包括减压阀的真空泵和减压阀的组装方法与流程

技术特征：
1.一种多级旋转真空泵，包括：定子，包括多个泵送级；至少一个级间分隔件，其将两个相邻的泵送级分开；所述至少一个级间分隔件包括两个壁，所述两个壁在其间限定腔，上游壁界定所述两个相邻泵送级中的上游泵送级，并且下游壁界定所述两个相邻泵送级中的下游泵送级；所述腔包括减压流体流动路径的至少一部分，所述减压流体流动路径提供从所述上游级的出口部分朝向所述上游级的入口部分或朝向排出口的路径，所述减压流体流动路径包括孔口，所述孔口包括阀座；以及减压阀，被构造成在压缩状态和伸长状态之间移动，所述减压阀在处于所述伸长状态时密封所述孔口，并且被构造成响应于所述上游级中的压力上升到预定值以上而移动到所述压缩状态，使得所述孔口不被阻塞。2.根据权利要求1所述的多级旋转真空泵，其中，所述减压阀包括用于将所述阀可释放地保持在所述压缩状态的保持装置。3.根据权利要求2所述的多级旋转真空泵，其中，所述阀的外密封面包括接收装置，所述接收装置构造成接收用于使所述外密封面旋转以释放或接合所述保持装置的工具。4.根据权利要求2或3所述的多级旋转真空泵，其中所述保持装置包括钩和用于保持所述钩的保持器，所述钩和保持器中的一者附接至所述阀的固定端，并且所述钩和保持器中的另一者附接至密封端，所述阀构造成使得所述阀的所述密封端的旋转将所述钩与所述保持器接合或从所述保持器释放。5.根据权利要求1至4中任一项所述的多级旋转真空泵，其中所述孔口位于所述级间分隔件的一个壁中并且包括所述上游泵送级的出口。6.根据权利要求1至4中任一项所述的多级旋转真空泵，其中，所述腔包括泵送流体流动路径，所述泵送流体流动路径提供从所述上游级的所述出口部分朝向所述下游级的入口部分的路径，所述泵送流体流动路径和所述减压流体流动路径包括在所述路径的接合部处的所述孔口。7.根据权利要求6所述的多级旋转真空泵，其中，从所述上游级的所述出口部分至所述孔口的所述流体流动路径的一部分包括组合的减压流体流动路径和泵送流体流动路径。8.根据权利要求1至5中任一项所述的多级旋转真空泵，其中，所述减压阀构造成在所述两个壁之间延伸，当所述阀处于所述伸长状态时，所述阀的固定端安装在所述下游壁中，而所述阀的密封端延伸至所述上游壁。9.根据任何前述权利要求所述的多级旋转真空泵，其中所述真空泵包括用于接收所述阀的固定端的凹部。10.一种在将两个相邻泵送级分开的壁之间的级间腔内组装阀的方法，所述方法包括：将通过保持装置保持在压缩状态的减压阀插入在所述级间腔的所述壁之间，所述减压阀包括密封端和相对端，所述密封端用于与减压流体流动路径内的孔口中的阀座接合，所述减压流体流动路径穿过所述级间腔并且将上游级的出口部分连接到所述上游级的入口部分或连接到排出口；将所述阀定位在所述流体流动路径内；以及将所述阀从所述压缩状态释放，使得所述阀移动到伸展状态，并且所述阀的密封端与
所述孔口中的所述阀座配合。11. 根据权利要求10所述的方法，其中所述孔口位于所述腔的上游壁中；以及所述定位步骤包括将所述阀的所述相对端定位在所述级间腔的下游壁中的凹部内；以及将所述阀从所述压缩状态释放，使得所述阀移动到伸展状态，并且所述密封端与所述上游壁中的所述阀座配合。12. 根据权利要求10所述的方法，其中所述孔口位于所述腔内的泵送流体流动路径的壁中，所述孔口连接所述泵送流体流动路径和所述减压流体流动路径；以及所述定位步骤包括将所述阀的所述相对端定位在所述减压流体流动路径的壁中的凹部内；以及将所述阀从所述压缩状态释放，使得所述阀移动到伸展状态，并且所述密封端与所述孔口中的所述阀座配合。13.根据权利要求10至12中任一项所述的组装阀的方法，其中，所述保持装置包括适于与保持器可旋转地接合的接合部分，所述接合部分附接至所述密封端或相对端中的一者，并且所述保持器附接至所述密封端或相对端中的另一者，将所述阀从所述压缩状态释放的所述步骤包括旋转所述密封端，使得所述保持器与所述接合部分脱离接合。14.根据权利要求13所述的组装阀的方法，其中，所述接合部分包括钩。15.根据权利要求13或14所述的组装阀的方法，其中，将所述阀从所述压缩状态释放的所述步骤包括将所述密封端的外表面上的接收装置与工具接合，并且旋转所述工具直到所述保持器释放所述接合部分。

技术总结
一种多级旋转真空泵，包括：定子，包括多个泵送级；至少一个级间分隔件，其将两个相邻的泵送级分开；所述至少一个级间分隔件包括两个壁，所述两个壁在其间限定腔，上游壁界定所述两个相邻泵送级中的上游泵送级，并且下游壁界定所述两个相邻泵送级中的下游泵送级。所述腔包括减压流体流动路径的至少一部分，所述减压流体流动路径提供从所述上游级的出口部分朝向所述上游级的入口部分或朝向排出口的路径，所述减压流体流动路径包括孔口，所述孔口包括阀座；以及构造成在压缩状态和伸长状态之间移动的减压阀，该减压阀在处于伸长状态时密封孔口，并且构造成响应于上游级中的压力上升到预定值以上而移动到压缩状态，使得孔口不被阻塞。塞。塞。


技术研发人员：N
受保护的技术使用者：爱德华兹有限公司
技术研发日：2020.05.12
技术公布日：2021/12/14