板10的端部。例如，在所述基板10旋转的过程中所述基板10的相对长的边的端部或所述基板10的相对短的边的端部超出所述移送部件19的情况下，所述位置调整部件23能够调整所述基板10及所述移送部件19之间的对齐排列使得所述移送部件19能够准确地把持所述基板10的相对长的边的端部或所述基板10的相对短的边的端部。
91.所述位置调整部件23可向所述移送部件19移动所述旋转的基板10的相对长的边的端部或所述旋转的基板10的相对短的边的端部。例如，所述位置调整部件23可包括能够接触所述基板10的底面，能够向所述移送部件19移动所述基板10的旋转辊。所述旋转的基板10的相对长的边的端部或所述旋转的基板10的相对短的边的端部能够位于所述工作台11的端部的外部，因此所述位置调整部件23还可以配置于所述工作台11的端部的外部。因此即使所述基板10旋转的过程中所述基板10与所述移送部件19之间发生对齐错误也能够通过所述位置调整部件23调整所述基板10的位置及/或所述移送部件19的位置，因此能够实现所述基板10与所述移送部件19之间精确的对齐。
92.尤其，所述基板10实质上具有长方形形状的情况下，所述基板10的方向变更的过程中所述基板10的边缘部分可经常超出所述工作台11。由于可能无法从所述工作台11向如上从所述工作台11超出的所述基板10的边缘部分提供空气喷射，因此所述基板10的边缘部分可能会向下方弯曲，因此可从所述基板10的边缘部分起发生皴裂。在例示性实施例中，所述药液提供装置100可包括能够防止从所述工作台11超出的所述基板10的边缘部分向下方弯曲的弯曲防止部件21。
93.所述弯曲防止部件21在所述基板10的方向变更时能够向从所述工作台11超出的所述基板10的边缘部分提供空气。在例示性实施例中，一个弯曲防止部件21可配置于所述工作台11的一侧端部。在另一例示性实施例中，两个弯曲防止部件21可配置于所述工作台11的两侧端部。通过所述弯曲防止部件21能够防止所述基板10旋转期间所述基板10的边缘
部分向下方弯曲，因此能够有效防止所述基板10受损或所述基板10发生皴裂。
94.以下说明利用本发明的例示性实施例的药液提供装置吐出药液的方法。
95.以下说明利用可包括能够把持位于所述工作台11上的所述基板10的底面的中心部的所述方向转换部件51的图8的药液提供装置100的吐出药液的方法。
96.图10至图12为用于说明利用本发明的例示性实施例的方向转换部件变更基板的方向的方法的简要平面图。
97.参见图8及图10，所述基板10可从外部承载到所述药液吐出装置100的工作台11上。可通过能够支撑所述基板10的底面的机械臂实现这种基板10的承载。
98.位于所述工作台11上的所述基板10可被从所述工作台11向上方凸出的支撑销支撑。该情况下，所述机械臂可被控制成在所述支撑销之间移动。可执行所述支撑销向下方移动至所述工作台11内的过程中排列配置于所述工作台11上的所述基板10的位置的工序。
99.排列所述基板10的位置后，所述移送部件19能够如图8把持所述基板10的相对长的边的端部。所述工作台11为浮起工作台的情况下，可从所述工作台11向所述基板10的底面施加所述真空吸引及所述空气喷射使得所述基板10浮起在所述工作台11上部，而且还可以从所述方向转换部件51向所述基板10的底面提供所述真空吸引及所述空气喷射。
100.可利用所述移送部件19向所述药液吐出部件13下方移动所述基板10，之后可沿着所述第一方向从所述药液吐出部件13向用于所述第一像素31的所述基板10的至少两个第一区域上提供所述药液。沿着所述第一方向向用于所述第一像素31的第一区域上吐出所述药液后，所述基板10能够被所述移送部件19移动到所述工作台11上的初始位置或预先设定的位置。
101.参见图10及图11，所述方向转换部件51能够把持所述基板10的底面的中心部，之后能够将所述基板10的方向从朝向所述第二方向变成朝向所述第一方向。所述工作台11为所述浮起工作台的情况下，可从所述工作台11向所述基板10的底面提供所述空气喷射。
102.所述基板10的方向变更时所述基板10的边缘部分可超出所述工作台11，因此可从所述弯曲防止部件21向超出所述工作台11的所述基板10的边缘部分施加所述空气喷射。所述基板10旋转的过程中所述移送部件19能够从把持所述基板10的相对长的边的端部改为把持所述基板10的相对短的边的端部，所述旋转的基板10的相对长的边的端部可超出所述移送部件19。
103.参见图12，可利用所述位置调整部件23调整所述基板10的位置使得所述旋转的基板10的相对长的边的端部位于所述移送部件19上。因此，所述基板10的相对短的边的端部可被所述移送部件19把持。
104.利用所述移送部件19将所述基板10移送到向所述药液吐出部件13下方后，可沿着所述第一方向从所述药液吐出部件13向用于所述第二像素41的所述基板10的至少两个第二区域上提供所述药液。类似地，所述工作台11为浮起工作台的情况下，可从所述工作台11向所述基板10的底面施加所述真空吸引及所述空气喷射，而且还能够从所述方向转换部件51向所述基板10的底面提供所述真空吸引及所述空气喷射。
105.可利用所述支撑销及所述机械臂将所述基板10从所述工作台11向外部搬出以完成吐出所述药液的工序。
106.以下说明利用图9的药液提供装置100吐出药液的方法，其中药液提供装置100可
包括能够把持位于所述工作台11上的所述基板10的周边部的所述方向转换部件51。其中，所述基板10的周边部可以是与所述基板10的相对长的边相隔的第一距离d1及与所述基板10的相对短的边相隔的第二距离d2实质上相同的部分。
107.图13及图14为用于说明利用本发明的另一例示性实施例的方向转换部件变更基板的方向的方法的简要平面图。
108.参见图9及图13，朝着所述第一方向向用于所述第一像素31的所述基板10的第一区域上提供所述药液后，能够利用所述方向转换部件51把持所述基板10的周边部变更所述基板10的方向。
109.参见图14，所述方向转换部件51把持与所述基板10的相对长的边相隔的第一距离d1及与所述基板10的相对短的边相隔的第二距离d2实质上相同的部分的情况下，可从所述移送部件19上部配置所述基板10的相对长的边的端部改为配置所述基板10的相对短的边的端部。换而言之，通过以与所述基板10的相对长的边相隔的第一距离d1及与所述基板10的相对短的边相隔的第二距离d2实质上相同的部分为中心的偏心旋转变更所述基板10的方向的情况下，可从所述移送部件19正上方配置所述基板10的相对长的边的端部改为配置所述基板10的相对短的边的端部。
110.如上所述，所述方向转换部件51把持与所述基板10的相对长的边相隔的第一距离d1及与所述基板10的相对短的边相隔的第二距离d2相同的部分的情况下，可从所述移送部件19的正上方配置所述基板10的相对长的边的端部改为配置所述基板10的相对短的边的端部，因此可省略所述位置调整部件23。
111.以上参照本发明的例示性实施例进行了说明，但本领域的普通技术人员应当理解在不脱离本发明技术方案记载的本发明的思想及领域的范围内，可以对本发明进行多种修改及变更。