第三代半导体的生产设备节能方法及相关设备与流程

1.本发明涉及生产设备节能领域，尤其涉及一种第三代半导体的生产设备节能方法及相关设备。


背景技术：

2.第三代半导体制造业为了确保产品品质的稳定，需要耗费大量能源来维持生产运行，其中以长晶炉设备的耗电能居冠，且设备长期的运转会降低其工作效率，使设备不能以最佳稼动率保持运转，增加不必要的耗电能。目前，第三代半导体制造业透过人员抄电表获取各生产设备的有关电力数据，且操作人员根据获取的电力数据及其工作经验做出对生产设备进行节能调节的决策，而操作人员对生产设备节能调节是有限度的，并不能实现最佳和有效的生产设备节约用电的调节，因为操作人员所做的决策受操作人员的工作年限、工作经验、工作设备等因素影响，且人员抄表会出现漏抄和重复抄的情况，降低电力数据的准确性，也增加企业的成本。


技术实现要素：

3.本发明的主要目的在于提供一种第三代半导体的生产设备节能方法及相关设备，旨在解决第三代半导体制造业依赖操作人员经验对生产设备做调度而导致浪费电能的技术问题。
4.本发明第一方面提供了一种第三代半导体的生产设备节能方法，包括：
5.获取生产设备的历史电力数据；
6.基于所述历史电力数据，构建用于评价生产设备节能的多个评价指标；
7.将所述多个评价指标输入预置主成分回归分析模型进行回归分析，得到多个综合指标；
8.基于所述综合指标，对所述生产设备进行节能调节。
9.可选的，在本发明第一方面的第一种实现方式中，所述基于所述综合指标，对所述生产设备进行节能调节包括：
10.基于所述综合指标，确定所述生产设备的节能调节参数；
11.基于所述节能调节参数，对所述生产设备进行节能调节。
12.可选的，在本发明第一方面的第二种实现方式中，所述将所述多个评价指标输入预置主成分回归分析模型进行回归分析，得到多个综合指标包括：
13.对所述多个评价指标进行向量处理，得到多个评价指标向量；
14.基于所述评价指标向量，构建用于评价所述生产设备节能的相关矩阵，并对所述相关矩阵进行矩阵运算，得到特征值及特征向量；
15.按照预置判断规则，对所述特征值及所述特征向量进行主成分指标判断，得到多个主成分指标；
16.对各所述主成分指标进行加权运算，得到多个综合指标。
17.可选的，在本发明第一方面的第三种实现方式中，所述基于所述评价指标向量，构建用于评价所述生产设备节能的相关矩阵，并对所述相关矩阵进行相关系数运算，得到特征值及特征向量包括：
18.基于所述评价指标向量，构建用于评价所述生产设备节能的初始矩阵；
19.对所述初始矩阵进行正交变换运算，得到正交矩阵；
20.基于所述正交矩阵，构建用于评价所述生产设备节能的协方差矩阵；
21.对所述协方差矩阵进行特征分解，得到特征值及特征向量。
22.可选的，在本发明第一方面的第四种实现方式中，所述对所述初始矩阵进行正交变换运算，得到正交矩阵包括：
23.对所述初始矩阵进行分割，得到多个维数相同的单元矩阵；
24.按照向量长度不变规则，对各所述单元矩阵进行线性变换，得到正交矩阵。
25.可选的，在本发明第一方面的第五种实现方式中，在所述基于所述综合指标，对所述生产设备进行节能调节之后，还包括：
26.将调节后的所述生产设备的电力数据反馈至预置电力管理数据库；
27.将所述生产设备的电力数据与所述综合指标对应的电力数据进行实时比对，并将实时比对的结果传输至大屏进行看板监管。
28.可选的，在本发明第一方面的第六种实现方式中，所述生产设备的历史电力数据包括：电力负荷历史数据、日最高温度耗电历史数据、日最低温度耗电历史数据、制造商提供的电力相关参数数据、所述生产设备实时运行的实时用电数据、所述生产设备实时消耗功率数据。
29.本发明第二方面提供了一种第三代半导体的生产设备节能装置，包括：
30.数据获取模块，用于获取生产设备的历史电力数据；
31.指标构建模块，用于基于所述历史电力数据，构建评价生产设备节能的多个评价指标；
32.回归分析模块，用于将所述评价指标输入预置主成分回归分析模型进行回归分析，得到多个综合指标；
33.节能调节模块，用于基于所述综合指标，对所述生产设备进行节能调节。
34.可选的，在本发明第二方面的第一种实现方式中，所述节能调节模块包括：
35.参数确定单元，用于基于所述综合指标，确定所述生产设备的节能调节参数；
36.节能调节单元，用于基于所述节能调节参数，对所述生产设备进行节能调节。
37.可选的，在本发明第二方面的第二种实现方式中，所述回归分析模型包括：
38.向量单元，用于对所述多个评价指标进行向量处理，得到多个评价指标向量；
39.矩阵构建单元，用于基于所述评价指标向量，构建用于评价所述生产设备节能的相关矩阵，并对所述相关矩阵进行矩阵运算，得到特征值及特征向量；
40.判断单元，用于按照预置判断规则，对所述特征值及所述特征向量进行主成分指标判断，得到多个主成分指标；
41.加权单元，用于对各所述主成分指标进行加权运算，得到多个综合指标。
42.可选的，在本发明第二方面的第三种实现方式中，所述矩阵构建单元包括：
43.第一构建矩阵子单元，用于基于所述评价指标向量，构建用于评价所述生产设备
节能的初始矩阵；
44.运算子单元，用于对所述初始矩阵进行正交变换运算，得到正交矩阵；
45.第二构建矩阵子单元，用于基于所述正交矩阵，构建用于评价所述生产设备节能的协方差矩阵；
46.分解子单元，用于对所述协方差矩阵进行特征分解，得到特征值及特征向量。
47.可选的，在本发明第二方面的第四种实现方式中，所述运算子单元具体用于：
48.对所述初始矩阵进行分割，得到多个维数相同的单元矩阵；
49.按照向量长度不变规则，对各所述单元矩阵进行线性变换，得到正交矩阵。
50.可选的，在本发明第二方面的第五种实现方式中，所述生产设备节能装置包括：
51.反馈模块，用于将调节后的所述生产设备的电力数据反馈至预置电力管理数据库；
52.监管模块，用于将所述生产设备的电力数据与所述综合指标对应的电力数据进行实时比对，并将实时比对的结果传输至大屏进行看板监管。
53.可选的，在本发明第二方面的第六种实现方式中，所述生产设备的历史电力数据包括：电力负荷历史数据、日最高温度耗电历史数据、日最低温度耗电历史数据、制造商提供的电力相关参数数据、所述生产设备实时运行的实时用电数据、所述生产设备实时消耗功率数据。
54.本发明第三方面提供了一种电子设备，包括：存储器和至少一个处理器，所述存储器中存储有指令；所述至少一个处理器调用所述存储器中的所述指令，以使得所述电子设备执行上述的第三代半导体的生产设备节能方法。
55.本发明的第四方面提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有指令，当其在计算机上运行时，使得计算机执行上述的第三代半导体的生产设备节能方法。
56.本发明提供的技术方案中，用户直接在第三代半导体的各生产设备连接数位电表，透过数位电表把设备运转电力数据上传到制造执行管理系统，然后通过分别从制造执行管理系统和能源管理系统中获取和用电相关的各电力数据，其中，制造执行管理系统包括配方、温度、产品型号、生产排程等数据，同时，也获取设备生产厂商提高的电力有关参数数据，系统自动提取重要因素作为训练指标，把提取指标输入主成分回归分析模型进行回归分析得到最佳影响设备耗电的综合指标，用户根据所述综合指标制定使生产设备的稼动率达到最佳的节能参数并对生产设备进行节能调节，减少生产设备的用电损耗，从而实现对生产设备节能调节目的。
附图说明
57.图1为本发明实施例中第三代半导体的生产设备节能方法的第一个实施例示意图；
58.图2为本发明实施例中第三代半导体的生产设备节能方法的另第二个实施例示意图；
59.图3为本发明实施例中第三代半导体的生产设备节能装置的第一个实施例示意图；
60.图4为本发明实施例中第三代半导体的生产设备节能装置的第二个实施例示意图；
61.图5为本发明实施例中电子设备的一个实施例示意图。
具体实施方式
62.本发明实施例提供了一种第三代半导体的生产设备节能方法及相关设备，本发明解决了第三代半导体制造业依赖操作人员经验对生产设备做调度而导致浪费电能的技术问题。
63.本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的实施例能够以除了在这里图示或描述的内容以外的顺序实施。此外，术语“包括”或“具有”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
64.为便于理解，下面对本发明实施例的具体流程进行描述，请参阅图1，本发明实施例中第三代半导体的生产设备节能方法的第一个实施例包括：
65.101、获取生产设备的历史电力数据；
66.本实施例中，在第三代导体的各生产设备连接数位电表，透过数位电表把设备运转电力数据上传到制造执行管理系统，通过分别从制造执行管理系统和能源管理系统中获取和用电相关的各数据，其中，制造执行管理系统包括配方、温度、产品型号、生产排程等数据，并对获取的历史电力数据进行标准化处理，统一单位。
67.102、基于所述历史电力数据，构建用于评价生产设备节能的多个评价指标；
68.本实施例中，从获取到的历史电力数据中，提取出多个关键数据作为评价指标，有利于分析出影响生产设备节能的最佳因素，从而有效实现对生产设备节能的调节。
69.103、将所述多个评价指标输入预置主成分回归分析模型进行回归分析，得到多个综合指标；
70.本实施例中，首先把多个评价指标转化为向量形式，用向量构建生产设备节能调节的相关矩阵，通过对相关矩阵进行矩阵的运算，得到特征值和特征向量，根据特征值和特征向量计算出方差贡献率，当特征值大于1且方差贡献率大于80％时，提取主成分指标，对多个主成分指标进行加权运算得到多个综合指标，其中，评价指标包括多个对生产设备节能关键影响因素数据且各关键因素数据之间具有一定相关性的关系；主成分指标包括多个对生产设备节能主要影响因素数据，是通过将多个的评价指标重新组合成一组较少个数的互不相关且具有主要影响因素的指标。
71.本实施例中，通过建立主成分回归分析模型，利用主成分分析对海量数据进行降维以提取到关键数据，有效降低对海量数据的计算工作量。
72.104、基于所述综合指标，对所述生产设备进行节能调节。
73.本实施例中，用户根据所述综合指标制定使生产设备的稼动率达到最佳的节能参数，从而根据节能参数发对生产设备参数进行调节，使生产设备以最佳稼动率保持运转，实
现生产设备的节能，同时，将调节后的电力数据反馈回预置电力管理数据库。
74.本实施例中，通过从能源管理系统和制造执行管理系统获取历史电力数据，其中历史电力数据包括各生产设备电力负荷历史数据、日最高温度耗电历史数据、日最低温度耗电历史数据、制造商提供的电力相关参数数据、所述生产设备实时运行的实时用电数据、所述生产设备实时消耗功率数据，再从海量历史电力数据提取多个关键数据作为训练指标，把指标输入主成分回归分析模型进行回归分析得到综合指标，主成分回归分析模型大大减少了参与数据建模的变量指标数据个数，同时也保留大量原有信息，提取更为准确且更为有效的数据，使对生产设备的节能调节不再依赖人员的经验而做出决策，节约了生产设备损耗多余电能。
75.请参阅图2，本发明实施例中第三代半导体的生产设备节能方法的第二个实施例包括：
76.201、获取生产设备的历史电力数据；
77.202、基于所述历史电力数据，构建用于评价生产设备节能的多个评价指标；
78.本实施例中，上述步骤201及202的说明参照第一实施例，本实施例不再进行赘述。
79.203、对所述多个评价指标进行向量处理，得到多个评价指标向量；
80.本实施例中，把所有评价指标转化为向量形式，为构建矩阵做铺垫。
81.204、基于所述评价指标向量，构建用于评价所述生产设备节能的相关矩阵，并对所述相关矩阵进行矩阵运算，得到特征值及特征向量；
82.本实施例中，根据评价指标向量和预置样本评价指标向量构造所述生产设备节能的初始矩阵，并对所述初始矩阵进行正交变换运算，得到正交矩阵，再通过对正交矩阵去构建协方差矩阵，然后求解协方差矩阵的特征值和特征向量。
83.本实施例中，通过对相关矩阵进行主成分分析，有效降低了矩阵维度，降低了复杂度，在主成分分析过程中，利用相似对角矩阵中各元素的权值计算相似对角矩阵的加权协方差矩阵，实现了加权的主成分分析，使得主成分包含更多有效的信息，因此在降低复杂度的同时，有效提取关键信息。
84.可选的，在一实施例中，步骤204具体包括：
85.(1)基于所述评价指标向量，构建用于评价所述生产设备节能的初始矩阵；
86.(2)对所述初始矩阵进行正交变换运算，得到正交矩阵；
87.(3)基于所述正交矩阵，构建用于评价所述生产设备节能的协方差矩阵；
88.(4)对所述协方差矩阵进行特征分解，得到特征值及特征向量。
89.本实施例中，本实施例中，通过所述评价指标向量和预置样本评价指标向量，去构建生产设备节能调节的初始矩阵，同时，通过对生产设备节能调节的初始矩阵进行分割，得到多个单元矩阵，并对多个单元矩阵进行线性变换且保证向量长度不变，得到正交矩阵，根据正交矩阵建立协方差矩阵，然后对所述协方差进行迭代运算，当迭代到特征值不再变化，此时得出的矩阵为相似对角矩阵，其中，相似对角矩阵对角线上的元素就是协方差矩阵的特征值，此时的相似对角矩阵的列向量就是协方差矩阵的特征值所对应的特征向量。
90.可选的，在一实施例中，所述对所述初始矩阵进行正交变换运算，得到正交矩阵包括：
91.(1)对所述初始矩阵进行分割，得到多个维数相同的单元矩阵；
92.(2)按照向量长度不变规则，对各所述单元矩阵进行线性变换，得到正交矩阵。
93.本实施例中，分割的方法可以是从矩阵的左上角开始从左到右，再从上到下的顺序进行分割，在保证向量长度不变的情况下，对所有单元矩阵进行线性变换，得到正交矩阵。
94.205、按照预置判断规则，对所述特征值及所述特征向量进行主成分指标判断，得到多个主成分指标；
95.本实施例中，根据特征值和特征向量计算出方差贡献率，当特征值大于1且方差贡献率大于80％时，提取主成分指标。
96.206、对各所述主成分指标进行加权运算，得到多个综合指标；
97.本实施例中，通过对所有主成分指标加权运算，得到所述综合指标，用户根据所述综合指标制定使生产设备的稼动率达到最佳的节能参数，并对生产设备进行节能调节。加权运算是为了进一步降维，从而提取最佳的综合指标，其中，综合指标可以是影响生产设备节能的最佳因素。
98.207、基于所述综合指标，确定所述生产设备的节能调节参数；
99.本实施例中，用户通过所述综合指标制定使生产设备的稼动率达到最佳的节能参数，其中，节能参数包括温度、湿度、压力、供电电压、电流、耗电功率。
100.208、基于所述节能调节参数，对所述生产设备进行节能调节；
101.本实施例中，用户根据制定的节能调节参数对生产设备进行节能调节，减少生产设备不必要的用电损耗。
102.209、将调节后的所述生产设备的电力数据反馈至预置电力管理数据库；
103.本实施例中，把调节后的所述生产设备的电力数据进行数据反馈，反馈至预置电力管理数据库，其中，预置电力数据库包括各生产设备生产各种型号产品的最佳用电量数据、各生产设备实时运行的用电数据及耗电功率、各生产设备计划停机的电力负荷数据。
104.210、将所述生产设备的电力数据与所述综合指标对应的电力数据进行实时比对，并将实时比对的结果传输至大屏进行看板监管。
105.本实施例中，通过在预置电力数据库里对所述生产设备的电力数据与所述综合指标对应的电力数据进行实时比对，当比对数据不一致时，将比对不一致结果传输至大屏，并向大屏发出警告提示信息，使用户可以通过看板实时直观掌握生产设备运转异常；当比对数据一致时，把比对一致结果传输至大屏，使用户实时了解生产设备运行状态；其中，警告提示信息可以是把不一致的参数设置成与一致参数不同的颜色，用户可以通过不同颜色更直接掌握出现异常的参数并能及时调整。
106.本实施例中，通过采用主成分回归分析模型有效地对多变量数据问题进行分析，该模型可以使少数独立变量数据代替多个相关变量数据以相同的权重参加运算，消除了变量数据间的相关性带来的影响，且能使原有变量数据所代表的信息更集中、更典型地体现出来，从海量的影响因素中获取主要的信息来定量分析变量数据间的多元线性关系，大大简化了回归方程计算步骤。用户根据所述综合指标制定使生产设备的稼动率达到最佳的节能参数，并对生产设备进行节能调节，从而达到节能目的。
107.上面对本发明实施例中第三代半导体的生产设备节能方法进行了描述，下面对本发明实施例中第三代半导体的生产设备节能装置进行描述，请参阅图3，本发明实施例中第
三代半导体的生产设备节能装置第一个实施例包括：
108.数据获取模块301，用于获取生产设备的历史电力数据；
109.指标构建模块302，用于基于所述历史电力数据，构建评价生产设备节能的多个评价指标；
110.回归分析模块303，用于将所述评价指标输入预置主成分回归分析模型进行回归分析，得到多个综合指标；
111.节能调节模块304，用于基于所述综合指标，对所述生产设备进行节能调节。
112.本实施例中，通过主成分回归分析模型的主成分回归分析方法分析从能源管理系统和制造执行管理系统获取海量历史电力数据，从中提取更为准确且更为有效的数据作为用户调节生产设备节约用电的标准，使用户不再依赖人员的经验而做出调整决策而导致浪费电能。主成分回归分析方法首先对获取的数据进行标准化处理，使各数据的单位统一，再进行降维处理，减少海量的计算工作量。
113.请参阅图4，本发明实施例中第三代半导体的生产设备节能装置的第二个实施例包括：
114.数据获取模块301，用于获取生产设备的历史电力数据；
115.指标构建模块302，用于基于所述历史电力数据，构建评价生产设备节能的多个评价指标；
116.回归分析模块303，用于将所述评价指标输入预置主成分回归分析模型进行回归分析，得到多个综合指标；
117.节能调节模块304，用于基于所述综合指标，对所述生产设备进行节能调节。
118.可选的，在一实施例中，所述节能调节模块304包括：
119.参数确定单元，用于基于所述综合指标，确定所述生产设备的节能调节参数；
120.节能调节单元，用于基于所述节能调节参数，对所述生产设备进行节能调节。
121.可选的，在一实施例中，所述回归分析模型303包括：
122.向量单元，用于对所述多个评价指标进行向量处理，得到多个评价指标向量；
123.矩阵构建单元，用于基于所述评价指标向量，构建用于评价所述生产设备节能的相关矩阵，并对所述相关矩阵进行矩阵运算，得到特征值及特征向量；
124.判断单元，用于按照预置判断规则，对所述特征值及所述特征向量进行主成分指标判断，得到多个主成分指标；
125.加权单元，用于对各所述主成分指标进行加权运算，得到多个综合指标。
126.可选的，在一实施例中，所述矩阵构建单元包括：
127.第一构建矩阵子单元，用于基于所述评价指标向量，构建用于评价所述生产设备节能的初始矩阵；
128.运算子单元，用于对所述初始矩阵进行正交变换运算，得到正交矩阵；
129.第二构建矩阵子单元，用于基于所述正交矩阵，构建用于评价所述生产设备节能的协方差矩阵；
130.分解子单元，用于对所述协方差矩阵进行特征分解，得到特征值及特征向量。
131.可选的，在一实施例中，所述运算子单元具体用于：
132.对所述初始矩阵进行分割，得到多个维数相同的单元矩阵；
133.按照向量长度不变规则，对各所述单元矩阵进行线性变换，得到正交矩阵。
134.可选的，在一实施例中，所述生产设备节能装置还包括：
135.反馈模块305，用于将调节后的所述生产设备的电力数据反馈至预置电力管理数据库；
136.监管模块306，用于将所述生产设备的电力数据与所述综合指标对应的电力数据进行实时比对，并将实时比对的结果传输至大屏进行看板监管。
137.可选的，在一实施例中，所述生产设备的历史电力数据包括：电力负荷历史数据、日最高温度耗电历史数据、日最低温度耗电历史数据、制造商提供的电力相关参数数据、所述生产设备实时运行的实时用电数据、所述生产设备实时消耗功率数据。
138.本实施例中，第三代半导体制造业通过各生产设备连接数位电表，然后透过数位电表把设备运转电力数据上传到制造执行管理系统，再通过分别从制造执行管理系统和能源管理系统中获取和用电相关的各电力数据，同时，也获取设备生产厂商提高的电力有关参数数据，系统自动提取重要因素作为训练指标，把提取指标输入主成分回归分析模型进行回归分析得到最佳影响设备耗电的综合指标；用户根据所述综合指标制定使生产设备的稼动率达到最佳的节能参数，并对生产设备进行节能调节，且在预置电力数据库里对所述生产设备的电力数据与所述综合指标对应的电力数据进行实时比对，当比对数据不一致时，将比对不一致结果传输至大屏，并向大屏发出警告提示信息，使用户可以通过看板实时直观掌握生产设备运转异常；当比对数据一致时，把比对一致结果传输至大屏，使用户实时了解生产设备运行状态；其中，警告提示信息可以是把不一致的参数设置成与一致参数不同的颜色以区分，用户可以通过不同颜色更直接掌握出现异常的参数并能及时调整。
139.上面图3和图4从模块化功能实体的角度对本发明实施例中的第三代半导体的生产设备节能装置进行详细描述，下面从硬件处理的角度对本发明实施例中电子设备进行详细描述。
140.图5是本发明实施例提供的一种电子设备的结构示意图，该电子设备500可因配置或性能不同而产生比较大的差异，可以包括一个或一个以上处理器(central processing units，cpu)510(例如，一个或一个以上处理器)和存储器520，一个或一个以上存储应用程序533或数据532的存储介质530(例如一个或一个以上海量存储设备)。其中，存储器520和存储介质530可以是短暂存储或持久存储。存储在存储介质530的程序可以包括一个或一个以上模块(图示没标出)，每个模块可以包括对电子设备500中的一系列指令操作。更进一步地，处理器510可以设置为与存储介质530通信，在电子设备500上执行存储介质530中的一系列指令操作。
141.电子设备500还可以包括一个或一个以上电源540，一个或一个以上有线或无线网络接口550，一个或一个以上输入输出接口560，和/或，一个或一个以上操作系统531，例如windows serve，mac os x，unix，linux，freebsd等等。本领域技术人员可以理解，图5示出的电子设备结构并不构成对电子设备的限定，可以包括比图示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件布置。
142.本发明还提供一种电子设备，所述电子设备包括存储器和处理器，存储器中存储有计算机可读指令，计算机可读指令被处理器执行时，使得处理器执行上述各实施例中的所述第三代半导体的生产设备节能方法的步骤。
143.本发明还提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质可以为非易失性计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质也可以为易失性计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有指令，当所述指令在计算机上运行时，使得计算机执行所述第三代半导体的生产设备节能方法的步骤。
144.所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统，装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
145.所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：u盘、移动硬盘、只读存储器(read
‑
only memory，rom)、随机存取存储器(random access memory，ram)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
146.以上所述，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。