检测数据的处理系统及处理方法、基板的检测系统与流程

1.本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种检测数据的处理系统及处理方法、基板的检测系统。


背景技术：

2.在半导体加工制造中，常常需要对加工后的基板进行检测，并收集对基板的检测数据以便于对基板进行缺陷分析。在实际应用中，通常会将基板的检测数据存储于例如良率管理系统（yield management system，yms）中，工程人员即可借助yms系统进行缺陷/良率分析。
3.目前，在对基板进行检测时，常常会对基板的整个板面进行检测，以获得基板的整个板面的缺陷分布状况。在基板的量产中时，即会得到大量基板的检测数据，以及需要对大量基板进行缺陷/良率分析，并且在针对每一片基板进行分析时，从yms系统中查询得到的检测数据均是基板的整个板面的检测数据。
4.因此，在调取基板的检测数据的过程中，就已经存在数据量较大的问题，从而导致查询速度慢，还会增加对数据的处理工作，严重影响了工作效率。尤其是，在工程人员仅需要分析基板中的某一个区域，而不需要整个基板的检测数据的情况下，则还需要额外的查询并去除冗余的数据，浪费了更多的时间，大大降低了分析效率。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种检测数据的处理系统，以解决现有的数据系统不利于人员针对特定区域的数据进行查询。
6.为解决上述技术问题，本发明提供一种检测数据的处理系统，包括：区域划分模块，用于对基板进行区域划分，并对各个区域进行编码以得到各个区域的区域代码；以及，数据处理模块，用于获取基板的检测数据，并将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联。
7.可选的，所述基板包括晶圆。以及，所述区域划分模块用于以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出至少两个扇区；和/或，以晶圆的圆心为中心划分出至少两个环区。
8.可选的，以晶圆的圆心为极点建立极坐标，并以预定角度将晶圆划分出至少两个扇区。
9.可选的，沿着晶圆的半径以预定尺寸将各个扇区进一步划分出至少两个区域。
10.可选的，所述数据处理模块用于获取基板的初始检测数据，所述初始检测数据是以基板的预定点为原点建立的直角坐标系记录的检测数据。以及，所述数据处理模块还用于将基于直角坐标系记录的初始检测数据转换为基于极坐标系记录的检测数据。
11.可选的，所述处理系统还包括：配置表，所述配置表用于记录基板的各个区域的区域代码，并建立有各个区域代码与对应的检测数据之间的关联链。
12.可选的，所述处理系统还包括：数据存储介质，用于存储区域代码和与所述区域代
码关联的检测数据。
13.本发明的又一目的在于提供一种检测数据的处理方法，包括：将基板划分为至少两个区域，并对各个区域进行编码以得到各个区域的区域代码；以及，获取基板的检测数据，并将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联。
14.可选的，所述基板包括晶圆，并以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出至少两个扇区；和/或，以晶圆的圆心为中心划分出至少两个环区。
15.可选的，获取基板的检测数据的方法包括：得到基板的初始检测数据，所述初始检测数据是以基板的预定点为原点建立的直角坐标系记录的检测数据；以及，将基于直角坐标系记录的初始检测数据转换为基于极坐标系记录的检测数据。
16.可选的，所述处理方法还包括：建立配置表，并将基板的各个区域的区域代码记录于所述配置表内，并在所述配置表中建立各个区域代码与对应的检测数据之间的关联链。
17.本发明中还提供了一种基板的检测系统，包括：检测设备，用于对基板进行检测，以得到基板的初始检测数据；以及，如上所述的检测数据的处理系统，用于接收基板的初始检测数据并处理。
18.在本发明提供的检测数据的处理系统中，可利用区域划分模块将基板进行区域划分，并利用数据处理模块将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联，使得处理后的检测数据能够依据对应的区域归纳划分，从而可以根据需求查询到需要查询的区域所对应的检测数据，而不需要调取整个基板的检测数据。如此，不仅减少了数据量，可以快速的、准确的得到需要的区域的数据，提高数据查询速度，并且也不需要额外的查询并去除冗余的数据，大大了节省了时间，提高分析效率，有效解决了现有系统中难以快速查询针对特定区域的数据的问题。
附图说明
19.图1为本发明一实施例中的检测数据的处理系统的示意图。
20.图2为本发明一实施例中对基板的区域划分的一种示意图。
21.图3为本发明一实施例中查询特定区域的检测数据的示意图。
具体实施方式
22.以下结合附图和具体实施例对本发明提出的检测数据的处理系统及处理方法、基板的检测系统作进一步详细说明。根据下面说明，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
23.图1为本发明一实施例中的检测数据的处理系统的示意图，如图1所示，本实施例中的检测数据的处理系统包括：区域划分模块和数据处理模块。
24.其中，所述区域划分模块用于对基板进行区域划分，并对各个区域进行编码以得到各个区域的区域代码。例如参考图2所示，图2中将基板划分为8个区域，其区域代码例如为区域1、区域2、区域3
……
区域8。需要说明的是，图2中仅简单的以数字对各个区域进行编码而作为区域代码，然而实际应用中可以根据具体情况进行编码，此处不做限制。
25.所述数据处理模块用于获取基板的检测数据，并将基板的各个区域所对应的检测
数据与相应的区域代码关联。例如以图2为例，即可利用所述数据处理模块将区域1所对应的检测数据与区域1关联，将区域2所对应的检测数据与区域2关联，区域3所对应的检测数据与区域3关联
……
区域8所对应的检测数据与区域8关联。
26.即，本实施例中的数据处理系统，可以就基板的各个区域的检测数据进行划分，从而在需要对特定区域进行查询时，可以仅调取被选中的区域中的检测数据，而不需要调取整个基板的检测数据。如此，不仅可减少数据量，提高数据查询速度，并且也不需要额外的查询并去除冗余的数据，大大了节省了时间，提高分析效率。
27.其中，所述基板可包括晶圆。针对晶圆而言，即可利用所述区域划分模块以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出至少两个扇区；或者，以晶圆的圆心为中心划分出至少两个环区；又或者，以划分出至少两个扇区和至少两个环区相结合的方式对晶圆进行区域划分。本实施例中，即是以将晶圆划分为至少两个扇区和至少两个环区相结合的方式对晶圆进行区域划分。例如参考图2所示，图2中以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出四个扇区，并以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出两个环区，环区和扇区相交使得晶圆被划分为8个区域。
28.进一步的方案中，所述区域划分模块可以以晶圆的圆心为极点建立极坐标，并以预定角度将晶圆划分出至少两个扇区。图2中即是以每90
°
的极角范围划分一个扇区，从而将晶圆划分出四个扇区，当然其他实施例中也可以以每30
°
、45
°
或60
°
的极角范围划分一个扇区。具体的角度可根据基板的尺寸而对应设置，通常针对较大尺寸的基板而言，则可设置较小的极角范围进行区域划分；而针对较小尺寸的基板而言，则可设置相对较大的极角范围进行区域划分。
29.更进一步的，针对划分出的各个扇区，还可沿着晶圆的半径以预定尺寸将各个扇区进一步划分成至少两个区域。例如图2中，是以0.5倍半径尺寸（即，0.5r）将各个扇区进一步划分成两个区域。其他实施例中，也可以是以0.3倍半径尺寸（即，0.3r）将各个扇区进一步划分成三个区域；或者，可以是以0.25倍半径尺寸（即，0.25r）将各个扇区进一步划分成四个区域等。同样的，可根据基板的尺寸而对应设置划分尺寸，此处不再赘述。
30.本实施例中，以晶圆的圆心为极点，在每90
°
的极角范围、0.5倍半径尺寸（即，0.5r）下进行区域划分，得到如表1所示的区域分布。其中，r表示为晶圆的半径。
31.表1区域代码角度下限角度上限半径下限半径上限1090
°
00.5r2090
°
0.5rr390
°
180
°
00.5r490
°
180
°
0.5rr5180
°
270
°
00.5r6180
°
270
°
0.5rr7270
°
360
°
00.5r8270
°
360
°
0.5rr根据基板的区域划分方式，所述数据处理模块也可对应将检测数据处理为基于极坐标系的检测数据，并将基于极坐标系的检测数据与对应区域相关联。例如，所述数据处理模块其获取的初始检测数据例如是基于以基板的预定点为原点建立的直角坐标系记录的
检测数据，此时，所述数据处理模块用于将基于直角坐标系记录的初始检测数据转换为基于极坐标系记录的检测数据。即，所述数据处理模块可用于对检测数据进行坐标转换。
32.具体的，可基于基板的中心（例如，晶圆的圆心）为中心建立的直角坐标系并记录各个测量点的初始检测数据，其中某一测量点所对应的直角坐标为（x，y），此时，可以将直角坐标（x，y）转换为极坐标（ρ，θ），其中，ρ= sqrt(x2 y2)；θ= arctan y/x，ρ表示为坐标点至极点的距离，θ表示为极角。
33.继续参考图1所示，本实施例中的处理系统还包括：配置表，所述配置表用于记录基板的各个区域的区域代码，并建立有各个区域代码与对应的检测数据之间的关联链。在需要对特定区域的检测数据进行查询时，即可以从所述配置表中获取该特定区域所对应的区域代码，进而根据对应的关联链调取该特定区域中的检测数据。
34.具体的，在所述配置表中，各个区域代码还可标记有对应区域的区域特征，以便于通过区域特征得到区域代码。例如，针对晶圆而言，其区域代码可对应标记有半径范围和角度范围等。可以认为，区域划分模块的区域划分逻辑决定了各个区域的区域特征。
35.进一步的，所述处理系统还包括数据存储介质，所述数据存储介质用于存储区域代码和与所述区域代码关联的检测数据。本实施例中，所述配置表也将存储于所述数据存储介质中。具体应用中，所述数据存储介质例如为良率管理系统（yms系统）。
36.基于如上所述的处理系统，以下对该处理系统对检测数据的处理方法进行说明，其处理方法包括：将基板划分为至少两个区域，并对每一区域进行编码以得到各个区域的区域代码；以及，获取基板的检测数据，并将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联。
37.具体针对晶圆而言，则可以以晶圆的圆心为中心将晶圆划分出至少两个扇区；和/或，以晶圆的圆心为中心划分出至少两个环区。本实施例中，以晶圆的圆心为极点建立极坐标，并以预定角度将晶圆划分出至少两个扇区；以及，还可进一步沿着晶圆的半径以预定尺寸将各个扇区划分出至少两个区域。
38.进一步的，所获取的基板的检测数据其可以是基板的初始检测数据，所述初始检测数据例如是以基板的预定点为原点建立的直角坐标系记录的检测数据。本实施例中，是以晶圆的圆心为原点建立的直角坐标系，所述初始检测数据基于直角坐标系记录的检测数据。
39.为此，则获取基板的检测数据的方法可包括：首先，得到基于直角坐标系记录的基板的初始检测数据；接着，将基于直角坐标系记录的初始检测数据转换为基于极坐标系记录的检测数据。如此，即有利于将基于极坐标系记录的检测数据和基于极坐标系划分的区域进行对应。
40.具体的方案中，检测数据的处理方法还可包括：建立配置表，并将基板的各个区域的区域代码记录于所述配置表内，并在所述配置表中建立各个区域代码与对应的检测数据之间的关联链。
41.此外，检测数据的处理方法还包括：将区域代码和与所述区域代码关联的检测数据存储至数据存储介质中。本实施例中，所述配置表也可存储至所述数据存储介质中。
42.基于如上所述的检测数据的处理系统，本实施例中还提供了一种检测数据的查询方法，包括：从如上所述的处理系统中选取特定区域所对应的区域代码，以调取出与被选取
的区域代码相关联的检测数据。
43.进一步的方案中，所述查询方法具体可包括：从所述配置表内获取待查询的特定区域所对应的区域代码，并根据查询到的区域代码所对应的关联链调取出对应的检测数据。
44.下面以一具体示例解释说明检测数据的查询方法，图3为本发明一实施例中查询特定区域的检测数据的示意图。如图3所示，将晶圆以其半径的5等分进行划分，以及按照45
°
的角度范围进行划分，从而可以把晶圆划分为40 个区域，图3中仅示意性的示出了其中5个区域代码。以及，在对晶圆进行检测时，例如可对晶圆上均匀分布的20000个检测点进行检测，从而可以得到至少20000个检测数据。
45.当需要查询晶圆的0.2r-0.4r半径范围且在0-45
°
的角度范围内的检测数据时，则可以在配置表中获得该区域所对应的区域代码（即，区域代码为2），进而查询得到该区域代码2内的检测数量，此时得到的数据即为20000/40=500个数据，数据量大大减少，从而能够快速查询所需的数据。
46.而与本实施例相比，当在现有的系统中进行查询时，则往往会得到晶圆上的所有检测点的数据，即需要查询出20000个数据，此时，即需要额外的分析并去除不需要的区域的数据，大大降低了分析效率。
47.此外，本实施例中还提供了一种基板的检测系统，其包括如上所述的检测数据的处理系统，用于接收基板的初始检测数据并进行处理，以得到分区块关联的检测数据。
48.以及，基板的检测系统还包括：检测设备，用于对基板进行检测，以得到基板的初始检测数据。具体的，所述检测设备可用于进行晶圆探针测试（chip probe，cp），进而得到探针测试数据（cp测试数据）。
49.下面结合图1和图3，并以一个具体示例，解释说明该检测系统的运行过程，其具体包括如下步骤。
50.步骤一，利用检测设备对基板（例如晶圆）进行检测，以得到基板的整个板面的初始检测数据，所述初始检测数据例如是基于直角坐标系记录的数据。
51.步骤二，所述初始检测数据发送至所述处理系统，并由处理系统中的数据处理模块接收，所述数据处理模块将基于直角坐标系记录的初始检测数据转换为基于极坐标系记录的检测数据。
52.此外，在步骤二中，还可使所述处理系统中的区域划分模块对基板进行区域划分并得到各个区域的区域代码，具体可基于极坐标系对基板进行区域划分；以及，所述区域划分模块可进一步将区域划分逻辑（例如包括各个区域的半径范围和角度范围）和区域代码发送至所述数据处理模块，所述数据处理模块可根据所述区域划分逻辑对检测数据进行划分和关联，使基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联。
53.步骤三，将区域划分逻辑和区域代码发送至所述配置表中，以在配置表内记录有区域代码和对应的区域特征，并且各个区域代码上还关联有对应的检测数据。
54.步骤四，将检测数据和配置表均存储至数据存储介质（例如，yms系统）内。
55.当工程人员需要查询基板的特定区域的检测数据时，可根据该特定区域的区域特征（例如区域的半径范围和角度范围）等，从所述配置表内查询到对应的区域代码；接着，根据区域代码调取出与之关联的检测数据，此时，调取出的检测数据即为需查询的特定区域
的数据。
56.综上所述，本实施例提供的检测数据的处理系统中，可利用区域划分模块将基板进行区域划分，并利用数据处理模块将基板的各个区域所对应的检测数据与相应的区域代码关联，使得处理后的检测数据能够依据对应的区域归纳划分，从而在需要查询特定区域的检测数据时，即可仅调取出该区域所对应的检测数据，大大降低了数据的运行量，提高查询速度。
57.本说明书中的各个实施例采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的系统而言，由于与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
58.虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围。
59.此外还应该认识到，此处描述的术语仅仅用来描述特定实施例，而不是用来限制本发明的范围。必须注意的是，此处的以及所附权利要求中使用的单数形式“一个”和“一种”包括复数基准，除非上下文明确表示相反意思。例如，对“一个步骤”或“一个装置”的引述意味着对一个或 多个步骤或装置的引述，并且可能包括次级步骤以及次级装置。应该以最广义的含义来理解使用的所有连词。以及，词语“或”应该被理解为具有逻辑“或”的定义，而不是逻辑“异或”的定义，除非上下文明确表示相反意思。