一种自加热发射型混合阴极离子源装置的制作方法

技术特征：
1.一种自加热发射型混合阴极离子源装置，其特征在于，包括主阴极、次阴极和阳极，所述主阴极与所述次阴极通过次阴极柱连接，所述阳极包括主桶，所述主桶内壁设有支撑台，所述主阴极与所述支撑台通过主阴极陶瓷绝缘座连接，所述次阴极与所述主桶通过次阴极陶瓷绝缘座连接，所述主阴极陶瓷绝缘座上穿插有进气管道。2.如权利要求1所述的一种自加热发射型混合阴极离子源装置，其特征在于，所述主阴极包括主阴极本体和主阴极座，所述主阴极座为圆柱凹孔结构，所述主阴极本体为圆柱凸台结构，所述主阴极本体的凸台与所述主阴极座的凹孔相配合。3.如权利要求2所述的一种自加热发射型混合阴极离子源装置，其特征在于，所述主阴极座上设有主阴极冷却水管道和次阴极柱通道。4.如权利要求2所述的一种自加热发射型混合阴极离子源装置，其特征在于，所述主阴极座的凹孔内侧壁设有内螺纹，所述主阴极本体的凸台外侧壁设有与所述内螺纹配合的外螺纹。5.如权利要求2所述的一种自加热发射型混合阴极离子源装置，其特征在于，所述主阴极陶瓷绝缘座为空心结构，端面均匀分布三个螺栓通孔，所述主阴极陶瓷绝缘座与所述支撑台通过螺栓连接。6.如权利要求5所述的一种自加热发射型混合阴极离子源装置，其特征在于，所述主阴极陶瓷绝缘座的内径与所述主阴极座的外径相匹配。7.如权利要求1所述的一种自加热发射型混合阴极离子源装置，其特征在于，所述次阴极陶瓷绝缘座为空心结构，所述次阴极陶瓷绝缘座的外径与所述主桶的内径相匹，所述次阴极陶瓷绝缘座的内径与所述次阴极的外径相匹。8.如权利要求3所述的一种自加热发射型混合阴极离子源装置，其特征在于，所述次阴极一端面设有安装孔，所述次阴极柱一端与所述安装孔连接，另一端由次阴极柱通道进入后与主阴极座相连接。9.如权利要求1所述的一种自加热发射型混合阴极离子源装置，其特征在于，所述主桶和所述支撑台为一体成型结构。

技术总结
本实用新型公开了一种自加热发射型混合阴极离子源装置，涉及加速器技术领域。包括主阴极、次阴极和阳极，所述主阴极与所述次阴极通过次阴极柱连接，所述阳极包括主桶，所述主桶内壁设有支撑台，所述主阴极与所述支撑台通过主阴极陶瓷绝缘座连接，所述次阴极与所述主桶通过次阴极陶瓷绝缘座连接，所述主阴极陶瓷绝缘座上设有进气管道。本实用新型提供的自加热发射型混合阴极离子源装置，利用次阴极柱实现主阴极和次阴极之间的电连接，从而实现主阴极和次阴极的自加热，延长了主阴极和次阴极使用寿命，提高了装置的运行效率。提高了装置的运行效率。提高了装置的运行效率。


技术研发人员：陈俞钱 苏国建 赵开君 张怀强 张国书 赵玉杰 宋方茹
受保护的技术使用者：东华理工大学
技术研发日：2021.05.24
技术公布日：2021/11/24