一种三轴光纤加速度计的制作方法

技术特征：
1.一种三轴光纤加速度计，其特征在于，包括：波导入口、波导出口、波导、x轴加速结构、y轴加速结构以及z轴加速结构，所述波导入口、所述波导出口、所述波导、所述x轴加速结构、所述y轴加速结构以及所述z轴加速结构均设置在基层上；其中，所述波导的起始端连接所述波导入口，所述波导的截止端连接所述波导出口；所述x轴加速结构和所述z轴加速结构均设置在所述波导入口、所述波导以及所述波导出口围成的“u型”区域内。2.根据权利要求1所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述y轴加速结构设置在远离所述波导入口以及所述波导出口的一端。3.根据权利要求1所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，还包括：布拉格光栅，设于靠近所述波导入口一侧的所述波导上。4.根据权利要求1所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述x轴加速结构包括：x轴质量块；第一微环
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椭圆盘谐振结构，设于所述x轴质量块上；以及至少一个x轴弹簧梁，与所述x轴质量块连接。5.根据权利要求1所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述y轴加速结构包括：y轴质量块；第二微环
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椭圆盘谐振结构，设于所述y轴质量块上；以及至少一个y轴弹簧梁，与所述y轴质量块连接。6.根据权利要求1所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述z轴加速结构包括：z轴质量块；至少一个z轴弹簧梁，与所述z轴质量块连接；以及第三跑道型谐振结构，所述第三跑道型谐振结构的其中一条直边分别穿过所述z轴弹簧梁和所述z轴质量块，将所述z轴质量块的部分以及所述z轴弹簧梁的部分圈入到所述第三跑道型谐振结构内。7.根据权利要求4所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述第一微环
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椭圆盘谐振结构设为两个，且对称设于所述x轴质量块上。8.根据权利要求5所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，第二微环
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椭圆盘谐振结构设为两个，且对称设于所述y轴质量块上。9.根据权利要求6所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述z轴弹簧梁设为四个，且分别与所述z轴质量块的四个边连接。10.根据权利要求9所述的三轴光纤加速度计，其特征在于，所述z轴质量块上刻蚀形成多个凹形通孔，四个所述z轴弹簧梁均设于所述z轴质量块的四个边的正中部。

技术总结
本申请涉及一种三轴光纤加速度计，包括：波导入口、波导出口、波导、X轴加速结构、Y轴加速结构以及Z轴加速结构，波导入口、波导出口、波导、X轴加速结构、Y轴加速结构以及Z轴加速结构均设置在基层上；其中，波导的起始端连接波导入口，波导的截止端连接波导出口；X轴加速结构和Z轴加速结构均设置在波导入口、波导以及波导出口围成的“U型”区域内。本申请中的三轴光纤加速度计结构紧凑，只需一根波导单进单出串接传感器，用于检测X轴加速度、Y轴加速度、Z轴加速度，即可实现三轴加速度传感。该三轴光纤加速度计极大地简化了封装难度，减小了传感器的尺度，降低了光纤加速度计的制造成本。降低了光纤加速度计的制造成本。降低了光纤加速度计的制造成本。


技术研发人员：刘晓海 俞童
受保护的技术使用者：欧梯恩智能科技(苏州)有限公司
技术研发日：2021.10.22
技术公布日：2022/1/4