一种超声波芯片清洗设备的制作方法

1.本发明涉及超声波清洗技术领域，具体为一种超声波芯片清洗设备。


背景技术：

2.超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。目前所用的超声波清洗机中，空化作用和直进流作用应用得更多。其机理为换能器将功率超声频源的声能转换成机械振动并通过清洗槽壁向槽子中的清洗液辐射超声波，槽内液体中的微气泡在声波的作用下振动，当声压或声强达到一定值时，气泡迅速增长，然后突然闭合，在气泡闭合的瞬间产生冲击波使气泡周围产生1012
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1013pa的压力及局部调温，这种超声波空化所产生的巨大压力能破坏不溶性污物而使他们分化于溶液中，蒸汽型空化对污垢的直接反复冲击。
3.芯片的主要组成为晶硅，其在加工生产的过程中，所形成的硅片的表面会存在油污，为了确保芯片的性能稳定，需要对硅片上的油污进行清除，而目前对芯片进行清洗用的超声波清洗设备，在对芯片进行清洗数批次后，清洗液上层会存在大量的油污，对后续芯片的清洗存在严重的干扰；且由于芯片放置时，下表面与放置槽相接触，造成下表面无法清洗，导致油污无法清除干净。
4.针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。


技术实现要素：

5.（一）解决的技术问题针对现有技术的不足，本发明提供了一种超声波芯片清洗设备，具备油污实时收集清理、芯片的全方位清洗等优点，解决了清洗液上层会存在大量的油污，对后续芯片的清洗存在严重的干扰以及由于芯片放置时，下表面与放置槽相接触，造成下表面无法清洗，导致油污无法清除干净的问题。
6.（二）技术方案为解决上述清洗液上层会存在大量的油污，对后续芯片的清洗存在严重的干扰以及由于芯片放置时，下表面与放置槽相接触，造成下表面无法清洗，导致油污无法清除干净的技术问题，本发明提供如下技术方案：一种超声波芯片清洗设备，包括机体，所述机体开设有清洗室，所述清洗室内设置有清洗箱，所述清洗箱做腰形循环往复运动，所述清洗箱内设置有过滤组件，所述过滤组件用于随着所述清洗箱的运动进行刮取吸附所述清洗箱内上部的油污；所述清洗室的背部固定安装有升降组件，所述升降组件用于调节过滤组件的高度，所述清洗室的两侧固定安装有驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述清洗箱做腰形循环往复运动。
7.优选地，所述清洗箱的内壁底部固定安装有放置架，所述放置架的上表面放置有
载体组件，所述载体组件用于安放芯片；所述载体组件包括安放架和若干安放盘，所述安放架的内壁两侧对应开设有若干滑槽，所述滑槽滑动连接有所述安放盘，所述安放架的上表面一侧的两端均贯穿并卡接有定位棒，所述定位棒用于防止所述安放盘从所述滑槽内滑出。
8.优选地，所述安放盘的上表面开设有若干放置槽，所述放置槽的上部铰接有卡盖，所述放置槽的内壁底部和卡盖上均开设有水孔，用于使所述放置槽内腔和清洗箱的内腔相通。
9.优选地，还包括超声波发生器、若干超声波振动子和控制面板，所述超声波发生器与所述超声波振动子相连，所述超声波发生器固定安装在所述机体的上表面一侧，用于超声波的形成；所述超声波振动子固定安装在所述清洗箱的外壁底部，并沿所述清洗箱的外壁底部边缘安放一圈，用于将所述超声波发生器所形成的超声波转换为机械能；所述控制面板用于清洗设备参数的设定。
10.优选地，所述驱动组件包括驱动电机，所述驱动电机固定安装在所述机体的一侧，所述驱动电机的旋转轴贯穿所述机体延伸至所述清洗室内固定安装有驱动齿，所述驱动齿啮合有腰形内齿，所述腰形内齿固定安装在所述清洗箱的内壁一侧，所述清洗箱的两侧上部均转动连接有限位柱，所述限位柱相切设置有限位挡板，所述限位挡板固定安装在所述清洗室的内壁两侧。
11.优选地，所述驱动组件还包括导向组件，所述导向组件用于限制所述清洗箱的运动轨迹；所述导向组件包括内十字套筒，所述内十字套筒固定安装在所述清洗箱的下表面中部，所述内十字套筒滑动连接有十字柱，所述十字柱固定安装在燕尾滑块的上表面，所述燕尾滑块滑动连接有燕尾导轨，所述燕尾导轨固定安装在所述清洗室的内壁底部。
12.优选地，所述升降组件包括上轴架和下轴架，所述上轴架固定安装在所述清洗室的内壁顶部，所述下轴架固定安装在所述清洗室的内壁底部，所述上轴架的上表面中部固定安装有升降电机，所述升降电机的驱动轴贯穿所述上轴架固定连接有螺杆，所述螺杆的一端转动连接有轴承座，所述轴承座固定安装在所述下轴架的上表面中部；所述螺杆贯穿并螺纹连接有升降板，所述升降板的一端固定安装有提升架，所述提升架的下端固定安装有所述过滤组件。
13.优选地，所述升降板的一端开设有u形限位槽，所述u形限位槽滑动连接有限位条，所述限位条固定安装在所述清洗室的内壁背部，所述u形限位槽与所述限位条的滑动连接用于限制所述升降板的自由度。
14.优选地，所述过滤组件包括滤篮，所述滤篮的上表面两侧中部固定安装有所述提升架，所述滤篮的内壁底部开设有若干滤孔，所述滤篮的内壁固定连接有若干过滤网，所述过滤网用于吸附油性物质。
15.优选地，所述滤篮的上表面一端开设有刮油板，所述刮油板用于刮取所述清洗箱内液体表面的油污。
16.（三）有益效果与现有技术相比，本发明提供了一种超声波芯片清洗设备，具备以下有益效果：1、本发明通过滤篮相对清洗室保持固定，随着清洗箱不断做腰形循环往复运动，
从而使清洗箱在向滤篮移动时，滤篮上的刮油板将清洗箱内的清洗液上层的油污刮取到清洗箱的一侧，然后随着清洗箱的下降，使油污落在滤篮内，随着滤篮内的清洗液从过滤网穿过，使过滤网将油性物质进行吸附，然后随着清洗箱远离滤篮时，滤篮相对清洗箱实现复位，随着清洗箱由下往上进行落差过度时，滤篮再次进入清洗液的上层，随着清洗箱的运动进行油污的刮取和吸附，从而实现了对油污的不断收集，避免油污的积累影响清洗的效率。
17.2、本发明通过升降电机带动螺杆在轴承座的作用下进行转动，从而带动升降板在u形限位槽和限位条的作用下实现升降，进而通过提升架带动过滤组件在清洗箱内实现升降，从而达到了对过滤组件对不同液位下的清洗液进行油污的收集并进行吸附。
18.3、本发明当安放盘随着清洗箱做腰形循环往复运动时，安放盘由上往下的落差过度时，安放盘的下降，使清洗液从放置槽内壁底部的水孔内向上挤压，从而使芯片的下表面脱离放置槽的内壁底部，使清洗液对芯片下表面进行接触并清洗；除由上往下的落差过度之外的其他时候，清洗液对芯片除下表面以外的位置进行清洗，从而实现了对芯片的全方位清洗，避免了芯片放置时，下表面与放置槽相接触，造成下表面无法清洗，导致油污无法清除干净的情况。
附图说明
19.图1为本发明的立体结构图；图2为本发明的内部结构图；图3为本发明的内部结构爆炸图；图4为本发明的载体组件放置结构图；图5为本发明的载体组件放置结构爆炸图；图6为本发明的驱动组件结构图；图7为本发明的升降组件结构图；图8为本发明的滤篮内部结构剖视图。
20.图中：1、机体；2、清洗室；3、清洗箱；4、放置架；5、安放架；6、安放盘；7、滑槽；8、放置槽；9、超声波发生器；10、超声波振动子；11、控制面板；12、驱动电机；13、驱动齿；14、腰形内齿；15、限位柱；16、限位挡板；17、内十字套筒；18、十字柱；19、燕尾滑块；20、燕尾导轨；21、上轴架；22、下轴架；23、升降电机；24、螺杆；25、轴承座；26、升降板；27、提升架；28、u形限位槽；29、限位条；30、滤篮；31、过滤网；32、刮油板；33、定位棒；34、卡盖。
具体实施方式
21.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
22.正如背景技术所介绍的，现有技术中存在的不足，为了解决如上的技术问题，本技术提出了一种超声波芯片清洗设备。
23.请参阅图1
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8，一种超声波芯片清洗设备，包括机体1，所述机体1开设有清洗室2，所述清洗室2内设置有清洗箱3，所述清洗箱3做腰形循环往复运动，所述清洗箱3内设置有
过滤组件，所述过滤组件用于随着所述清洗箱3的运动进行刮取吸附所述清洗箱3内上部的油污；所述清洗室2的背部固定安装有升降组件，所述升降组件用于调节过滤组件的高度，所述清洗室2的两侧固定安装有驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述清洗箱3做腰形循环往复运动。
24.还包括超声波发生器9、若干超声波振动子10和控制面板11，所述超声波发生器9与所述超声波振动子相连，所述超声波发生器9固定安装在所述机体1的上表面一侧，用于超声波的形成；所述超声波振动子10固定安装在所述清洗箱3的外壁底部，并沿所述清洗箱3的外壁底部边缘安放一圈，用于将所述超声波发生器9所形成的超声波转换为机械能；所述控制面板11用于清洗设备参数的设定。把高频电能转变为机械能，向清洗液发射超声波，清洗液由于受到超声波的辐射，使槽内清洗液中的微气泡保持振动，利用超声波空化所产生的巨大压力，破坏污物与物品表面的吸附从而通过驱动组件带动清洗箱3腰形循环往复运动，并配合过滤组件，使过滤组件不断对清洗箱3内部的清洗液的上层进行油污的清洁，升降组件用于调节过滤组件位于清洗箱3内的高度，进而使过滤组件满足不同水位下的清洗箱3的油污刮取和吸附。
25.进一步地，所述清洗箱3的内壁底部固定安装有放置架4，所述放置架4的上表面放置有载体组件，所述载体组件用于安放芯片；所述载体组件包括安放架5和若干安放盘6，所述安放架5的内壁两侧对应开设有若干滑槽7，所述滑槽7滑动连接有所述安放盘6，所述安放架5的上表面一侧的两端均贯穿并卡接有定位棒33，所述定位棒33用于防止所述安放盘6从所述滑槽7内滑出。
26.所述安放盘6的上表面开设有若干放置槽8，所述放置槽8的上部铰接有卡盖34，所述放置槽8的内壁底部和卡盖34上均开设有水孔，用于使所述放置槽8内腔和清洗箱3的内腔相通。
27.从而通过将芯片放置在放置槽8内，然后将卡盖34盖住，将芯片分别放置完成后，将安放盘6沿滑槽7放置在安放架5上，然后通过定位棒33限制安放盘6在滑槽7内的活动空间，避免安放盘6在清洗箱运动过程中由于惯性而滑出，安放盘6放置完成后，将安放架5放置在清洗箱3内壁底部的放置架4上，从而使清洗箱做腰形循环往复运动时，使安放盘6在垂直于其上表面的方向上存在落差，从而当安放盘6随着清洗箱做腰形循环往复运动时，安放盘由上往下的落差过度时，安放盘6的下降，使清洗液从放置槽8内壁底部的水孔内向上挤压，从而使芯片的下表面脱离放置槽8的内壁底部，使清洗液对芯片下表面进行接触并清洗；除由上往下的落差过度之外的其他时候，清洗液对芯片除下表面以外的位置进行清洗，从而实现了对芯片的全方位清洗，避免了芯片放置时，下表面与放置槽相接触，造成下表面无法清洗，导致油污无法清除干净的情况。
28.进一步地，所述驱动组件包括驱动电机12，所述驱动电机12固定安装在所述机体1的一侧，所述驱动电机12的旋转轴贯穿所述机体1延伸至所述清洗室2内固定安装有驱动齿13，所述驱动齿13啮合有腰形内齿14，所述腰形内齿14固定安装在所述清洗箱3的内壁一侧，所述清洗箱3的两侧上部均转动连接有限位柱15，所述限位柱15相切设置有限位挡板16，所述限位挡板16固定安装在所述清洗室2的内壁两侧。
29.所述驱动组件还包括导向组件，所述导向组件用于限制所述清洗箱3的运动轨迹；
所述导向组件包括内十字套筒17，所述内十字套筒17固定安装在所述清洗箱3的下表面中部，所述内十字套筒17滑动连接有十字柱18，所述十字柱18固定安装在燕尾滑块19的上表面，所述燕尾滑块19滑动连接有燕尾导轨20，所述燕尾导轨20固定安装在所述清洗室2的内壁底部。
30.从而通过驱动电机12带动驱动齿13进行转动，随着驱动齿13与腰形内齿14的啮合，带动腰形内齿14进行移动，又由于腰形内齿14固定安装在清洗箱3上，又由于清洗箱3一侧限位柱15与限位挡板16相切，从而使腰形内齿14在限位挡板16和限位柱15的作用下做腰形循环往复运动，进而带动清洗箱3做腰形循环往复运动，即：清洗箱3的运动轨迹如所述腰形内齿14的形状一般；其中内十字套筒17和十字柱18的滑动连接，以及燕尾滑块19与燕尾导轨20的滑动连接，对清洗箱在做腰形循环往复运动时起到导向的作用。
31.进一步地，所述升降组件包括上轴架21和下轴架22，所述上轴架21固定安装在所述清洗室2的内壁顶部，所述下轴架22固定安装在所述清洗室2的内壁底部，所述上轴架21的上表面中部固定安装有升降电机23，所述升降电机23的驱动轴贯穿所述上轴架21固定连接有螺杆24，所述螺杆24的一端转动连接有轴承座25，所述轴承座25固定安装在所述下轴架22的上表面中部；所述螺杆24贯穿并螺纹连接有升降板26，所述升降板26的一端固定安装有提升架27，所述提升架27的下端固定安装有所述过滤组件。
32.所述升降板26的一端开设有u形限位槽28，所述u形限位槽28滑动连接有限位条29，所述限位条29固定安装在所述清洗室2的内壁背部，所述u形限位槽28与所述限位条29的滑动连接用于限制所述升降板26的自由度。
33.从而通过升降电机23带动螺杆24在轴承座25的作用下进行转动，从而带动升降板26在u形限位槽28和限位条29的作用下实现升降，进而通过提升架带动过滤组件在清洗箱内实现升降，从而达到了对过滤组件对不同液位下的清洗液进行油污的收集并进行吸附。
34.进一步地，所述过滤组件包括滤篮30，所述滤篮30的上表面两侧中部固定安装有所述提升架27，所述滤篮30的内壁底部开设有若干滤孔，所述滤篮30的内壁固定连接有若干过滤网31，所述过滤网31用于吸附油性物质。
35.所述滤篮30的上表面一端开设有刮油板32，所述刮油板32用于刮取所述清洗箱3内液体表面的油污。
36.从而通过滤篮30相对清洗室2保持固定，随着清洗箱不断做腰形循环往复运动，从而使清洗箱在向滤篮30移动时，滤篮上的刮油板30将清洗箱内的清洗液上层的油污刮取到清洗箱的一侧，然后随着清洗箱的下降，使油污落在滤篮30内，随着滤篮30内的清洗液从过滤网31穿过，使过滤网31将油性物质进行吸附，然后随着清洗箱远离滤篮30时，滤篮30相对清洗箱实现复位，随着清洗箱由下往上进行落差过度时，滤篮再次进入清洗液的上层，随着清洗箱的运动进行油污的刮取和吸附，从而实现了对油污的不断收集，避免油污的积累影响清洗的效率。
37.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。