基板及显示面板的制作方法

技术特征：
1.一种基板，其特征在于，包括：衬底；以及多个薄膜晶体管，所述薄膜晶体管设置在所述衬底上；所述薄膜晶体管包括：栅极，所述栅极设置在所述衬底上；有源层，所述有源层设置在所述衬底上且与所述栅极异层设置，所述有源层与所述栅极重叠设置；阻隔层，所述阻隔层至少覆盖所述有源层和所述栅极，所述阻隔层用于阻隔水氧；平坦层，所述平坦层覆盖在所述阻隔层上；以及源漏金属层，所述源漏金属层设置在所述平坦层上，所述源漏金属层包括源极和漏极，所述源极和所述漏极分别连接于所述有源层。2.根据权利要求1所述的基板，其特征在于，所述基板还包括第一绝缘层，所述第一绝缘层设置在所述有源层上，所述栅极设置在所述第一绝缘层上；所述有源层、所述第一绝缘层和所述栅极堆叠形成凸出结构，所述阻隔层覆盖所述凸出结构的外表面。3.根据权利要求2所述的基板，其特征在于，所述有源层包括第一顶面和连接于所述第一顶面周沿的第一侧面；所述第一绝缘层设置在所述第一顶面的中间区域，所述第一绝缘层包括第二顶面和连接于所述第二顶面周沿的第二侧面；所述栅极设置在所述第二顶面上，所述栅极包括第三顶面和连接于所述第三顶面周沿的第三侧面；所述阻隔层覆盖所述第一顶面的侧边区域、所述第一侧面、所述第二侧面、所述第三顶面和所述第三侧面。4.根据权利要求2所述的基板，其特征在于，所述基板还包括遮光层、缓冲层和第二绝缘层，所述遮光层设置在所述衬底上，所述遮光层与所述有源层重叠设置，所述缓冲层设置在所述遮光层和所述有源层之间，所述第二绝缘层设置在所述源漏金属层上；所述源漏金属层还包括源极延长线，所述源极延长线分别连接于所述源极和所述遮光层。5.根据权利要求1所述的基板，其特征在于，所述基板还包括第一绝缘层，所述第一绝缘层设置所述栅极上，所述有源层设置在所述第一绝缘层上；所述阻隔层覆盖在所述有源层的外表面。6.根据权利要求5所述的基板，其特征在于，所述第一绝缘层设置有沟槽，所述沟槽绕设在所述栅极的外周，所述阻隔层覆盖所述沟槽。7.根据权利要求1
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6任意一项所述的基板，其特征在于，所述阻隔层的密度大于或等于2.5g/cm3。8.根据权利要求1
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6任意一项所述的基板，其特征在于，所述阻隔层为单层结构，所述阻隔层的材料包括金属氧化物。9.根据权利要求1
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6任意一项所述的基板，其特征在于，所述阻隔层包括第一阻隔层和第二阻隔层，所述第二阻隔层设置在所述第一阻隔层上，所述第一阻隔层的材料包括金属
氧化物，所述第二阻隔层的材料包括硅氧化物。10.一种显示面板，其特征在于，包括如权利要求1
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8任意一项所述的基板，所述显示面板还包括层叠设置的第一电极、发光层和第二电极，所述第一电极连接于所述漏极。11.一种显示面板，其特征在于，包括阵列基板、对向基板和设置在所述阵列基板和所述对向基板之间的液晶；所述阵列基板包括如权利要求1
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9任意一项所述的基板。

技术总结
本申请实施例公开了一种基板及显示面板，其中薄膜晶体管包括栅极、有源层和源漏金属层。有源层与栅极异层设置，有源层与栅极重叠设置；阻隔层至少覆盖有源层和栅极，阻隔层用于阻隔水氧。平坦层覆盖在阻隔层；源漏金属层设置在平坦层上。源漏金属层包括源极和漏极，源极和漏极分别连接于有源层。本申请采用阻隔层至少覆盖薄膜晶体管的栅极和有源层，以阻隔外界的氢、氧和水汽等侵入栅极和有源层，且采用平坦层平坦有源层和栅极的堆叠结构，从而降低源漏金属层及以上的膜层受复杂地形影响的风险。风险。风险。


技术研发人员：檀小芳 宋志伟
受保护的技术使用者：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日：2021.08.16
技术公布日：2021/12/2