一种光刻机大理石平台的制作方法

技术特征：
1.一种光刻机大理石平台，其特征在于，包括：基础组件，包括采用大理石材料制成基座，设置在所述所基座上方、采用大理石材料制成的横梁；运动组件，为三坐标运动机构，包括水平设置在所述基座上的x轴直线运动模组，水平设置在所述横梁上的y轴直线运动模组，以及设置在所述y轴直线运动输出端的z轴直线运动模组。2.根据权利要求1所述的光刻机大理石平台，其特征在于，所述x轴直线运动模组和y轴直线运动模组均采用双导轨直线运动模组。3.根据权利要求2所述的光刻机大理石平台，其特征在于，所述双导轨直线运动模组包括：设置在所述基座或横梁上的两侧的两个直线导轨，分别套装在所述直线导轨上的两个直线滑块，安装在所述直线滑块上的安装台，以及安装在所述安装台上的定位装置或三角形安装架。4.根据权利要求3所述的光刻机大理石平台，其特征在于，所述安装台的外部设置有拖链；所述拖链上至少包括有与直线滑块相连接的控制线路和供电线路。5.根据权利要求3所述的光刻机大理石平台，其特征在于，所述直线导轨与直线滑块之间的公差等级小于或等于9级。6.根据权利要求1所述的光刻机大理石平台，其特征在于，所述基座与横梁之间通过大理石制成的立柱连接安装。7.根据权利要求1所述的光刻机大理石平台，其特征在于，所述x轴直线运动模组、y轴直线运动模组和z轴直线运动模组上均安装有原点标识物。8.根据权利要求3所述的光刻机大理石平台，其特征在于，所述z轴直线运动模组包括：与所述三角形安装架相连接的安装罩，设置在所述安装罩顶部的伺服电机，与所述伺服电机相连接的滚珠丝杆，安装在所述安装罩内、位于所述滚珠丝杆两侧的滑动导轨，套装在所述滚珠丝杆和滑动导轨上的滑动块，以及固定安装在所述滑动块上的输出设备。9.根据权利要求8所述的光刻机大理石平台，其特征在于，所述输出设备为光刻机用曝光头。

技术总结
本实用新型公开了一种光刻机大理石平台，属于光刻机技术领域。包括：基础组件和运动组件；其中，基础组件包括采用大理石材料制成基座，设置在所述所基座上方、采用大理石材料制成的横梁；运动组件为三坐标运动机构，包括水平设置在所述基座上的X轴直线运动模组，水平设置在所述横梁上的Y轴直线运动模组，以及设置在所述Y轴直线运动输出端的Z轴直线运动模组。本实用新型通过采用大理石材料作为基座和横梁，减小了温度对平台的平整度和连接契合度的影响，进而提高平台的运动精度。进而提高平台的运动精度。进而提高平台的运动精度。


技术研发人员：黄良斌 刘冉 孙润光 孙润文
受保护的技术使用者：领先光学技术（常熟）有限公司
技术研发日：2021.07.20
技术公布日：2021/12/17