晶圆固定环的分选装置的制作方法

本申请涉及半导体制造领域，特别是涉及一种晶圆固定环的分选装置。

背景技术：

1、晶圆固定环，例如划片环、贴膜环或贴片环，在使用时需要根据翘曲程度进行分选，例如，在一类型的芯片中，翘曲度要求≤0.3mm。

2、现有的分选方法：将晶圆固定环放置在大理石平面测量台上，使用0.3mm塞尺检测，即尝试塞入晶圆固定环周边与测量台表面的缝隙中，如果能塞入，即表示翘曲度≥0.3，为不合格，否则判定为翘曲度≤0.3mm为合格。但是此方法存在如下问题：

3、1）依靠人工进行测量,效率低，成本高；

4、2）测量完需要人工堆放良品和不良品，容易混淆。

5、3）由于晶圆固定环为扁平状，在大理石平面测量台不易拿取，容易在拿取过程中摩擦测量台表面，损伤晶圆固定环。

6、公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本申请的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请为解决背景技术中存在的至少一个问题，而提供一种晶圆固定环的分选装置。

2、为达到上述目的，本申请的技术方案是这样实现的：

3、第一方面，本申请实施例提供一种晶圆固定环的分选装置，包括：

4、支架；

5、分选通道板，沿第一方向延伸，供晶圆固定环沿所述第一方向滑行，或带动所述晶圆固定环沿所述第一方向移动；所述分选通道板安装在所述支架上；

6、高度分选组件，包括架设在所述分选通道板上方的高度分选板，所述高度分选板能上下移动，以调整与所述分选通道板在高度方向的间隙，适应不同规格的所述晶圆固定环；

7、第一感应器，在所述第一方向上位于所述高度分选板的前方，配置为感应所述晶圆固定环，以确定分选开始的第一时间；

8、第二感应器，在所述第一方向上位于所述高度分选板的后方，配置为感应所述晶圆固定环，以确定所述晶圆固定环通过所述高度分选板的第二时间；

9、分选导向器，根据所述第二时间和所述第一时间的时间差，选择分选导向方向，以实现对所述晶圆固定环的平面度的分选；

10、控制器，通信连接所述高度分选板、所述第一感应器、所述第二感应器和所述分选导向器，以控制所述高度分选板和所述分选导向器的动作。

11、在一可选实施方式中，所述分选通道板倾斜设置，以使所述晶圆固定环在重力作用下滑行。

12、在一可选实施方式中，所述分选通道板的一端底部设置有高度可调的支撑机构，以调节所述分选通道板的倾斜角度。

13、在一可选实施方式中，所述高度分选组件还包括驱动所述高度分选板上下移动的第一动力机构，所述第一动力机构包括电机和运动转换部件，所述运动转换部件配置为将所述电机的转动转换为直线移动。

14、在一可选实施方式中，所述高度分选组件还包括多个导柱和所述导柱上方的基板，所述导柱的一端固定在所述支架上，另一端固定在所述基板上；所述高度分选板开设有多个与所述导柱匹配的导柱孔，以使所述高度分选板沿所述导柱的方向上下移动；所述第一动力机构的固定部固定在所述基板上，驱动部连接至所述高度分选板。

15、在一可选实施方式中，所述分选导向器包括导向杆和第二动力机构；所述导向杆的后端固定在所述分选通道板的宽度方向的中间，前端能在所述第二动力机构的驱动下在所述分选通道板的宽度方向摆动，以引导所述晶圆固定环向预设的分选区域运动。

16、在一可选实施方式中，所述第一感应器和所述第二感应器均为安装在所述分选通道板中间的接近传感器，且凸出于所述分选通道板，在感应到所述晶圆固定环后能向下收缩至所述分选通道板下；所述分选通道板开设有通孔，以供所述第一感应器和所述第二感应器的凸出和收缩。

17、在一可选实施方式中，所述装置还包括宽度分选组件，所述宽度分选组件包括设置在所述分选通道板两侧的宽度分选块；两侧的所述宽度分选块之间的间距能根据所述晶圆固定环的规格进行调整。

18、在一可选实施方式中，所述分选通道板为循环移动的传动板，以带动所述晶圆固定环移动。

19、在一可选实施方式中，所述第一感应器和所述第二感应器均为安装在所述分选通道板两侧的光学传感器。

20、本申请实施例提供的晶圆固定环的分选装置，包括：支架；分选通道板，沿第一方向延伸，分选通道板安装在支架上；高度分选组件，包括架设在分选通道板上方的高度分选板，高度分选板能上下移动，以适应不同规格的晶圆固定环；第一感应器，在第一方向上位于高度分选板的前方，以确定分选开始的第一时间；第二感应器，在第一方向上位于高度分选板的后方，以确定晶圆固定环通过高度分选板的第二时间；分选导向器，根据第二时间和第一时间的时间差，选择分选导向方向；控制器，通信连接高度分选板、第一感应器、第二感应器和分选导向器，以控制高度分选板和分选导向器的动作。可见，本申请实施例的晶圆固定环的分选装置，设置分选通道板和高度分选组件，使晶圆固定环按序通过所述高度分选组件，通过所述分选通道板和高度分选板在高度方向的间隙分选不同翘曲度的晶圆固定环，分选效率高、成本低，且自动放置，不容易混淆，也不会因为摩擦大理石台面而损伤晶圆固定环。

21、本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

1.一种晶圆固定环的分选装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆固定环的分选装置，其特征在于，所述分选通道板倾斜设置，以使所述晶圆固定环在重力作用下滑行。

3.根据权利要求2所述的晶圆固定环的分选装置，其特征在于，所述分选通道板的一端底部设置有高度可调的支撑机构，以调节所述分选通道板的倾斜角度。

4.根据权利要求1所述的晶圆固定环的分选装置，其特征在于，所述高度分选组件还包括驱动所述高度分选板上下移动的第一动力机构，所述第一动力机构包括电机和运动转换部件，所述运动转换部件配置为将所述电机的转动转换为直线移动。

5.根据权利要求4所述的晶圆固定环的分选装置，其特征在于，所述高度分选组件还包括多个导柱和所述导柱上方的基板，所述导柱的一端固定在所述支架上，另一端固定在所述基板上；所述高度分选板开设有多个与所述导柱匹配的导柱孔，以使所述高度分选板沿所述导柱的方向上下移动；所述第一动力机构的固定部固定在所述基板上，驱动部连接至所述高度分选板。

6.根据权利要求1所述的晶圆固定环的分选装置，其特征在于，所述分选导向器包括导向杆和第二动力机构；所述导向杆的后端固定在所述分选通道板的宽度方向的中间，前端能在所述第二动力机构的驱动下在所述分选通道板的宽度方向摆动，以引导所述晶圆固定环向预设的分选区域运动。

7.根据权利要求4所述的晶圆固定环的分选装置，其特征在于，所述第一感应器和所述第二感应器均为安装在所述分选通道板中间的接近传感器，且凸出于所述分选通道板，在感应到所述晶圆固定环后能向下收缩至所述分选通道板下；所述分选通道板开设有通孔，以供所述第一感应器和所述第二感应器的凸出和收缩。

8.根据权利要求1-7任一项所述的晶圆固定环的分选装置，其特征在于，所述装置还包括宽度分选组件，所述宽度分选组件包括设置在所述分选通道板两侧的宽度分选块；两侧的所述宽度分选块之间的间距能根据所述晶圆固定环的规格进行调整。

9.根据权利要求1所述的晶圆固定环的分选装置，其特征在于，所述分选通道板为循环移动的传动板，以带动所述晶圆固定环移动。

10.根据权利要求9所述的晶圆固定环的分选装置，其特征在于，所述第一感应器和所述第二感应器均为安装在所述分选通道板两侧的光学传感器。