一种返修装置的制作方法

1.本技术涉及晶片加工领域，尤其涉及一种返修装置。


背景技术：

2.由于点胶或晶片放置位置的不准确等工艺问题的存在，本领域的技术人员有时候需要对封装后的晶片进行返修。在返修时需要使用铣刀把已经封装的晶片从基板上刮掉；现有技术中，多是通过人眼直接观察来对铣刀的位置进行定位；因为基板上晶片以及电路的尺寸较小和人眼定位的精度差的原因，铣刀容易误刮到基板上的电路造成基板上电路的破坏。


技术实现要素：

3.本实用新型提供了一种返修装置以解决现有技术中的在刮除晶片的过程中易误伤基板的电路的问题。
4.本实用新型提供了一种返修装置，包括支架、刀具驱动座、刀具以及影像获取装置；所述刀具驱动座安装于所述支架；所述刀具驱动座传动连接所述刀具；多个所述影像获取装置分别从不同角度对向所述刀具的作业端，以采集所述刀具的作业端的影像信号。
5.优选的，设有两个所述影像获取装置，两个所述影像获取装置分别位于所述刀具的相对的两侧位置。
6.优选的，所述影像获取装置通过固定座安装于所述支架。
7.优选的，还具有作业台，所述作业台位于所述刀具的作业端这一侧,所述作业台包括用于承载待加工基板的载台。
8.优选的，所述作业台包括第一运动座，所述第一运动座在第一方向上带动所述载台移动。
9.优选的，所述作业台还包括第二运动座，所述第二运动座在第二方向上带动所述载台移动，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。
10.优选的，所述刀具驱动座包括第一电机；所述第一电机的输出端与所述刀具传动连接，以驱动所述刀具旋转。
11.优选的，所述支架包括：z轴移动机构；所述z轴移动机构连接于所述刀具驱动座；所述z轴移动机构带动所述刀具驱动座在z轴方向上运动。
12.优选的，所述z轴移动机构包括：
13.第一直线导轨,所述第一直线导轨竖直的安装于所述支架；
14.滑块，所述滑块安装于所述第一直线导轨滑块；以及
15.第二电机，所述第二电机驱动所述滑块沿所述第一直线导轨运动；所述刀具驱动座安装于所述滑块。
16.优选的，所述影像获取装置安装于所述滑块。
17.本技术实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：
18.所述返修装置上设有影像获取装置；多个所述影像获取装置分别从不同的角度对向所述刀具的作业端，从多角度采集所述刀具的作业端的影像信号，以实现对所述刀具位置的准确定位，避免刀具误刮到基板上的电路。
附图说明
19.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。
20.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.图1为本技术实施例提供的返修装置的立体图。
22.图2为本技术实施例提供的返修装置的正视图。
23.图3为本技术实施例提供的返修装置的俯视图。
24.附图说明：1
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刀具，2
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影像获取装置，3
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作业台，301
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载台，302
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第一运动座，303
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第二运动座，4
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刀具驱动座，5
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支架，6
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底座，7
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固定座，8
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基板。
具体实施方式
25.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
26.在对基板表面的晶片进行返修的过程中，为了避免因误差(现有技术中指由于人眼分辨刀具1的位置所带来的误差)导致的刀具1损坏基板8上的电路的问题；本实用新型提供一种返修装置，如图1至图3所示，所述图1是本技术实施例提供的返修装置的立体图；所述图2是本技术实施例提供的返修装置的正视图，所述图3是本技术实施例提供的返修装置的俯视图；所述返修装置设有影像获取装置2；所述影像获取装置2对向所述刀具1的工作端，从而对所述刀具1的工作端的影像信息进行采集；采集的所述影像数据被影像处理终端处理以形成刀具1的空间位置信息，从而实现对刀具1的准确定位；所述影像处理终端将刀具1的具体定位位置信息传输给控制中心(图中未显示)；所述控制中心结合所述刀具1的具体位置信息控制所述刀具1的运动路径(或者控制所述载有基板8的载台301的运动路径)；避免刀具1误伤所述基板8上的电路。
27.具体来说，本实用新型提供的返修装置是使用影像处理终端代替人眼进行测量和判断所述刀具1的实时位置。其具体工作原理为：通过所述影像获取装置2将捕获的对象(本实施例中是指刀具1的工作端的影像信息)转换为影像信号，然后所述影像获取装置2将转化的所述影像信号发送到所述影像处理终端；影像处理终端根据像素分布和亮度，色彩等信息，将其转换为数字信号；然后所述影像处理终端对所述数字信号执行各种操作以提取目标特征(例如面积，数量，位置，长度)，以实现准确识别目标的空间位置的功能。
28.所述返修装置主要包括底座6，支架5、刀具驱动座4、刀具1以及影像获取装置2；所述支架5安装于所述底座6，如图1至图3所示，所述支架5优选为龙门架；所述刀具驱动座4安
装于所述支架5；所述刀具驱动座4传动连接所述刀具1，所述刀具1优选为铣刀，所述刀具驱动座4驱动所述刀具1转动；所述影像获取装置2对向所述刀具1的作业端，以采集所述刀具1的作业端的影像信号。
29.应当理解的是，所述支架5指的是承载所述刀具驱动座4的支撑机构；具有承载所述刀具驱动座4功能的支撑机构，包括可活动的或者不可活动的，本领域的技术人员在不经过创造性的劳动而想到的其他的支撑机构的形式，如机械臂也应当属于本实用新型所述的支架5的保护范围之内。
30.为了避免刀具驱动座4对所述影像获取装置2的遮挡，优选的，所述影像获取装置2倾斜的安装。
31.进一步的，所述影像获取装置2通过固定座7倾斜的安装于所述支架5；所述固定座7可以固定安装于所述支架5，也可以转动安装于所述支架5；转动安装可以使所述影像获取装置2的角度能够调节；所述固定座7的末端可以与所述支架5相铰接，可以通过电机控制所述固定座7的旋转角度，也可以通过设置紧固螺栓固定所述固定座7的旋转角度；所述固定座7可以采用可伸缩杆，以增加一个空间上的可调节的维度；所述可伸缩杆可以是驱动件驱动自动伸缩也可以是手动控制伸缩。
32.为了对所述刀具1的定位的精确程度，优选的，所述返修装置可以设有多个所述影像获取装置2；多个所述影像获取装置2分别从不同角度对向所述刀具1的作业端；多个所述影像获取装置2分别从不同的角度采集所述刀具2的影像信号；多个不同角度的影像信号被所述影像处理终端拟合处理以得到所述刀具1的空间位置信息；图像拟合的流程和具体方法为现有技术，在此不做赘述；所述影像处理终端将刀具1的空间位置信息传输给所述控制中心；上述的多角度的影像信号的拟合的方案能够从多点对所述刀具1的空间位置进行定位，相比于一个所述影像获取装置2的单点定位，其定位更加的准确，且不会被刀具1遮挡，不存在视觉死角。
33.进一步的，考虑到处理晶片的刀具1的直径较小(一般1
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2mm)，刀具1对影像获取装置2的遮挡程度较小；在一个优选的方案中，所述返修装置上可以只安装有两个所述影像获取装置2来采集所述刀具1的作业端的影像信号；两个所述影像获取装置2分别安装于所述刀具1的相对的两侧位置，从相对的两侧对所述刀具1的工作端进行拍摄。上述技术方案，从相对的两点对所述刀具1进行定位，在满足我司定位准确度要求的前提下有效的降低了设备成本。
34.优选的，所述影像获取装置2优选ccd摄像头，所述ccd摄像头，相比于传统的摄像头，它是一种半导体成像器件，因而具有灵敏度高、抗强光、畸变小、体积小、寿命长、抗震动等优点；应当理解的是，本领域的技术人员也可以可以选择其他类型的影像采集用摄像头作为所述影像获取装置2。
35.优选的，所述底座6上还具有作业台3，所述作业台3位于所述刀具1的作业端这一侧,所述作业台3包括所述载台301；所述载台301用于承载待加工的基板8；所述刀具驱动座4带动所述刀具1对所述载台301上的基板8进行处理。
36.进一步的，为了在加工过程中固定所述载台301上的基板8，所述载台301可以为负压载台，所述负压载台可以在所述基板8和台面之间形成负压，已将所述基板8牢固的吸附于所述负压载台的台面；具体而言，所述载台301的内部设有一条或者多条气道(图中未显
示)，所述载台301的工作面上设有多个与所述气道连通的气孔(图中未显示)；多个多数气孔均匀排列；真空泵(图中未显示)的气管与所述气道连通；当所述基板8放置于所述载台301上时，所述真空泵抽气，其带来的负压使所述基板8牢固的吸附于所述载台301。
37.为了对所述基板8上不同的位置的晶片进行返修，所述载台301为可移动设计，优选的，所述作业台3包括第一运动座302，所述载台301固定于所述第一运动座302；所述第一运动座302在第一方向上带动所述载台301移动；所述第一运动座302能够使所述载台301在第一方向上移动。
38.进一步的，所述作业台3还包括第二运动座303，所述第一运动座302在第一方向上可移动的安装于所述第二运动座303；所述第二运动座303可以带动所述载台301在第二方向上移动，所述第一方向与所述第二方向相互垂直。
39.进一步的，所述第一运动座302和所述第二运动座303共同构成了xy轴移动平台；所述第一运动座302和所述第二运动座303可以分别由独立的驱动机构驱动，两所述驱动机构由控制中心控制，所述第一运动座302和所述第二运动座303根据实际需要可以同步运动也可以异步运动；所述第一运动座302和所述第二运动座303根据所述控制中心的指令能够带动所述载台301在平面内任意方向运动。
40.进一步的，所述底座6上安装有沿所述第二方向的第二导轨和相对所述第二导轨设置的沿所述第二方向的第二丝杆；所述第二运动座303可滑动的安装于所述第二导轨，所述第二丝杆穿过所述第二运动座303上相对设置的螺纹孔；所述第二运动座303上安装有沿所述第一方向的第一导轨和相对所述第一导轨设置的沿所述第一方向的第一丝杆；所述第一运动座302可滑动的安装于所述第一导轨，所述第一丝杆穿过所述第一运动座302上相对设置的螺纹孔；所述第一丝杆和第二丝杆分别由两个独立的驱动机构驱动转动。
41.应当理解的是，所述工作台3主要包括所述可以移动的载台301，以及带动所述载台301移动的运动座；上述的第一运动座301、第二运动座302以及它们之间的连接方式以及驱动它们移动的驱动件均为一个或者几个具体的实施方式；本领域的技术人员并不限于使用上述的实施方式实现所述载台301的移动。
42.优选的，所述刀具驱动座4包括机壳和驱动所述刀具1转动的第一电机；所述第一电机优选为高速旋转电机；所述第一电机安装于所述机壳。
43.优选的，所述刀具1和载台301间的间距可以调节；所述的间距的调节方式可以但不限于由以下四个实施例实现：
44.在第一个实施例中，所述刀具驱动座4可以在z轴方向上移动。
45.进一步的，所述支架5包括可在z轴方向上移动的z轴移动机构；所述刀具驱动座4安装于所述z轴移动机构。
46.进一步的，所述竖z轴移动机构包括竖直的安装于所述支架5的第三导轨；相对所述第三导轨设置的竖直的第三丝杆；可滑动的安装于所述第三导轨的滑块，所述第三丝杆穿过所述滑块上的螺纹孔；驱动所述第三丝杆转动的第二电机；所述第二电机配套有齿轮减速箱；所述第三丝杆与所述齿轮减速箱的输出端传动连接；所述第二电机驱动所述第三丝杆转动，从而驱动所述滑块沿所述第三导轨运动；所述刀具驱动座4安装于所述滑块；所述滑块的运动带动所述刀具驱动座4在竖直方向上运动，从而调整所述刀具1与所述载台301间的间距。
47.进一步的，所述影像获取装置2也安装于所述滑块；所述影像获取装置2与所述刀具驱动座4同步移动；上述设计的目的在于，在所述刀具驱动座4升降的过程中，保证所述影像获取装置2始终对向所述刀具2的工作端。
48.进一步的，所述影像获取装置2通过所述固定座7倾斜的安装于所述滑块。
49.在第二个实施例中，所述底座6上安装有可升降座(图中未显示)，所述作业台3安装于所述可升降座；所述升降座包括支撑板、在竖直方向上运动的顶杆以及驱动所述顶杆运动的驱动座；所述驱动座安装于所述底座6；所述支撑板安装于所述顶杆的顶端；所述工作台3安装于所述支撑板的上端面。
50.在本实施例中，沿所述第二方向的第一导轨和相对所述第二导轨设置的沿所述第二方向的第二丝杆安装于所述支撑板的上端面。
51.在本实施例中，所述驱动座可以为电机或者气缸或者液压缸。
52.在本实施例中，所述刀具1的位置是固定的；通过调整所述可升降座的高度来调节所述载台301与所述刀具1之间的间距。
53.在第三个实施例中，所述支架5为可升降式的龙门架；包括横梁和设于所述横梁两侧的竖梁；所述横梁在z轴方向上可移动的安装于所述竖梁；具体的，所述竖梁上设有竖直的第四导轨；所述一侧的竖梁上相对所述第四导轨还设有竖直的第四丝杆；所述横梁的两端可移动的安装于所述第四导轨，所述第四丝杆穿过所述横梁一端的螺纹孔；设有第三电机驱动所述第四丝杆转动；所述第三电机配套有齿轮减速箱；所述第四丝杆与所述齿轮减速箱传动连接；所述第三电机驱动所述第四丝杆转动，从而使所述横梁沿所述第四导轨在竖直方向上运动；所述刀具驱动座4以及影像获取装置2安装于所述横梁；所述影像获取装置2通过所述固定座7倾斜的安装于所述横梁；本领域的技术人员通过调整所述横梁的高度来调整所述刀具1与载台301间的间距。
54.优选的，在第四个实施例中，所述支架5可以为机械臂；所述影像获取装置2和所述刀具驱动座4安装于所述机械臂的作业端；所述机械臂可以为三坐标机械臂；所述机械臂也可以为多关节式机械臂，所述多关节式机械臂可以在一定空间内自由活动，灵活操作所述刀具1进行作业。
55.应当理解的是，本领域的技术人员不限于使用上述实施方法以实现所述“刀具1和载台301间的间距可以调节”这一功能。
56.需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
57.以上所述仅是本发明具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本发明。对这些实施例的多种修改对本领域技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最
宽的范围。