机台联动性的监控方法及监控系统与流程

技术特征：
1.一种机台联动性的监控方法，应用于半导体工艺路线，其特征在于，包括：选择有生产工艺时间限制的所述半导体工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个所述机台的可利用时间率；基于各个所述机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个所述机台之间的相关系数；根据所述相关系数与预设条件来判断所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的所述机台的可利用时间率，使得根据各个所述机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足所述预设条件。2.根据权利要求1所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，所述预设条件包括任意两个所述机台之间的相关系数大于零。3.根据权利要求1或2所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，所述相关系数小于或等于零时，调整与所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率，并同步调整剩余的所述机台的可利用时间率。4.根据权利要求1所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，所述机台联动性的监控方法还包括：将计算得到的各个所述机台之间的相关系数形成相关系数矩阵。5.根据权利要求1所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，计算任意两个所述机台之间的相关系数之前，所述机台联动性的监控方法还包括：计算任意两个所述机台关于各自可利用时间率的方差，进而计算协方差。6.一种机台联动性的监控系统，应用于半导体工艺路线，其特征在于，包括：数据获取模块，其被配置为选择有生产工艺时间限制的所述半导体工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个所述机台的可利用时间率；数据处理模块，其被配置为基于各个所述机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个所述机台之间的相关系数；数据调整模块，其被配置为根据所述相关系数与预设条件来判断所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的所述机台的可利用时间率，使得根据各个所述机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足所述预设条件。7.根据权利要求6所述的机台联动性的监控系统，其特征在于，所述数据调整模块包括条件配置单元，所述条件配置单元用于配置所述预设条件，使得所述预设条件包括任意两个所述机台之间的相关系数大于零。8.根据权利要求6或7所述的机台联动性的监控系统，其特征在于，所述数据调整模块包括判断调整单元，所述判断调整单元用于在所述相关系数小于或等于零时，调整与所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率，并同步调整剩余的所述机台的可利用时间率。9.根据权利要求6所述的机台联动性的监控系统，其特征在于，所述数据处理模块包括矩阵形成单元，所述矩阵形成单元用于根据计算得到的各个所述机台之间的相关系数形成相关系数矩阵。10.根据权利要求6所述的机台联动性的监控系统，其特征在于，所述数据处理模块预处理单元，所述预处理单元用于计算任意两个所述机台关于各自可利用时间率的方差，进
而计算协方差。

技术总结
本发明的机台联动性的监控方法及监控系统中，机台联动性的监控方法包括：选择半导体有生产工艺时间限制的工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个机台的可利用时间率；基于各个机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个机台之间的相关系数；根据相关系数与预设条件判断相关系数关联的两个机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的机台的可利用时间率，使得根据各个机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足预设条件。如上配置，可以加强预定线路上机台的可利用时间率的联动性、提高各个机台的利用率、加快芯片的流通速度、减少预定线路上芯片的堆积量，使整个半导体工艺路线生产更加均衡，增加车间的产量。增加车间的产量。增加车间的产量。


技术研发人员：张峰 贾宇 程杰 管维康 张嘉炯
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：2021.08.30
技术公布日：2021/11/30