探针、检查工具和检查单元的制作方法

1.本公开涉及探针、检查工具和检查单元。


背景技术：

2.在照相机或液晶面板等电子部件模块中，一般在其制造工序中进行导通检查和动作特性检查等。使用探针将用于与设置于电子部件模块的主体基板连接的端子和检查装置的端子连接，由此进行这些检查。
3.作为这样的探针，有专利文献1所记载的探针。该探针具备上部柱塞、下部柱塞以及配置在上部柱塞与下部柱塞之间的螺旋弹簧，在上部柱塞的上部侧形成有具有夹入焊球的缝隙构造的末端夹持部。该末端夹持部具有在圆周上隔开间隔地配置的多个弹性部件，各弹性部件在半径方向上扩开，由此在其间承接焊球而进行夹持。
4.现有技术文献
5.专利文献
6.专利文献1：日本特开2001
‑
318119号公报


技术实现要素：

7.发明要解决的课题
8.在所述探针中，预先确定能够由末端夹持部夹持的焊球。因此，例如，对于比预先确定的焊球小的焊球，有时难以使所述探针可靠地接触。
9.本公开的目的在于，提供能够更可靠地与大小不同的多个接触对象物接触的探针、具备该探针的检查工具以及具备该检查工具的检查单元。
10.用于解决课题的手段
11.本公开的一个例子的探针具备：
12.板状的主体部；
13.第一触点部，其设置于所述主体部的第一方向上的一端，并从所述一端沿着所述第一方向延伸；以及
14.一对第二触点部，它们设置于所述主体部的所述一端，与所述第一触点部隔开间隔地分别配置在所述第一触点部的与所述第一方向及所述主体部的板厚方向交叉的第二方向的两侧，并从所述一端沿着所述第一方向分别延伸至比所述第一触点部更远离所述主体部的位置。
15.所述一对第二触点部分别具有引导面，所述引导面在所述第二方向上相互对置地配置，将沿着所述第一方向接近所述第一触点部的接触对象物朝向所述第一触点部引导。
16.另外，本公开的一个例子的检查工具具备：
17.所述探针；和
18.所述插座，其能够以所述第一触点部以及所述一对第二触点部分别露出到外部的状态收纳所述探针。
19.另外，本公开的一个例子的检查单元具备至少1个所述检查工具。
20.发明效果
21.根据所述探针，具备：板状的主体部；第一触点部，其设置于主体部的第一方向上的一端；以及一对第二触点部，它们与第一触点部隔开间隔地分别配置在第一触点部的第二方向的两侧。各第二触点部分别从主体部的一端沿着第一方向延伸至比第一触点部更远离主体部的位置，并且具有引导面，所述引导面在第二方向上相互对置地配置，将沿着第一方向接近第一触点部的接触对象物朝向第一触点部引导。通过这样的结构，能够实现这样的探针：能够更可靠地与大小不同的多个接触对象物接触。
22.根据所述检查工具，能够通过所述探针来实现能够应用于大小不同的多个检查对象物的检查的检查工具。
23.根据所述检查单元，能够通过所述检查工具实现能够应用于大小不同的多个检查对象物的检查的检查单元。
附图说明
24.图1是表示本公开的一个实施方式的探针的立体图。
25.图2是具备图1的探针的检查单元1的剖视图。
26.图3是图1的探针的平面图。
27.图4是表示图1的探针的第一触点部和第二触点部的放大平面图。
28.图5是表示图1的探针的变形例的立体图。
29.图6是图5的探针的平面图。
30.图7是表示图5的探针的第一触点部和第二触点部的放大平面图。
具体实施方式
31.下面，按照附图对本公开的一例进行说明。另外，在以下的说明中，根据需要而使用表示特定的方向或位置的用语(例如包含“上”、“下”、“右”、“左”的用语)，但是，这些用语的使用是为了容易参照附图理解本公开，本公开的技术范围不由这些用语的意思来限定。此外，以下的说明本质上只不过是例示，并不意图限制本公开、其应用物或其用途。进而，附图是示意性的，各尺寸的比率等不一定与现实情况一致。
32.如图1所示，本公开的一个实施方式的探针3例如为在第一方向x上细长的薄板状且具有导电性。作为一个例子，如图2所示，该探针3在收纳于绝缘性的插座20的状态下使用，与插座20一起构成检查工具2。在检查工具2中，作为一个例子，收纳有多个探针3。
33.另外，如图2所示，检查工具2构成检查单元1的一部分。在该实施方式中，检查单元1具有一对检查工具2。各检查工具2被配置为，在后述的探针3的第一触点部32、第二触点部33以及第三触点部38在从插座20露出到外部的状态下，在与第一方向x以及探针3的板厚方向z交叉(例如，正交)的第二方向y上相邻。
34.如图2所示，检查单元1具备：壳体10，其收纳各检查工具2；以及摆动部件40，其以能够相对于各检查工具2的插座20摆动的状态支承于壳体10。
35.如图2所示，作为一个例子，壳体10呈大致长方体状，具有构成其外表面的1个的大致矩形状的开口面101。在壳体10的开口面101的长度方向的大致中央，设置有具有在开口
面101开口的开口部14的凹部13。在该凹部13的内部收纳有大致长方体状的插座20。
36.摆动部件40为绝缘性的，构成为能够与接触对象物(例如检查对象物或检查装置)100连接(参照图4)。如图2所示，该摆动部件40具有板部41和一对壁部42，构成为能够在第一方向x上摆动。板部41具有大致矩形板状，沿着开口面101延伸。各壁部42从板部41的在第二方向x上对置的一对板面的边缘向与第一方向x交叉(例如正交)的方向延伸。
37.板部41具有在其摆动方向(即，第一方向x)上贯通摆动部件40的板部41的收纳孔43，该收纳孔43能够收纳后述的探针3的第一触点部32和第二触点部33。各收纳孔43由在板部41的外表面411侧开口的凹部431和在该凹部431的底面开口的多个贯通孔432构成。在收纳孔43的凹部431，经由各贯通孔432收纳有各探针3的第一方向x上的一端(即，后述的探针3的第一接触部36)，限制各探针3的第一方向x上的一端向第二方向y及探针3的板厚方向z移动。
38.各壁部42的第一方向x上的末端部被收纳于在开口面101的凹部13周围设置的收纳槽15的内部。在各壁部42的末端部设置有从各壁部42向相互分离的方向延伸的凸缘部47。各凸缘部47被配置成，借助构成收纳槽15的壳体10的内表面，能够沿第一方向x在复位位置p1与动作位置p2之间移动。即，摆动部件40的摆动范围由各凸缘部47在第一方向x上的移动范围决定。另外，复位位置p1是未施加外力的状态下的摆动部件40的位置，动作位置p2是从第一方向x朝向壳体10施加外力的状态下的摆动部件40的位置，是在第一方向x上比复位位置p1靠近插座20的位置。
39.在收纳槽15的内部设置有螺旋弹簧50。该螺旋弹簧50配置于构成收纳槽15的底面的壳体10的内表面，在第一方向x上朝向开口面101对各凸缘部47施力。
40.如图2所示，各插座20在其内部具有多个收纳部21(在图2中仅示出1个)。各收纳部21具有缝隙状，构成为能够分别在电气上独立地收纳并保持1个探针10。另外，各收纳部21沿着与第一方向x及第二方向y交叉的方向(即，图2的纸面贯通方向)排列成一列且等间隔地配置。
41.如图3所示，各探针3具备板状的主体部31和设置于该主体部31的第一方向x上的一端的第一触点部32和第二触点部33。作为一个例子，各探针3由电铸法形成。
42.作为一例，主体部31具有：弹性部35，其沿第一方向x伸缩；第一接触部36，其设置于弹性部35的第一方向x上的一端；以及第二接触部37，其设置于弹性部35的第一方向x上的另一端。弹性部35、第一接触部36以及第二接触部37沿着第一方向x直列地配置且一体地构成。
43.弹性部35具有相互隔开间隙65、66、67配置的多个弹性片(在本实施方式中为4个弹性片)61、62、63、64。作为一个例子，各弹性片61、62、63、64为细长的带状，由2个直线部71、72和连接这些直线部71、72的弯曲部73构成。另外，作为一个例子，各弹性片61、62、63、64具有大致相同的截面形状。
44.第一接触部36具有沿着第一方向x延伸的接触部主体361和从接触部主体361向第二方向y延伸的抵接部362。在接触部主体361的第一方向x上的远离弹性部35的端部设置有第一触点部32和第二触点部33。另外，在接触部主体361的第一方向x上的靠近弹性部35的端部连接有弹性部35的第一方向x上的一端。抵接部362配置于接触部主体361的第一方向x上的靠弹性部35侧的端部。
45.第二接触部37具有沿着第一方向x延伸的接触部主体371和从接触部主体371向第二方向y延伸的抵接部372。在接触部主体371的第一方向x上的远离弹性部35的端部设置有第三触点部38。另外，在接触部主体371的第一方向x上的靠近弹性部35的端部连接有弹性部35的第一方向x上的另一端。抵接部372配置于接触部主体371的第一方向x上的靠弹性部35侧的端部。
46.如图3所示，第一接触部36的接触部主体361以及第二接触部37的接触部主体371分别配置于假想直线l上，该假想直线l通过第一接触部36的接触部主体361的第二方向y上的中心且沿第一方向x延伸。另外，弹性部35以及各抵接部362、372分别相对于假想直线l配置于第二方向y上的相同侧。即，弹性部35在第一方向x上配置于各抵接部362、372之间。
47.如图2所示，在将探针3收纳于插座20的各收纳部21的状态下，第一接触部36的抵接部362以及第二接触部37的抵接部372分别构成为，在第一方向x上与构成收纳部21的插座20的内表面抵接。即，通过各抵接部362、372来决定探针3的第一触点部32、第二触点部33以及第三触点部38在第一方向x上的位置。
48.接着，参照图4更详细地说明第一触点部32和第二触点部33。
49.第一触点部32设置于第一接触部36的接触部主体361的第一方向x上的一端(即，主体部31的第一方向x上的一端)，并从接触部主体361的第一方向x上的一端沿着第一方向x延伸。详细而言，第一触点部32由在第二方向y上隔开间隔地配置的一对突起34构成。各突起34关于中心线(即假想直线l)对称地配置，所述中心线(即假想直线l)通过接触部主体361的第一方向x的一端在第二方向y上的中心且沿第一方向延伸。
50.另外，在摆动部件40位于复位位置p1的状态的检查单元1中，探针3的第一触点部32在第一方向x上配置在比摆动部件40的板部41的外表面411靠近插座20(或者壳体10的开口面101)的位置。即，构成为在摆动部件40位于复位位置p1时，探针3的第一触点部32配置于收纳孔43的内部，不易因外力而损伤。
51.第二触点部33设置在接触部主体361的第一方向x上的一端，分别配置在第一触点部32的第二方向y的两侧且成对。一对第二触点部33分别与第一触点部32隔开间隔地关于假想直线l对称地配置。各第二触点部33从接触部主体361的第一方向x上的一端沿着第一方向x分别延伸至比第一触点部32更远离主体部31的位置。
52.各第二触点部33具有引导面331，所述引导面331在第二方向y上相互对置地配置，将沿着第一方向x接近第一触点部32的接触对象物100朝向第一触点部32引导。作为一个例子，各引导面331由在第一方向x上朝向弹性部35稍微凹陷的弯曲面构成。
53.假设接触对象物100是具有如下的第二方向y上的尺寸(即，宽度尺寸)的凸触点110：能够从第一方向x同时与构成第一触点部32的一对突起34双方接触。在该情况下，在探针3接近凸触点110时(或者，凸触点110接近探针3时)，即使探针3相对于凸触点110在第二方向y上的位置偏移，只要是凸触点110能够与各引导面331接触的位置，则探针3被朝向凸触点110引导。其结果是，一对突起34分别与凸触点110的末端面103同时接触。
54.另外，假设接触对象物100是具有如下宽度尺寸的凸触点120：无法从第一方向x同时与一对突起34双方接触。在该情况下，如果凸触点120的宽度尺寸小于第一接触部36的宽度尺寸，则一对第二触点部33分别与凸触点120的第二方向y上的两个末端角部104同时接触。
55.这样，根据探针3，具备：板状的主体部31；第一触点部32，其设置于主体部31的第一方向x上的一端；以及一对第二触点部33，它们与第一触点部32隔开间隔地分别配置在第一触点部32的第二方向y的两侧。各第二触点部33从主体部31的一端沿着第一方向x分别延伸至比第一触点部32更远离主体部31的位置，并且具有引导面331，所述引导面331在第二方向y上相互对置地配置，将沿着第一方向x接近第一触点部32的接触对象物100朝向第一触点部32引导。通过这样的结构，能够实现这样的探针3：能够更可靠地与大小不同的多个接触对象物100接触。
56.另外，第一触点部32由在第二方向y上隔开间隔地配置的一对突起34构成。通过这样的结构，能够实现这样的探针3：能够更可靠地与大小不同的多个接触对象物100接触。
57.一对突起34彼此关于中心线l对称地配置，一对第二触点部33彼此关于中心线l对称地配置。通过这样的结构，能够实现这样的探针3：能够更可靠地与大小不同的多个接触对象物100接触。
58.通过探针3，能够实现这样的检查工具2：能够应用于大小不同的多个检查对象物的检查。另外，通过具备探针3的检查工具2，能够实现这样的检查单元1：能够应用于大小不同的多个检查对象物的检查。
59.另外，检查单元1还具备摆动部件40，该摆动部件40以能够相对于插座20摆动的状态被支承。通过这样的结构，能够减少对探针3的第一触点部32以及各第二触点部33的损伤的产生。
60.另外，主体部31不限于具有弹性部35、第一接触部36以及第二接触部37的情况。
61.例如，弹性部35也可以是能够在第一方向x上伸缩的蜿蜒形状。另外，第一接触部36的第一触点部32不限于由一对突起34构成的情况，也可以由1个突起构成，还可以由3个以上的突起34构成。
62.另外，例如，如图5～图7所示，第一接触部36也可以具有一对腿部81、82。一对腿部81、82设置于第一接触部36的第一方向x上的一端(即，主体部31的第一方向x上的一端)，沿着第一方向x延伸并且在第二方向y上隔开间隙83地配置。各腿部81、82具有突出部84，所述突出部84分别设置于在第二方向y上对置的对置面811、821，并向相互接近的方向突出。在各突出部84设置有各突起34，构成第一触点部32。另外，各腿部81、82的第一方向x上的末端构成各第二触点部33。
63.在第一接触部36与接触对象物100接触后，进一步使探针3沿着第一方向x朝向接触对象物100移动。于是，在第一触点部32与接触对象物100接触的状态下，各腿部81、82在第二方向y上向相互分离的方向弹性变形，在第一触点部32与接触对象物100之间进行擦拭(wiping)。即，根据图5～图7的探针3，附着于第一触点部32和接触对象物100的表面的异物被擦掉，能够提高探针3相对于接触对象物100的接触可靠性。
64.各腿部81、82的构成第二触点部33的末端在第一方向x上的位置相互不同。换言之，一个腿部81的第二触点部33在第一方向x上配置于比另一个腿部82的第二触点部33更远离弹性部35的位置。通过这样的结构，能够实现这样的探针3：能够更可靠地与大小不同的多个接触对象物100接触。
65.第二接触部37可以设置与第一接触部36相同结构的触点部，也可以由多个突起构成第三触点部38。
66.以上，参照附图对本公开中的各种实施方式进行了详细说明，最后对本公开的各种方式进行说明。另外，在以下的说明中，作为一个例子，也标注附图标记进行记载。
67.本公开的第一方式的探针3具备：
68.板状的主体部31；
69.第一触点部32，其设置于所述主体部31的第一方向x上的一端，并从所述一端沿着所述第一方向x延伸；
70.一对第二触点部33，它们设置于所述主体部31的所述一端，与所述第一触点部32隔开间隔地分别配置在所述第一触点部32的与所述第一方向x及所述主体部31的板厚方向交叉的第二方向y上的两侧，并从所述一端沿着所述第一方向x分别延伸至比所述第一触点部32更远离所述主体部31的位置，
71.所述一对第二触点部33分别具有引导面331，所述引导面331在所述第二方向y上相互对置地配置，将沿着所述第一方向x接近所述第一触点部32的接触对象物100朝向所述第一触点部32引导。
72.根据第一方式的探针3，能够实现这样的探针3：能够更可靠地与大小不同的多个接触对象物100接触。
73.在本公开的第二方式的探针3中，所述第一触点部32由在所述第二方向y上隔开间隔地配置的一对突起34构成。
74.根据第二方式的探针3，能够实现这样的探针3：能够更可靠地与大小不同的多个接触对象物100接触。
75.在本公开的第三方式的探针3中，所述一对突起34彼此关于中心线l对称地配置，所述中心线l通过所述主体部31的所述一端的所述第二方向y上的中心且沿所述第一方向x延伸，
76.所述一对第二触点部33彼此关于所述中心线l对称地配置。
77.根据第三方式的探针3，能够实现这样的探针3：能够更可靠地与大小不同的多个接触对象物100接触。
78.在本公开的第四方式的探针3中，
79.所述主体部31具有一对腿部81、82，所述一对腿部81、82设置于所述主体部31的所述一端，沿着所述第一方向x延伸，并且在所述第二方向y上隔开间隙83地配置，
80.所述一对腿部81、82分别具有突出部84，所述突出部84设置于在所述第二方向y上对置的对置面811、821，向相互接近的方向突出，
81.所述一对突起34分别设置于所述一对腿部81、82各自的所述突出部84，构成所述第一触点部32，
82.所述一对腿部81、82各自的所述第一方向x上的末端构成所述一对第二触点部33中的各第二触点部。
83.根据第四方式的探针3，例如，在第一接触部36与接触对象物100接触之后，进一步使探针3沿着第一方向x朝向接触对象物100移动。于是，在第一触点部32与接触对象物100接触的状态下，各腿部81、82在第二方向y上向相互分离的方向弹性变形，在第一触点部32与接触对象物100之间进行擦拭。其结果是，附着于第一触点部32及接触对象物100的表面的异物被擦掉，能够提高探针3相对于接触对象物100的接触可靠性。
84.在本公开的第五方式的探针3中，所述一对腿部81、82各自的所述末端在所述第一方向x上的位置相互不同。
85.根据第五方式的探针3，能够实现这样的探针3：能够更可靠地与大小不同的多个接触对象物100接触。
86.本公开的第六方式的检查工具2具备：
87.所述方式的探针3；和
88.插座20，其能够以所述第一触点部32和所述一对第二触点部33分别露出到外部的状态收纳所述探针3。
89.根据第六方式的检查工具2，能够通过探针3实现能够应用于大小不同的多个检查对象物的检查的检查工具2。
90.本公开的第七方式的检查单元1具备至少1个所述检查工具2。
91.根据第七方式的检查单元1，能够通过检查工具2实现能够应用于大小不同的多个检查对象物的检查的检查单元1。
92.本公开的第八方式的检查单元1还具备摆动部件40，该摆动部件以能够相对于所述插座20摆动的状态被支承，
93.所述摆动部件40具有在其摆动方向上贯通所述摆动部件40的收纳孔43，该收纳孔43能够收纳所述探针3的所述第一触点部32和所述一对第二触点部33，
94.所述摆动部件40构成为能够在复位位置p1和动作位置p2之间摆动，所述动作位置p2在所述第一方向x上比所述复位位置p1靠近所述插座20。
95.根据第八方式的检查单元1，能够减少对探针3的第一触点部32以及各第二触点部33的损伤的产生。
96.另外，通过适当组合上述各种实施方式或变形例中的任意的实施方式或变形例，能够发挥各自所具有的效果。另外，能够进行实施方式彼此的组合或者实施例彼此的组合或者实施方式与实施例的组合，并且也能够进行不同的实施方式或者实施例中的特征彼此的组合。
97.本公开参照附图与优选的实施方式相关联地进行了充分的记载，但对于熟练该技术的人们来说，可以进行各种变形、修正。应该理解为这样的变形、修正只要不脱离所附的权利要求书的本公开的范围，就包含在其中。
98.产业上的可利用性
99.本公开的探针例如能够应用于照相机模块等具备btob(business
‑
to
‑
business)连接器作为连接介质的模块、以及sop(small outline package)、qfp(quad flat package)、bga(ball grid array：球栅阵列)等半导体封装的检查中使用的检查工具。
100.本公开的检查工具例如能够应用于照相机模块等具备btob(business
‑
to
‑
business)连接器作为连接介质的模块、以及sop(small outline package)、qfp(quad flat package)、bga(ball grid array：球栅阵列)等半导体封装的检查中使用的检查单元。
101.本公开的检查单元例如能够用于照相机模块等具备btob(business
‑
to
‑
business)连接器作为连接介质的模块、以及sop(small outline package)、qfp(quad flat package)、bga(ball grid array：球栅阵列)等半导体封装的检查。
102.标号说明
103.1检查单元
104.10壳体
105.101开口面
106.103末端面
107.104末端角部
108.13凹部
109.14开口部
110.15收纳槽
111.2检查工具
112.20插座
113.3探针
114.31主体部
115.32第一触点部
116.33第二触点部
117.331引导面
118.34突起
119.35弹性部
120.36第一接触部
121.361接触部主体
122.362抵接部
123.37第二接触部
124.371接触部主体
125.372抵接部
126.38第三触点部
127.40摆动部件
128.41板部
129.411外表面
130.42壁部
131.43收纳孔
132.431凹部
133.432贯通孔
134.47凸缘部
135.50螺旋弹簧
136.61、62、63、64弹性片
137.65、66、67间隙
138.71、72直线部
139.73弯曲部
140.81、82腿部
141.811、821对置面
142.83间隙
143.84突出部
144.100接触对象物
145.110、120凸触点。