一种光罩、曝光方法及曝光系统与流程

技术特征：
1.一种光罩，包括透明基板和遮光薄膜形成的光罩图案，其特征在于，所述光罩图案的中间设有包括若干重复单元(b)的曝光区域(10)，所述曝光区域(10)两侧边缘分别设有第一有效图形区域(21)以及第二有效图形区域(22)，所述第一有效图形区域(21)的另一侧设置有第三有效图形区域(31)，所述第二有效图形区域(22)的另一侧设置有第四有效图形区域(32)。2.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述曝光区域(10)的大小由待曝光面板的有效显示区域确定。3.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述曝光区域(10)的大小等于待曝光面板有效显示区域大小的1/n，其中，n为正整数且4≥n≥2。4.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述曝光区域(10)的大小为待曝光面板有效显示区域大小的1/n减去所述第一有效图形区域(21)大小的二分之一，其中，n为正整数且4≥n≥2。5.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述第一有效图形区域(21)和所述第二有效图形区域(22)的大小相同且具有互补的马赛克图形，并满足m1 m2＝m，其中，m1表示第一有效图形区域(21)的马赛克图形，m2表示第二有效图形区域(22)的马赛克图形，m表示面板中间拼接处的马赛克区域图形。6.根据权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述第一有效图形区域(21)与所述第三有效图形区域(31)之间以及所述第二有效图形区域(22)与所述第四有效图形区域(32)之间均留有一定距离的遮光宽度。7.根据权利要求6所述的光罩，其特征在于，所述遮光宽度大于曝光机遮光挡板的衍射范围。8.根据权利要求6所述的光罩，其特征在于，所述遮光宽度大于0.5mm。9.一种光罩，包括透明基板和遮光薄膜形成的光罩图案，其特征在于，所述光罩图案的中间设有包括若干重复单元(b)的曝光区域(10)，所述曝光区域(10)两侧分别设有第三有效图形区域(31)和第四有效图形区域(32)，其中，所述曝光区域(10)的大小等于待曝光面板有效显示区域大小的1/n，n为正整数且4≥n≥2。10.一种曝光方法，其特征在于，包括：将权利要求1～8任一项所述的光罩放置于面板和曝光机之间；利用所述曝光机的遮光板分别遮挡所述光罩的部分区域，以对所述面板进行分区域曝光。11.根据权利要求10所述的曝光方法，其特征在于，利用所述曝光机的遮光板分别遮挡所述光罩的部分区域，以对所述面板进行分区域曝光，包括：第一次曝光；调整光罩位置，以使所述光罩的第三有效图形区域(31)与所述面板的第一边缘区域重合；利用所述曝光机的遮光板遮挡所述光罩的第一有效图形区域(21)、曝光区域(10)、第二有效图形区域(22)以及第四有效图形区域(32)，对所述面板的第一边缘区域进行曝光；第二次曝光；移动所述光罩，使所述光罩的曝光区域(10)和所述第一有效图形区域(21)的拼接线与第一次曝光区域的边缘对齐；利用所述曝光机的遮光板遮挡所述光罩的第三有效图形区域(31)和第四有效图形区域(32)，对所述面板的中间有效显示区进行曝光，
并在所述面板中间形成马赛克区域m2；第三次曝光；移动所述光罩，使所述光罩的曝光区域(10)和所述第一有效图形区域(21)的拼接线与第二次曝光区域的边缘对齐；利用所述曝光机的遮光板遮挡所述光罩的第三有效图形区域(31)和第四有效图形区域(32)，对所述面板的中间有效显示区进行曝光，并在所述面板中间形成马赛克区域m1，且m1与m2图案互补，以形成完整的马赛克区域m；第四次曝光；移动所述光罩，以使所述光罩的第三有效图形区域(31)与所述面板的第三次曝光区域重合；重合区域的大小与所述面板中间的马赛克区域m相同；利用所述曝光机的遮光板遮挡所述光罩的第一有效图形区域(21)、曝光区域(10)、第二有效图形区域(22)以及第四有效图形区域(32)，对所述面板的第二边缘区域进行曝光。12.根据权利要求10所述的曝光方法，其特征在于，利用所述曝光机的遮光板分别遮挡所述光罩的部分区域，以对所述面板进行分区域曝光，包括：第一次曝光；调整光罩位置，以使所述光罩的第三有效图形区域(31)与所述面板的第一边缘区域重合；利用所述曝光机的遮光板遮挡所述光罩的第一有效图形区域(21)、曝光区域(10)、第二有效图形区域(22)以及第四有效图形区域(32)，对所述面板的第一边缘区域进行曝光；第二次曝光；移动所述光罩，使所述光罩的曝光区域(10)和所述第一有效图形区域(21)的拼接线与第一次曝光区域的边缘对齐；利用所述曝光机的遮光板遮挡所述光罩的第三有效图形区域(31)和第四有效图形区域(32)，对所述面板的中间有效显示区进行曝光，并在所述面板中间形成马赛克区域m2；第三次曝光；移动所述光罩，使所述光罩的曝光区域(10)和所述第一有效图形区域(21)的拼接线与第二次曝光区域的边缘对齐；利用所述曝光机的遮光板遮挡所述光罩的第三有效图形区域(31)和第四有效图形区域(32)，对所述面板的中间有效显示区进行曝光，并在所述面板中间形成马赛克区域m1，且m1与m2图案互补，以形成完整的马赛克区域m；第四次曝光；移动所述光罩，以使所述光罩的第三有效图形区域(31)与所述面板的第三次曝光区域的边缘对齐；利用所述曝光机的遮光板遮挡所述光罩的第一有效图形区域(21)、曝光区域(10)、第二有效图形区域(22)以及第四有效图形区域(32)，对所述面板的第二边缘区域进行曝光。13.一种曝光系统，应用于显示面板，其特征在于，包括曝光机以及如权利要求1～9任一项所述的光罩。

技术总结
本发明公开了一种光罩、曝光方法及曝光系统，其中，所述光罩包括透明基板和遮光薄膜形成的光罩图案，所述光罩图案的中间设有包括若干重复单元B的曝光区域，所述曝光区域两侧边缘分别设有第一有效图形区域以及第二有效图形区域，所述第一有效图形区域的另一侧设置有第三有效图形区域，所述第二有效图形区域的另一侧设置有第四有效图形区域。本发明提供的光罩在进行大尺寸面板的拼接曝光时，可减少曝光次数，从而减少拼接次数，减轻拼接处的拼接mura现象，提高显示效果。提高显示效果。提高显示效果。


技术研发人员：张旭 吴舜均 朱欢欢 田强强
受保护的技术使用者：咸阳彩虹光电科技有限公司
技术研发日：2020.05.14
技术公布日：2021/11/19