使用图像传感器移位对透镜组件焦点进行热补偿的制作方法

技术特征：
1.一种用于图像传感器的导线接合方法，所述图像传感器附接到包括定子(固定部件)和转子(移动部件)的mems致动器，其中，所述转子保持所述图像传感器，并且从所述图像传感器至容纳在相机内的电路板进行所述导线接合，所述导线接合方法包括以下步骤：a)将所述mems致动器放置并密封在具有真空通道以连接到真空泵的导线接合台上；b)在所述导线接合台上施加真空，以在所述mems致动器内部产生真空，并且将保持所述图像传感器的所述转子朝向所述定子往下拉，直到所述转子和所述图像传感器被机械固定；c)在所述转子被固定时，将成组的导线直接从所述图像传感器接合到所述电路板上，并且d)释放所述真空并且使得所述转子能移回到休息位置。2.一种在设备的固定部件和移动部件之间的导线接合方法，其包括以下步骤：a)将所述设备放置并密封在具有真空通道以连接到真空泵的导线接合台上；b)在所述导线接合台上施加真空，以在所述设备内部产生真空，并且将所述移动部件放置在机械固定位置；c)将成组的导线直接从所述移动部件接合到所述固定部件，并且d)释放所述真空并且使得所述移动部件能移回到休息位置。3.一种相机系统，其包括：a)镜筒组件；b)镜支架，所述镜筒附接在其上；c)ir滤光片；d)mems致动器，其包括移动部件(转子)、固定部件(定子)和成组的机械弹簧；e)图像传感器，其附接在所述mems致动器的所述移动部件上；f)电路板，其中所述镜筒支架和所述mems致动器被附接到其上；g)成组的接合导线，其直接接合在所述图像传感器和所述电路板之间，其中所述成组的接合导线随着图像传感器的移动而变形，并且其中每个接合导线具有预定的环高度和预定的导线形状以使得所述图像传感器能在低应力集中的情况下运动，以及h)控制系统，其被配置为使所述图像传感器沿光轴(z)移动，以补偿由于响应于温度变动的光学轮廓变化而导致的焦距变化，和/或使所述图像传感器围绕平面x
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y轴倾斜以补偿在所述致动器运动期间的移动和静态倾斜。4.根据权利要求3所述的相机系统，其中，所述mems致动器被配置为连接至真空系统，以将所述移动部件朝向所述固定部件拉至机械固定位置。5.根据权利要求4所述的相机系统，其中所述mems致动器的所述固定部件具有用于连接至所述真空系统的开口。6.根据权利要求3所述的相机系统，其中，所述mems致动器是mems活塞管静电致动器，其提供沿着所述光轴(z)的平移运动和/或围绕所述平面x
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y轴的双轴倾斜。7.根据权利要求3所述的相机系统，其中，所述mems致动器被放置在外壳包装内，并且从背面被附接到所述电路板上，其中，所述电路板具有切口，所述切口的尺寸被设置成配合所述图像传感器和所述成组的接合导线，并且其用作机械止动器。8.根据权利要求7所述的相机系统，其中，所述电路板具有用于连接至所述真空系统的
开口。9.根据权利要求3所述的相机系统，其中，所述mems致动器从顶侧被放置并且附接到所述电路板上。10.根据权利要求3所述的相机系统，其中，所述成组的机械弹簧是高刚度的，以使得所述图像传感器对突然的运动或加速不太敏感。11.根据权利要求3所述的相机系统，其中，在使单个镜组件形成的制造工艺中，所述镜筒和所述镜支架被组合在单个固定件中。12.根据权利要求3所述的相机系统，其中，所述ir滤光片附接到所述镜筒组件或附接到所述电路板并且由ir支架支撑。13.根据权利要求3所述的相机系统，其还具有温度传感器，以通知所述控制系统以基于温度的变化来移动所述图像传感器并且调整图像焦点。14.根据权利要求3所述的相机系统，其还具有加速度计，以在所述相机经历加速时通知所述控制系统移动所述图像传感器并且调节图像焦点。

技术总结
本发明涉及相机中的透镜组件的光学对准系统的领域。公开了一种相机系统，其并入了MEMS致动器以实现焦点调节，以补偿透镜组件的热膨胀。所述相机包括镜筒、镜支架、红外(IR)滤光片、电路板、MEMS致动器、致动器的外壳包装和图像传感器。所述图像传感器直接通过导线接合至所述电路板上的焊盘，使得这些焊盘可在所述图像传感器处移动并且在所述电路板处固定。当所述相机暴露于温度变化时，所述MEMS致动器会沿光轴移动所述传感器，以使图像保持焦距对准。准。准。


技术研发人员：费斯
受保护的技术使用者：示巴微系统公司
技术研发日：2021.05.13
技术公布日：2021/11/24