一种UVLED光源的聚光装置及平行曝光光源系统的制作方法

技术特征：
1.一种uvled光源的聚光装置，其特征在于，具有：椭球面镜（1），该椭球面镜（1）设有凹弧状的反光面（11）及在反光面（11）上形成的几何中心（12）；反光面（11）从几何中心（12）朝反光方向延伸，反光面（11）的延伸末端相对几何中心（12）具有第一高度；光源（2），该光源（2）设置在椭球面镜（1）的几何中心（12）处且朝反光方向延伸呈柱状，光源（2）的延伸末端相对几何中心（12）具有第二高度，该第二高度小于第一高度；所述光源（2）包括有若干uvled灯珠（21），uvled灯珠（21）在第二高度范围内围绕光源（2）设定的光源轴线（l）排列布置；所述uvled灯珠（21）经过封装获得第一次自身聚焦，而光源（2）上所有的uvled灯珠（21）发光经过椭球面镜（1）的反光面（11）反射聚焦，获得聚焦光斑（a），该聚焦光斑（a）与几何中心（12）的连线恰好与光源轴线（l）重合，聚焦光斑（a）到几何中心（12）的距离是第三高度，该第三高度大于第一高度。2.根据权利要求1所述的一种uvled光源的聚光装置，其特征在于，光源（2）上所有的uvled灯珠（21）分成多组，每一组的uvled灯珠（21）焊接在同一片灯盘（22）上，灯盘（22）贴附式组装在水冷模组（23）上。3.根据权利要求2所述的一种uvled光源的聚光装置，其特征在于，所述同组的uvled灯珠（21）发光波长是365nm、395nm或其组合。4.根据权利要求2所述的一种uvled光源的聚光装置，其特征在于，所述水冷模组（23）包括有支撑柱（231）及导热板（232），支撑柱（231）内部设有进水管道（2311）及回水管道（2312），以及在支撑柱（231）的外周面设有凹槽状的螺旋水冷流道（2313），螺旋水冷流道（2313）将进水管道（2311）和回水管道（2312）连通，实现冷却水循环流动；所述导热板（232）组装在支撑柱（231）的外周面并紧密遮盖螺旋水冷流道（2313），导热板（232）的外侧则贴合连接灯盘（22）；灯盘（22）围绕支撑柱（231）外周间隔分布，获得圆柱状发光。5.平行曝光光源系统，其特征在于，具有：椭球面镜（1），该椭球面镜（1）设有凹弧状的反光面（11）及在反光面（11）上形成的几何中心（12）；反光面（11）从几何中心（12）朝反光方向延伸，反光面（11）的延伸末端相对几何中心（12）具有第一高度；光源（2），该光源（2）设置在椭球面镜（1）的几何中心（12）处且朝反光方向延伸呈柱状，光源（2）的延伸末端相对几何中心（12）具有第二高度，该第二高度小于第一高度；所述光源（2）包括有若干uvled灯珠（21），uvled灯珠（21）在第二高度范围内围绕光源（2）设定的光源轴线（l）排列布置；所述uvled灯珠（21）经过封装获得第一次自身聚焦，而光源（2）上所有的uvled灯珠（21）发光经过椭球面镜（1）的反光面（11）反射聚焦，获得聚焦光斑（a），该聚焦光斑（a）与几何中心（12）的连线恰好与光源轴线（l）重合，聚焦光斑（a）到几何中心（12）的距离是第三高度，该第三高度大于第一高度；蝇眼透镜组（3），该蝇眼透镜组（3）组装在聚焦光斑（a）处；蝇眼透镜组（3）对聚焦光斑（a）进行光学积分分配，形成均匀多点光源后经过第一反射冷光镜（6）及反射球面镜（4）反射准直获得平行光源投射到曝光工位（5）上。6.根据权利要求5所述的平行曝光光源系统，其特征在于，所述光源（2）上所有的uvled灯珠（21）分成多组，每一组uvled灯珠（21）焊接在同一片灯盘（22）上，灯盘（22）贴附式组装在水冷模组（23）上。
7.根据权利要求6所述的平行曝光光源系统，其特征在于，所述同组的uvled灯珠（21）发光波长是365nm、395nm或其组合。8.根据权利要求6所述的平行曝光光源系统，其特征在于，所述水冷模组（23）包括有支撑柱（231）及导热板（232），支撑柱（231）内部设有进水管道（2311）及回水管道（2312），以及在支撑柱（231）的外周面设有凹槽状的螺旋水冷流道（2313），螺旋水冷流道（2313）将进水管道（2311）和回水管道（2312）连通，实现冷却水循环流动；所述导热板（232）组装在支撑柱（231）的外周面并紧密遮盖螺旋水冷流道（2313），导热板（232）的外侧则贴合连接灯盘（22）；灯盘（22）围绕支撑柱（231）外周间隔分布，获得圆柱状发光。9.根据权利要求5所述的平行曝光光源系统，其特征在于，所述的蝇眼透镜组（3）是由二片数目相同的组合透镜叠加组成，聚焦光斑（a）落在第一片组合透镜进行光学积分分配，然后在第二面组合透镜形成均匀多点光源。

技术总结
本实用新型涉及一种UVLED光源的聚光装置，具有椭球面镜，椭球面镜设有凹弧状的反光面及在反光面上形成的几何中心；光源设置在椭球面镜的几何中心处且朝反光方向延伸呈柱状，光源包括有若干UVLED灯珠，UVLED灯珠在第二高度范围内围绕光源设定的光源轴线排列布置；UVLED灯珠发光经过椭球面镜的反光面反射聚焦，获得聚焦光斑，该聚焦光斑与几何中心的连线恰好与光源轴线重合。本实用新型将该光斑用于曝光作业，获得光线强度均衡、角度一致的平行曝光光，光线强度均衡，角度一致，达到高精度的图形曝光显影加工，适合制作精细线路；且曝光线路相对简单，减少曝光光源占地面积，用于显示面板曝光加工，提升曝光质量及效率。提升曝光质量及效率。提升曝光质量及效率。


技术研发人员：余燕青 杜志航
受保护的技术使用者：东莞市友辉光电科技有限公司
技术研发日：2021.05.31
技术公布日：2021/11/17