玻璃基板检查机的制作方法

1.本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种玻璃基板检查机。


背景技术：

2.在显示面板的制造过程中，玻璃基板上需进行多道加工工序，为了及时发现不良品，避免不良品进入后续的加工工序中，需要在显示面板的制造过程中对玻璃基板进行多次检查，以判断加工质量是否符合要求。现有的玻璃基板检查机在玻璃基板的输送台上方设有检查机构，检查机构包括相机，利用相机对玻璃基板进行扫描以确定对玻璃基板的加工是否合格。相机在工作过程中会进行往复运动，长期运动后导致的部件磨损及老化可能会产生异物，这些异物掉落在玻璃基板上将对后续的加工造成不良影响。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种玻璃基板检查机，能有效清除玻璃基板上的异物，使玻璃基板表面的异物在玻璃基板检查机中即被清除，提高显示面板的生产效率。
4.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.提供一种玻璃基板检查机，包括腔体和设置在所述腔体内部的输送台、检查机构、气刀和工作台，所述输送台用于输送玻璃基板，所述检查机构和所述工作台设置在所述输送台上方，所述气刀设置在所述工作台上，所述气刀的开口朝向所述输送台。
6.作为本实用新型的一种优选方案，所述检查机构包括第一相机组件和第二相机组件，所述第一相机组件和所述第二相机组件沿所述玻璃基板的输送方向间隔设置，所述第一相机组件用于对所述玻璃基板进行摄像，所述第二相机组件用于对所述玻璃基板进行拍照。
7.作为本实用新型的一种优选方案，所述气刀的数量为两个，所述气刀为条形气刀，两个所述气刀分别设置在一个所述工作台的两侧，且两个所述气刀位于所述第一相机组件和第二相机组件之间。
8.作为本实用新型的一种优选方案，所述气刀与所述输送台的表面平行，所述气刀的开口方向垂直于所述输送台的表面，两个所述气刀与所述输送台的距离相等。
9.作为本实用新型的一种优选方案，玻璃基板检查机还包括若干风机，所述风机设置在所述腔体内且位于所述腔体的顶部，所述风机的出风口朝向所述输送台。
10.作为本实用新型的一种优选方案，所述腔体的底部开设有若干通风孔。
11.作为本实用新型的一种优选方案，所述通风孔内设有单向排气阀。
12.作为本实用新型的一种优选方案，所述风机为efu风机过滤单元。
13.作为本实用新型的一种优选方案，所述输送台为气浮平台。
14.作为本实用新型的一种优选方案，所述输送台包括若干间隔且平行设置的输送板，所述输送板上开设有若干吹气孔。
15.本实用新型的有益效果：
16.本实用新型玻璃基板检查机在输送台上方的工作台上设置有气刀，当检查机构产生的异物掉落到玻璃基板上后，气刀产生的气流将对运动中的玻璃基板进行吹扫，将玻璃基板表面的异物吹走，使玻璃基板表面的异物在玻璃基板检查机中即被清除，降低因异物导致后续加工发生质量问题的概率，因无需将玻璃基板转移至其他设备中进行异物的清除工作，提高了显示面板的生产效率，降低了生产成本。
附图说明
17.图1为本实用新型一实施例的玻璃基板检查机的结构示意图；
18.图2为本实用新型一实施例的玻璃基板检查机的俯视示意图；
19.图3为本实用新型一实施例的输送台的俯视示意图。
20.图中：
21.1、腔体；2、输送台；21、输送板；211、吹气孔；3、检查机构；31、第一相机组件；32、第二相机组件；4、气刀；5、工作台；6、风机；7、通风孔；8、单向排气阀；100、玻璃基板。
具体实施方式
22.参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
23.此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。
24.以下，参照附图来详细描述本实用新型。
25.如图1所示，一实施例的玻璃基板检查机包括腔体1和设置在腔体1内部的输送台2、检查机构3、气刀4和工作台5，输送台2用于输送玻璃基板100，检查机构3和工作台5设置在输送台2上方，气刀4设置在工作台5上，气刀4的开口朝向输送台2。
26.为了便于工作人员进入腔体1内部进行维护工作，腔体1内设有工作台5，工作人员可以在工作台5上行走，避免踩踏用于输送玻璃基板100的输送台2。在图1中展示了三个工作台5，并不表示对工作台5的数量进行限定，工作台5的数量与腔体1的尺寸相关，对于长度较长的腔体1来说，需要设置较多数量的工作台5。如图2所示，工作台5呈平板状，工作台5的长度方向与玻璃基板100的输送方向垂直，避免工作台5遮挡检查机构3。
27.本实施例的玻璃基板检查机在输送台2上方的工作台5上设置有气刀4，当检查机构3产生的异物掉落到玻璃基板100上后，气刀4产生的气流将对运动中的玻璃基板100进行吹扫，将玻璃基板100表面的异物吹走，使玻璃基板100表面的异物在玻璃基板检查机中即被清除，降低因异物导致后续加工发生质量问题的概率，因无需将玻璃基板100转移至其他设备中进行异物的清除工作，提高了显示面板的生产效率，降低了生产成本。
28.进一步的，检查机构3包括第一相机组件31和第二相机组件32，第一相机组件31和第二相机组件32沿玻璃基板100的输送方向间隔设置，第一相机组件31用于对玻璃基板100
进行摄像，第二相机组件32用于对玻璃基板100进行拍照。第一相机组件31和第二相机组件32中都包括相机(图中未示出)，相机能够沿与玻璃基板100输送方向垂直的方向上进行往复运动，对玻璃基板100进行摄像或拍照。具体的，第一相机组件31中的相机先对玻璃基板100进行摄像，对玻璃基板100的整个表面进行检查，当发现存在异常区域时，第二相机组件32中的相机提前进行运动，当异常区域运动到第二相机组件32下方时，第二相机组件32中的相机对异常区域进行拍照，进一步确定是否真的存在异常以及是何种异常。通过第一相机组件31和第二相机组件32的分工协作，使检查机构3能够对移动中的玻璃基板100进行高准确度的检查，发生误判的概率低。
29.气刀4的数量最少为一个，由于本实施例中的检查机构3包括第一相机组件31和第二相机组件32这两个部分，气刀4的数量优选为两个，气刀4为条形气刀，两个气刀4分别设置在第一相机组件31和第二相机组件32之间的工作台5的两侧，使第一相机组件31和第二相机组件32旁均设置有一个气刀4。
30.气刀4的开口方向优选为垂直于输送台2的表面，使气刀4吹出的气流垂直于输送台2的表面，气刀4吹出的气流接触到玻璃基板100后，由于气流方向与玻璃基板100的表面垂直，不会对玻璃基板100的移动速度造成明显的改变，气流会沿着玻璃基板100的表面扩散，在玻璃基板100的表面形成持续的气流。由于异物是由第一相机组件31和第二相机组件32的运动产生的，将气刀4靠近第一相机组件31和第二相机组件32设置，能够使一部分异物在未接触到玻璃基板100表面之前即被吹走。为了增强对异物的清除能力，还可以在位于玻璃基板100输送方向下游的工作台5上设置额外的气刀4。
31.进一步的，气刀4与输送台2的表面平行，两个气刀4与输送台2的距离相等，使气刀4产生的气流对玻璃基板100的压力趋于一致，减少对玻璃基板100正常输送的影响。
32.如图1所示，玻璃基板检查机还包括若干风机6，风机6设置在腔体1内且位于腔体1的顶部，风机6的出风口朝向输送台2。风机6能够使腔体1内部产生气流，被气刀4吹起的异物能被风机6产生的气流携带到腔体1的底部，降低异物沉降到玻璃基板100或输送台2表面的概率。由于风机6主要起换气作用，其风力对玻璃基板100表面异物的清除能力较差，且由于检查机构3和工作台5的遮挡，进一步限制了风机6对异物的清除能力，因而需要在工作台5上设置气刀4，利用较大的气流避免异物停留在玻璃基板100上。
33.风机6优选为efu风机过滤单元，efu风机过滤单元是一种自带动力具有过滤功能的末端送风装置。风机6从顶部将空气吸入并经hepa过滤，过滤后将洁净空气从出风口均匀送出，为腔体1内部提供洁净空气和微粒过滤控制，efu风机过滤单元可模组化连接使用，功耗低、体积小，便于安装和维护，因而能够降低玻璃基板100被污染的概率。由于能模块化连接使用，能适应各种不同的安装环境。
34.进一步的，腔体1的底部开设有若干通风孔7，腔体1中的气体能够通过通风孔7流出，腔体1内部形成自上而下流动的气流，使异物能够沉降到腔体1的底部。
35.更进一步的，通风孔7内设有单向排气阀8。当腔体1内达到一定压力时，气体可由内向外推开单向排气阀8的阀片(图中未示出)，向外排出多余的气体，当腔体1与外界连通时，单向排气阀8能帮助腔体1内形成正压，当玻璃基板100从外界输入或者从腔体1中输出时，外界空气不会侵入到腔体1内部，腔体1内部能维持洁净的环境。
36.输送台2优选为气浮平台，输送台2与玻璃基板100之间能够不进行直接接触，能最
大程度地减小玻璃基板100的磨损，输送台2通过产生朝向斜上方的气流，气流对玻璃基板100产生的作用力可分解为竖直方向和水平方向两个分力，竖直方向的分力对玻璃基板100进行托举，使玻璃基板100与输送台2间隔一定距离，水平方向的分力使玻璃基板100向指定方向进行移动。
37.由于气刀4喷出的气流会对玻璃基板100产生竖直向下的压力，为了避免玻璃基板100与输送台2的表面接触，应对气刀4的喷气压力进行限制，气刀4的气流对玻璃基板100产生的压力应小于输送台2产生的气流对玻璃基板100产生的竖直方向的分力，在保证对异物进行有效清除的同时避免玻璃基板100与输送台2之间发生摩擦。
38.如图3所示，进一步的，输送台2包括若干间隔且平行设置的输送板21，输送板21上开设有若干吹气孔211。相邻两个输送板21之间存在空隙，为异物的沉降提供了通道，降低异物沉降在输送台2表面的概率。
39.尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。