一种晶圆封装焊接用喷胶装置的制作方法

本技术涉及一种喷胶装置，具体为一种晶圆封装焊接用喷胶装置，属于晶圆封装焊接。

背景技术：

1、在晶圆封装焊接工艺中，喷胶是一道至关重要的工序。

2、现有技术中，通过擦拭海绵将晶圆上的灰尘擦拭后才能进行涂胶，因此满足不了一个晶圆在涂胶的过程中对另一个晶圆进行擦拭的需求，进而影响对晶圆涂胶的进程。

3、例如专利（cn221046500u）中就存在上述问题；其中记载了“一种晶圆生产用涂胶机，包括操作台以及固定连接于操作台两侧的纵向导轨，所述操作台的顶部固定连接有固定箱，所述操作台的顶部设置有清理机构；所述清理机构包括固定连接于操作台顶部的第二电机，且第二电机输出轴的一端通过联轴器固定连接有转动杆”，上述专利中满足不了一个晶圆在涂胶的过程中对另一个晶圆进行擦拭的需求。

4、针对上述存在的满足不了一个晶圆在涂胶的过程中对另一个晶圆进行擦拭的需求问题，为此提出了一种晶圆封装焊接用喷胶装置。

技术实现思路

1、（一）解决的技术问题

2、本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆封装焊接用喷胶装置，以解决现有技术中的问题。

3、（二）技术方案

4、本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆封装焊接用喷胶装置，包括操作台体，所述操作台体顶部一侧设置有喷胶设备，所述操作台体顶部设有两个吸附盘，两个所述吸附盘之间固定连通有u形管，所述u形管两端外侧均安装有阀门，所述u形管与操作台体之间设有抽气结构，所述u形管顶部设有安装架，所述安装架内部安装有伺服电机，所述伺服电机输出端与u形管固定连接，所述安装架顶部固定连接有l形支杆，所述l形支杆一端固定连接有固定板，所述固定板底部设有支撑件和擦拭结构。

5、优选地，所述抽气结构包括连通管，所述连通管固定连通于u形管底部，所述连通管底端固定连通有固定箱，所述固定箱固定连接于操作台体顶部，所述u形管外侧设有环形板，所述环形板固定连接于u形管底部，所述环形板转动连接于固定箱内部，所述固定箱前侧安装有进气管，所述进气管上安装有单向阀。

6、优选地，所述抽气结构还包括真空泵，所述真空泵设置于固定箱一侧，所述真空泵与操作台体固定连接，所述真空泵抽气端与固定箱固定连通。

7、优选地，所述支撑件包括两个支撑柱，两个所述支撑柱均固定连接于固定板底部，两个所述支撑柱底端均与操作台体固定连接。

8、优选地，所述擦拭结构包括十字板，所述十字板设置于两个支撑柱之间，两个所述支撑柱均贯穿十字板并与十字板滑动连接，所述十字板底部固定连接有液压缸，所述液压缸贯穿操作台体并与操作台体固定连接。

9、优选地，所述十字板一端固定连接有透明罩，所述透明罩顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端穿过透明罩顶部并延伸至透明罩内部，所述驱动电机输出端与透明罩转动连接。

10、优选地，所述驱动电机输出端固定连接有u形板，所述u形板内部设有海绵刷，所述u形板与海绵刷之间通过螺栓连接。

11、优选地，所述透明罩顶部设有环形管，所述环形管外侧固定连通有连接管，所述环形管底部固定连通有多个吸尘管，所述吸尘管穿过透明罩顶部并延伸至透明罩内部，所述吸尘管与透明罩固定连接。

12、本实用新型提供了一种晶圆封装焊接用喷胶装置，其具备的有益效果如下：

13、1、该晶圆封装焊接用喷胶装置，通过驱动电机的输出端带动u形板上的海绵刷转动，实现对晶圆表面的擦拭，而透明罩可有效防止擦拭过程中灰尘飞散，同时，连接管与外部吸尘设备相连，擦拭产生的粉尘通过多个吸尘管被抽吸，该结构设计实现了在一个晶圆喷胶的同时，可以对另一个晶圆进行擦拭的需求，显著提升了加工进度。

14、2、该晶圆封装焊接用喷胶装置，通过伺服电机的输出端带动u形管及其上连接的两个吸附盘整体旋转180度，从而实现两个工位上晶圆的位置互换：已擦拭洁净的晶圆被移至喷胶工位准备喷胶，而已完成喷胶的晶圆则被移至擦拭工位，随后，关闭对应吸附盘管路上的阀门，即可解除对该晶圆的吸附，便于取下已处理完成的晶圆并更换上新的待处理晶圆。

1.一种晶圆封装焊接用喷胶装置，包括操作台体（1），其特征在于：所述操作台体（1）顶部一侧设置有喷胶设备（100），所述操作台体（1）顶部设有两个吸附盘（2），两个所述吸附盘（2）之间固定连通有u形管（3），所述u形管（3）两端外侧均安装有阀门（4），所述u形管（3）与操作台体（1）之间设有抽气结构，所述u形管（3）顶部设有安装架（10），所述安装架（10）内部安装有伺服电机（11），所述伺服电机（11）输出端与u形管（3）固定连接，所述安装架（10）顶部固定连接有l形支杆（12），所述l形支杆（12）一端固定连接有固定板（13），所述固定板（13）底部设有支撑件和擦拭结构。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆封装焊接用喷胶装置，其特征在于：所述抽气结构包括连通管（5），所述连通管（5）固定连通于u形管（3）底部，所述连通管（5）底端固定连通有固定箱（7），所述固定箱（7）固定连接于操作台体（1）顶部，所述u形管（3）外侧设有环形板（6），所述环形板（6）固定连接于u形管（3）底部，所述环形板（6）转动连接于固定箱（7）内部，所述固定箱（7）前侧安装有进气管（9），所述进气管（9）上安装有单向阀。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆封装焊接用喷胶装置，其特征在于：所述抽气结构还包括真空泵（8），所述真空泵（8）设置于固定箱（7）一侧，所述真空泵（8）与操作台体（1）固定连接，所述真空泵（8）抽气端与固定箱（7）固定连通。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆封装焊接用喷胶装置，其特征在于：所述支撑件包括两个支撑柱（14），两个所述支撑柱（14）均固定连接于固定板（13）底部，两个所述支撑柱（14）底端均与操作台体（1）固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆封装焊接用喷胶装置，其特征在于：所述擦拭结构包括十字板（15），所述十字板（15）设置于两个支撑柱（14）之间，两个所述支撑柱（14）均贯穿十字板（15）并与十字板（15）滑动连接，所述十字板（15）底部固定连接有液压缸（17），所述液压缸（17）贯穿操作台体（1）并与操作台体（1）固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆封装焊接用喷胶装置，其特征在于：所述十字板（15）一端固定连接有透明罩（16），所述透明罩（16）顶部固定连接有驱动电机（18），所述驱动电机（18）输出端穿过透明罩（16）顶部并延伸至透明罩（16）内部，所述驱动电机（18）输出端与透明罩（16）转动连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆封装焊接用喷胶装置，其特征在于：所述驱动电机（18）输出端固定连接有u形板（19），所述u形板（19）内部设有海绵刷（20），所述u形板（19）与海绵刷（20）之间通过螺栓连接。

8.根据权利要求6所述的一种晶圆封装焊接用喷胶装置，其特征在于：所述透明罩（16）顶部设有环形管（21），所述环形管（21）外侧固定连通有连接管（23），所述环形管（21）底部固定连通有多个吸尘管（22），所述吸尘管（22）穿过透明罩（16）顶部并延伸至透明罩（16）内部，所述吸尘管（22）与透明罩（16）固定连接。