缺陷忽视区域的自计算方法及装置与流程

技术特征：
1.一种缺陷忽视区域的自计算方法，其特征在于，包括：在晶圆上定义包含已知缺陷的缺陷放宽区域，所述缺陷放宽区域包括阵列排布的子区域；沿所述晶圆的边缘至中心的方向逐行或逐列扫描所述子区域，每扫描一行或一列所述子区域，获取该行或该列的所有所述子区域的缺陷值的平均值，并判断所述平均值是否在一预设的缺陷阈值范围内，当扫描到平均值不在所述缺陷预设阈值范围内的一行或一列所述子区域时，停止扫描，并将平均值在所述缺陷预设阈值范围内的所有行或所有列的子区域定义为缺陷忽视区域。2.如权利要求1所述的缺陷忽视区域的自计算方法，其特征在于，所述缺陷值用于表征所述子区域中的缺陷的面积。3.如权利要求1所述的缺陷忽视区域的自计算方法，其特征在于，所述已知缺陷为显影液残留而导致的缺陷，所述缺陷放宽区域包括所述晶圆的边缘所在的区域。4.如权利要求1所述的缺陷忽视区域的自计算方法，其特征在于，所述缺陷放宽区域的数量至少为两个。5.如权利要求1所述的缺陷忽视区域的自计算方法，其特征在于，利用扫描电子显微镜扫描所述子区域，所述子区域在扫描方向上的宽度等于所述扫描电子显微镜的最小分辨率。6.如权利要求1所述的缺陷忽视区域的自计算方法，其特征在于，若所述缺陷放宽区域的子区域的列数大于行数时，逐行扫描所述子区域并计算每行的所有所述子区域的缺陷值的平均值；若所述缺陷放宽区域的子区域的列数小于行数时，逐列扫描所述子区域并计算每列的所有所述子区域的缺陷值的平均值；若所述缺陷放宽区域的子区域的列数等于行数时，逐列扫描所述子区域并计算每列的所有所述子区域的缺陷值的平均值，或者逐行扫描所述子区域并计算每行的所有所述子区域的缺陷值的平均值。7.如权利要求1所述的缺陷忽视区域的自计算方法，其特征在于，所述缺陷预设阈值范围为(60％p，140％p)，p为缺陷放宽区域中缺陷值最大的10个子区域的缺陷值的平均值。8.如权利要求1所述的缺陷忽视区域的自计算方法，其特征在于，扫描第一行子区域或者第一列子区域的缺陷值时，从最远离所述晶圆的中心的一行或一列开始扫描。9.一种缺陷忽视区域的自计算装置，其特征在于，包括：缺陷放宽区域定义单元，用于在晶圆上定义包含已知缺陷的缺陷放宽区域，所述缺陷放宽区域包括阵列排布的子区域；扫描计算单元，用于沿所述晶圆的边缘至中心的方向逐行或逐列扫描所述子区域，每扫描一行或一列所述子区域，获取该行或该列的所有所述子区域的缺陷值的平均值；判断单元，用于判断所述平均值是否在一预设的缺陷阈值范围内，当扫描到平均值不在所述缺陷预设阈值范围内的一行或一列所述子区域时，停止扫描，并将平均值在所述缺陷预设阈值范围内的所有行或所有列的子区域定义为缺陷忽视区域。10.如权利要求1所述的缺陷忽视区域的自计算装置，其特征在于，所述扫描单元为扫描电子显微镜。

技术总结
本发明提供了一种缺陷忽视区域的自计算方法及装置，在晶圆上定义包含已知缺陷的缺陷放宽区域，所述缺陷放宽区域包括阵列排布的子区域；沿所述晶圆的边缘至中心的方向逐行或逐列扫描所述子区域，每扫描一行或一列所述子区域，获取该行或该列的所有所述子区域的缺陷值的平均值，并判断所述平均值是否在一预设的缺陷阈值范围内，当扫描到平均值不在所述缺陷预设阈值范围内的一行或一列所述子区域时，停止扫描，并将平均值在所述缺陷预设阈值范围内的所有行或所有列的子区域定义为缺陷忽视区域，实现自计算缺陷忽视区域的边界，从而能够解决所述缺陷忽视区域过大漏掉关键性的缺陷或者所述缺陷忽视区域过小干扰信号过多的问题。所述缺陷忽视区域过小干扰信号过多的问题。所述缺陷忽视区域过小干扰信号过多的问题。


技术研发人员：叶林
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：2021.07.29
技术公布日：2021/11/2