一种通用晶圆架的制作方法

1.本实用新型涉及一种晶圆架，特别涉及一种通用晶圆架，属于晶圆架技术领域。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的ic产品，晶圆在生产过程中需要放置晶圆架中，从而进行运送、保存以及清洗，但是现有的晶圆架均为固定结构，在使用时不能根据晶圆片的直径进行调节，而且也不能对隔板进行更换，从而局限了隔板之间的间距，不能适应不同厚度的晶圆片。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种通用晶圆架，解决了背景技术中提到的问题。
4.为了解决上述问题，本实用新型提供了一种技术方案：
5.一种通用晶圆架，包括底板、竖板、第一调节板、第二调节板、调节组件和横板，所述底板顶部对称固定连接有竖板，两个所述竖板之间对称滑动连接有第一调节板，两个所述竖板之间且位于第一调节板的下对称方滑动连接有第二调节板，所述第一调节板与第二调节板的一侧均可拆卸连接有横板，其中一个所述竖板外侧设有用于调节横板间距的调节组件，所述横板外部等距固定连接有隔板，所述隔板外部对称固定连接有固定板。
6.作为本实用新型的一种优选方案，所述调节组件包括调节槽、滑板、连接板和双向螺纹杆，两个所述竖板内部均对称开设有调节槽，所述第一调节板和第二调节板的两端均固定连接有滑板，所述滑板远离第一调节板和第二调节板的一端均贯穿对应的调节槽且与调节槽滑动连接，对应两个所述滑板之间且位于竖板的外侧固定定连接有连接板，两个所述连接板之间螺纹连接有双向螺纹杆。
7.作为本实用新型的一种优选方案，所述第一调节板与第二调节板内部均等距开设有t型滑槽，所述t型滑槽内部均滑动连接有t型滑块，所述t型滑块的一端贯穿第一调节板和第二调节板且固定连接有横板。
8.作为本实用新型的一种优选方案，所述隔板和固定板的外侧均粘接有橡胶垫。
9.本实用新型的有益效果是：结构紧凑，操作简单便捷，实用性强，通过调节组件可以带动第一调节板和第二调节板进行移动，从而对相应两个调节板之间的纵向间距，可以适应不同直径的晶圆片，通过t型滑槽配合t型滑块进行使用，可以对调节板上的横板进行更换，从而使隔板之间的间距适应不同厚度晶圆片，有利于提高设备使用的灵活性以及使用范围。
附图说明：
10.为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。
11.图1是本实用新型整体结构示意图；
12.图2是图中a处的放大图；
13.图3是本实用新型第一调节板与横板的连接示意图。
14.图中：1、底板；2、竖板；3、第一调节板；4、第二调节板；5、调节组件；51、调节槽；52、滑板；53、连接板；54、双向螺纹杆；6、横板；7、隔板；8、固定板；9、t型滑槽；10、t型滑块；11、橡胶垫。
具体实施方式：
15.如图1-3所示，本具体实施方式采用以下技术方案：
16.实施例：
17.一种通用晶圆架，包括底板1、竖板2、第一调节板3、第二调节板4、调节组件5和横板6，底板1顶部对称固定连接有竖板2，两个竖板2之间对称滑动连接有第一调节板3，可以对两个第一调节板3上横板6之间的间距进行调节，两个竖板2之间且位于第一调节板3的下对称方滑动连接有第二调节板4，可以对两个第二调节板4上横板6之间的间距进行调节，第一调节板3与第二调节板4的一侧均可拆卸连接有横板6，其中一个竖板2外侧设有用于调节横板6间距的调节组件5，横板6外部等距固定连接有隔板7，可以对晶圆片进行分隔放置，从而防止晶圆片堆叠破损，隔板7外部对称固定连接有固定板8，方便对厚度大于两个固定板8间距的晶圆片进行限位储存。
18.进一步的，调节组件5包括调节槽51、滑板52、连接板53和双向螺纹杆54，两个竖板2内部均对称开设有调节槽51，第一调节板3和第二调节板4的两端均固定连接有滑板52，滑板52远离第一调节板3和第二调节板4的一端均贯穿对应的调节槽51且与调节槽51滑动连接，对应两个滑板52之间且位于竖板2的外侧固定定连接有连接板53，两个连接板53之间螺纹连接有双向螺纹杆54，可以带动第一调节板3和第二调节板4进行移动，从而改变横板6之间的间距，可以适应不同直径的晶圆片。
19.进一步的，第一调节板3与第二调节板4内部均等距开设有t型滑槽9，t型滑槽9内部均滑动连接有t型滑块10，t型滑块10的一端贯穿第一调节板3和第二调节板4且固定连接有横板6，可以对第一调节板3和第二调节板4上的横板6进行更换，从而使隔板7之间的间距适应不同厚度晶圆片，有利于提高设备使用的灵活性以及使用范围。
20.进一步的，隔板7和固定板8的外侧均粘接有橡胶垫11，可以对晶圆片起到一定的保护作用，从而提高对晶圆片储存的效果。
21.具体的，在使用该设备时，工作人员先根据晶圆片的厚度对横板6进行更换，通过向上提拉横板6可以将t型滑块10从t型滑槽9内部移出，然后更换与晶圆片匹配的横板6，并根据晶圆片的直径对横板6之间的间距进行调节，转动双向螺纹杆54，此时双向螺纹杆54外部两个连接板53之间的间距开始变动，这时连接板53带动滑板52在调节槽51内部滑动，与此同时滑板52带动第一调节板3和第二调节板4进行移动，从而改变横板6之间的间距，调节完毕后，将需要存放的的晶圆片放置在两个隔板7之间，如图一所示，当晶圆片的厚度小于两个固定板8之间的间距时，晶圆片嵌入两个固定板8之间，当晶圆片的厚度大于两个固定板8之间的间距时，晶圆片坐落于两个隔板7之间，且晶圆片的外沿处于固定板8的外侧，通过设置在隔板7与固定板8上的橡胶垫11可以对晶圆片起到一定的保护作用。
22.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
24.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。