还原炉钟罩清洗烘干装置的制作方法

1.本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种还原炉钟罩清洗烘干装置。


背景技术：

2.在生产多晶硅的生产技术中，改良西门子法为主要的生产方法。多晶硅还原炉清洗装置是多晶硅生产中产出最终产品的核心设备，也是决定系统产品质量、成本的关键环节。
3.在多晶硅生产过程中，还原炉钟罩表面上会沉积一定厚度的多晶硅副产物、硅粉等，但是，多晶硅生产对还原炉的沉积环境的洁净度要求特别关键，任何颗粒性杂质、物料等物质余留在炉内，都会对产品质量造成影响。所以，在还原炉运行一个周期结束后，都需要把钟罩用行车吊到清洗装置平台上对钟罩进行清洗干净后，在装硅芯进行下一个周期的化学气相沉积。还原炉钟罩清洗系统是用纯水漂洗、然后使用碱液清洗，之后再采用高纯水冲洗，然后用80℃的热空气烘干，最终完成清洗过程，现有的清洗装置烘管设计为二个直通竖直管道，清洗装置烘管在水洗或碱洗时，烘筒出口端部由烘筒盖板密闭，防止碱液或脱盐水进入烘筒，在烘干时，热空气顺着管道冲开风筒盖板进入密闭的钟罩内壁，依靠风力吹开，烘干完成后，又依靠盖板的自重落下，对烘筒自动起着密封作用，但是，由于碱液腐蚀和高温等原因，销轴和限位块变形，烘筒盖板不能靠盖板重力完全回位或倾斜，从而不能达到烘筒起完全密闭作用，如果盖板密闭不严，在清洗过程中，碱液或脱盐水通过烘筒进入整个烘干系统，导致风机、过滤器等设备损坏，进而对整个烘干系统造成设备损坏。同时由于碱液进入烘筒后集结在烘干系统过滤器等位置，在烘干时，被热空气带到钟罩内壁粘附，在多晶硅生产时，粘附在钟罩内壁的碱和水，又给产品质量带来严重的质量隐患。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型实施例提供一种还原炉钟罩清洗烘干装置，主要目的是提供一种能够防止碱液进入到烘干设备中的还原炉钟罩清洗烘干装置。
5.为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：
6.本实用新型实施例提供了一种还原炉钟罩清洗烘干装置，该装置包括：
7.底座；
8.清洗部件，所述清洗部件包括喷水部件、清洗管和排液部件，所述清洗管的一端连接于所述喷水部件，另一端穿过所述底座并朝向钟罩的表面的方向延伸，所述排液部件设置在所述底座上；
9.烘干部件，所述烘干部件包括吹风部件、吹风管和封闭部件，所述吹风管的一端连接于所述吹风部件，另一端穿过所述排液部件并朝向所述钟罩的表面的方向延伸，所述封闭部件转动连接于所述吹风管的另一端，用于开启或者封闭所述吹风管，所述吹风管的中部具有储水弯槽，所述储水弯槽的底部具有引流管。
10.进一步的，所述吹风管包括第一吹风管和第二吹风管，所述第一吹风管设置在所述底座的轴线的一侧，所述第一吹风管的一端连接于所述吹风部件，另一端穿过所述排液部件并朝向所述钟罩的一侧的方向延伸，所述第二吹风管设置在所述底座的轴线的一侧，所述第二吹风管的一端连接于所述吹风部件，另一端穿过所述排液部件并朝向所述钟罩的另一侧的方向延伸。
11.进一步的，所述封闭部件包括连接轴、转动板和弹性部件，所述连接轴设置在所述吹风管的另一端，所述转动板转动连接于所述连接轴，所述弹性部件的一端连接于所述吹风管，另一端连接于所述转动板。
12.进一步的，所述封闭部件包括第一封闭部件和第二封闭部件，所述第一封闭部件设置在所述第一吹风管的另一端，所述第二封闭部件设置在所述第二吹风管的另一端。
13.进一步的，所述吹风管的另一端面为倾斜面。
14.进一步的，所述储水弯槽为“s”形结构。
15.进一步的，所述底座的边缘具有密封环。
16.进一步的，所述烘干部件还包括空气压缩部件，所述空气压缩部件设置在所述吹风部件和所述吹风管之间。
17.进一步的，所述烘干部件还包括过滤部件，所述过滤部件设置在所述吹风部件上。
18.进一步的，所述烘干部件还包括加热部件，所述加热部件设置在所述空气压缩部件和所述吹风管之间。
19.与现有技术相比，本实用新型具有如下技术效果：
20.本实用新型实施例提供的技术方案中，底座的作用是支撑吹风管和排液管；清洗部件的作用清洗钟罩，清洗部件包括喷水部件、清洗管和排液部件，清洗管的一端连接于喷水部件，另一端穿过底座并朝向钟罩的表面的方向延伸，排液部件设置在底座上；烘干部件的作用是对钟罩进行烘干，烘干部件包括吹风部件、吹风管和封闭部件，吹风管的一端连接于吹风部件，另一端穿过排液部件并朝向钟罩的表面的方向延伸，封闭部件转动连接于吹风管的另一端，用于开启或者封闭吹风管，吹风管的中部具有储水弯槽，储水弯槽的底部具有引流管，相对于现有技术，清洗装置烘管设计为二个直通竖直管道，清洗装置烘管在水洗或碱洗时，烘筒出口端部由烘筒盖板密闭，防止碱液或脱盐水进入烘筒，在烘干时，热空气顺着管道冲开风筒盖板进入密闭的钟罩内壁，依靠风力吹开，烘干完成后，又依靠盖板的自重落下，对烘筒自动起着密封作用，但是，由于碱液腐蚀和高温等原因，销轴和限位块变形，烘筒盖板不能靠盖板重力完全回位或倾斜，从而不能达到烘筒起完全密闭作用，如果盖板密闭不严，在清洗过程中，碱液或脱盐水通过烘筒进入整个烘干系统，导致风机、过滤器等设备损坏，进而对整个烘干系统造成设备损坏，同时由于碱液进入烘筒后集结在烘干系统过滤器等位置，在烘干时，被热空气带到钟罩内壁粘附，在多晶硅生产时，粘附在钟罩内壁的碱和水，又给产品质量带来严重的质量隐患，本技术方案中，清洗管的一端连接于喷水部件，另一端穿过底座并朝向钟罩的表面的方向延伸，使得喷水部件能够将清洗液喷出，对钟罩进行清洗，清洗液通过排液部件排出，吹风管的一端连接于吹风部件，另一端穿过排液部件并朝向钟罩的表面的方向延伸，封闭部件转动连接于吹风管的另一端，用于开启或者封闭吹风管，吹风管的中部具有储水弯槽，储水弯槽的底部具有引流管，当封闭部件和吹风部件开启后，部分清洗液通过吹风管进入到储水弯槽内，再通过引流管排出吹风管，从而达到
防止清洗液进入到吹风部件的技术效果。
附图说明
21.图1为本实用新型实施例提供的一种还原炉钟罩清洗烘干装置的结构示意图；
22.图2为本实用新型实施例提供的一种封闭部件的结构示意图。
具体实施方式
23.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
24.如图1和图2所示，本实用新型实施例提供了一种还原炉钟罩清洗烘干装置，该装置包括：
25.底座1；
26.清洗部件，清洗部件包括喷水部件、清洗管和排液部件23，清洗管的一端连接于喷水部件，另一端穿过底座1并朝向钟罩9的表面的方向延伸，排液部件23设置在底座1上；
27.烘干部件，烘干部件包括吹风部件、吹风管32和封闭部件33，吹风管32的一端连接于吹风部件，另一端穿过排液部件23并朝向钟罩9的表面的方向延伸，封闭部件33转动连接于吹风管32的另一端，用于开启或者封闭吹风管32，吹风管32的中部具有储水弯槽321，储水弯槽321的底部具有引流管322。
28.本实用新型实施例提供的技术方案中，底座1的作用是支撑吹风管32和排液管；清洗部件的作用清洗钟罩9，清洗部件包括喷水部件、清洗管和排液部件23，清洗管的一端连接于喷水部件，另一端穿过底座1并朝向钟罩9的表面的方向延伸，排液部件23设置在底座1上；烘干部件的作用是对钟罩9进行烘干，烘干部件包括吹风部件、吹风管32和封闭部件33，吹风管32的一端连接于吹风部件，另一端穿过排液部件23并朝向钟罩9的表面的方向延伸，封闭部件33转动连接于吹风管32的另一端，用于开启或者封闭吹风管32，吹风管32的中部具有储水弯槽321，储水弯槽321的底部具有引流管322，相对于现有技术，清洗装置烘管设计为二个直通竖直管道，清洗装置烘管在水洗或碱洗时，烘筒出口端部由烘筒盖板密闭，防止碱液或脱盐水进入烘筒，在烘干时，热空气顺着管道冲开风筒盖板进入密闭的钟罩9内壁，依靠风力吹开，烘干完成后，又依靠盖板的自重落下，对烘筒自动起着密封作用，但是，由于碱液腐蚀和高温等原因，销轴和限位块变形，烘筒盖板不能靠盖板重力完全回位或倾斜，从而不能达到烘筒起完全密闭作用，如果盖板密闭不严，在清洗过程中，碱液或脱盐水通过烘筒进入整个烘干系统，导致风机、过滤器等设备损坏，进而对整个烘干系统造成设备损坏，同时由于碱液进入烘筒后集结在烘干系统过滤器等位置，在烘干时，被热空气带到钟罩9内壁粘附，在多晶硅生产时，粘附在钟罩9内壁的碱和水，又给产品质量带来严重的质量隐患，本技术方案中，清洗管的一端连接于喷水部件，另一端穿过底座1并朝向钟罩9的表面的方向延伸，使得喷水部件能够将清洗液喷出，对钟罩9进行清洗，清洗液通过排液部件23排出，吹风管32的一端连接于吹风部件，另一端穿过排液部件23并朝向钟罩9的表面的方向延伸，封闭部件33转动连接于吹风管32的另一端，用于开启或者封闭吹风管32，吹风管32的中部具有储水弯槽321，储水弯槽321的底部具有引流管322，当封闭部件33和吹风部件开启后，部分清洗液通过吹风管32进入到储水弯槽321内，再通过引流管322排出吹风管32，从而达到防止清洗液进入到吹风部件的技术效果。
29.上述底座1的作用是支撑吹风管32和排液管，底座1通常采用圆盘结构，在底座1的边缘设置密封环，能够对钟罩9进行密封；清洗部件的作用清洗钟罩9，清洗部件包括喷水部件、清洗管和排液部件23，清洗管的一端连接于喷水部件，另一端穿过底座1并朝向钟罩9的表面的方向延伸，排液部件23设置在底座1上，喷水部件的作用是提供清洗液，清洗液通过清洗管向钟罩9的内壁喷射，从而达到清洗的作用，可选的，喷水部件包括喷嘴24和升降气缸25，升降气缸25设置在清洗管和喷嘴24之间，升降气缸25能够升降，使得喷嘴24的位置能够上下调节，喷嘴24采用旋转喷嘴24，能够360度旋转，从而提高清洗的效率，排液部件23设置在底座1的中间位置，排液部件23采用排液漏斗结构，方便排出底座1上的清洗液；烘干部件的作用是对钟罩9进行烘干，烘干部件包括吹风部件、吹风管32和封闭部件33，吹风管32的一端连接于吹风部件，另一端穿过排液部件23并朝向钟罩9的表面的方向延伸，封闭部件33转动连接于吹风管32的另一端，用于开启或者封闭吹风管32，吹风管32的中部具有储水弯槽321，储水弯槽321的底部具有引流管322，吹风部件的作用是吹出热风，对钟罩9表面的水进行烘干处理，吹风管32采用“s”形结构，在吹风管32上具有一个储水弯槽321，储水弯槽321的底部具有引流管322，当清洗液或者其他液体进入到吹风管32时，能够停留在储水弯槽321内，再通过引流管322将清洗液引流到排液部件23中，从而达到防止清洗液进入到吹风部件的技术效果。
30.进一步的，吹风管32包括第一吹风管和第二吹风管，第一吹风管设置在底座1的轴线的一侧，第一吹风管的一端连接于吹风部件，另一端穿过排液部件23并朝向钟罩9的一侧的方向延伸，第二吹风管设置在底座1的轴线的一侧，第二吹风管的一端连接于吹风部件，另一端穿过排液部件23并朝向钟罩9的另一侧的方向延伸。本实施例中，进一步限定了吹风管32，第一吹风管和第二吹风管设置在底座1中线的两侧，第一吹风管的一端连接于吹风部件，另一端穿过排液部件23并朝向钟罩9的一侧的方向延伸，使得第一吹风管能够朝向钟罩9的一侧方向吹风，第二吹风管设置在底座1的轴线的一侧，第二吹风管的一端连接于吹风部件，另一端穿过排液部件23并朝向钟罩9的另一侧的方向延伸，使得第二吹风管能够朝向钟罩9的另一侧方向吹风，从而达到提高烘干的速度的技术效果；可选的，还还可以增加多个吹风管32，使吹风管32的另一端朝向钟罩9的方向延伸，从而进一步提高烘干的速度的技术效果。
31.进一步的，封闭部件33包括连接轴331、转动板332和弹性部件333，连接轴331设置在吹风管32的另一端，转动板332转动连接于连接轴331，弹性部件333的一端连接于吹风管32，另一端连接于转动板332。本实施例中，进一步限定了封闭部件33，连接轴331设置在吹风管32的另一端，连接轴331通常横向设置在吹风管32的另一端，转动板332转动连接于连接轴331，弹性部件333的一端连接于吹风管32，另一端连接于转动板332，当热风通过吹风管32进入钟罩9时，热风能够将转动板332顶开，弹性部件333对转动板332进行一定的限位，防止转动板332在热风停止后无法恢复到原来的位置，从而达到限制转动板332的位置的技术效果；可选的，如图2所示，在吹风管32的另一端设置限位块334，顶转动板332的位置进行限制，而弹性部件333设置在转动板332和限位块334之间，当热风停止时，弹性部件333推动转动板332朝向吹风管32的方向转动，从而提高转动板332遮盖吹风管32的速度的技术效果；可选的，封闭部件33包括第一封闭部件33和第二封闭部件33，第一封闭部件33设置在第一吹风管的另一端，第二封闭部件33设置在第二吹风管的另一端，从而达到对第一吹风管
和第二吹风管的吹风口进行封闭的技术效果；可选的，吹风管32的另一端面为倾斜面，倾斜面能够使得吹风管32朝向钟罩9的方向吹风，从而提高烘干效率的技术效果。
32.进一步的，烘干部件还包括空气压缩部件，空气压缩部件设置在吹风部件和吹风管32之间。本实施例中，增加了空气压缩部件，空气压缩部件的作用是对空气进行压缩，从而提高空气的压力，然后再将压缩后的空气吹入吹风管32中，从而提高吹风的速度。
33.进一步的，烘干部件还包括过滤部件，过滤部件设置在吹风部件上。本实施例中，增加了过滤部件，过滤部件设置在吹风部件上，能够对进入吹风部件的空气进行过滤，防止杂质进入吹风部件内，从而达到防止杂质进入钟罩9的技术效果。
34.进一步的，烘干部件还包括加热部件，加热部件设置在空气压缩部件和吹风管32之间。本实施例中，增加了加热部件，加热部件设置在空气压缩部件和吹风管32之间，空气压缩部件对空气进行压缩，然后通过加热部件对压缩空气进行加热，加热后的压缩空气通过吹风管32排出，从而达到对钟罩9内进行烘干的技术效果。
35.以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。