一种成像椭圆偏振仪的焦平面自动聚焦方法与流程

技术特征：
1.一种成像椭圆偏振仪的焦平面自动聚焦方法，其特征在于：具体步骤包括：(1)图像采集：通过移动样本载台变化成像椭圆偏振仪的物镜聚焦深度，在物镜的聚焦深度全行程上逐点采集椭圆偏振图像；(2)边缘检测：将步骤(1)采集的各个聚焦深度椭偏图像ip或is进行边缘检测；(3)确定精准焦平面位置：选取检测得到的横向和纵向边缘最清晰位置，确定为该测量样本的精准焦平面位置，进而实现成像椭圆偏振仪的焦平面自动聚焦；(4)开发板选取：所述的开发板为arduino，stm32或现场可编程门阵列(fpga)式的开发板；通过开发板控制样本载台使物镜聚焦深度走过包括焦平面整个行程，全行程取多点成像椭圆偏振仪的ip或is图像。(5)聚焦应用：通过开发板控制电机移动样本载台，使物镜聚焦到焦平面位置，再进一步的进行成像椭偏测量而实现应用。2.根据权利要求1所述的一种成像椭圆偏振仪的焦平面自动聚焦方法，其特征在于：成像椭圆偏振仪的辅助聚焦的控制的具体实现过程为：(1)先从椭偏仪读入通过抬升或下降样本载台得到的各聚焦深度图像数据；(2)再用自动聚焦方法得到精准焦平面位置；再将得到的精准焦平面位置传给控制物镜聚焦深度的开发板控制软件；(3)开发板控制移动物镜聚焦深度到相应的焦平面位置，实现整个成像椭偏仪的自动聚焦。3.根据权利要求1所述的一种成像椭圆偏振仪的焦平面自动聚焦方法，其特征在于：实现自动聚焦的设备包括存储器和处理器，存储器存储有计算机程序，计算机程序由处理器执行时，处理器执行如下步骤：先由处理器控制驱动电机通过移动样本载台将物镜聚焦平面在ccd粗聚焦确定焦平面位置附近做全行程移动，全行程多点获取成像椭圆偏振仪的ip或is图像；再通过随聚焦深度的变化观测到预期待测样品相对应的清晰的边缘检测图，即为该样品测量的精准焦平面位置；其中，所述的开发板是arduino或stm32或能够一体化地快速处理图像数据同时还能够控制驱动硬件的fpga开发板。

技术总结
本发明属于光学设备聚焦技术领域，属于成像椭圆偏振仪技术领域的光学设备自动聚焦相关技术，涉及一种通过分析焦平面附近图像边缘探测进行成像椭圆偏振仪的焦平面自动聚焦的方法，具体步骤包括：图像采集、边缘检测、确定精准焦平面位置、开发板选取、聚焦应用；与现有技术相比，可以更加快速有效地确定成像椭圆偏振仪的焦平面，对半透明、微小生物样品测量节省了聚焦时间；不需要选择阈值，非常容易使用；测量的偏振光与物质光学相互作用得到椭偏图像数据焦平面变化比同时CCD取图同样处理方法得到的数据灵敏度更高；其成像椭偏图焦平面确定的灵敏度高，整体设计原理科学可靠，实现工艺步骤简单，自动聚焦效果好，应用价值高，应用环境友好。环境友好。环境友好。


技术研发人员：郭海燕 吴锜
受保护的技术使用者：郭海燕
技术研发日：2021.10.21
技术公布日：2021/12/14