一种用于洁净服表面大颗粒的提取装置的制作方法

本技术涉及工业清洁度监测与颗粒处理，特别是涉及一种用于洁净服表面大颗粒的提取装置。

背景技术：

1、在电子制造、芯片及半导体等行业中，洁净室是保障生产精度与产品品质的核心环境，而洁净服作为阻断人员产生颗粒污染的关键屏障，其表面粒子控制直接关系到生产安全。根据iso14644-1标准，行业内普遍聚焦于0.1µm~5µm 悬浮粒子的检测与控制，但在实践中发现，还有另一类粒子对实际生产及产品品质的存在影响，那就是粒径＞10µm的大颗粒，此类大颗粒（包括环境粉尘、洁净服老化释放的纤维等）质量较大、附着力相对较强，易残留于洁净服表面及织物褶皱、缝隙中，不仅可能造成基板凹坑、芯片破裂等严重产品缺陷，还会降低生产良率。

2、然而，当前行业对洁净服的测试与防护存在明显短板：一方面，洁净服随使用时间延长会逐渐老化，织物结构稳定性下降，持续释放纤维等大颗粒，另一方面，相关测试多围绕iso14644-1规定的悬浮粒子展开，缺乏针对＞10µm大颗粒的专项测试与评估，导致洁净服表面附着及老化释放的大颗粒风险长期被忽视。现有洁净服清洁或粒子提取装置多为广谱性除尘设计，未针对＞10µm大颗粒的物理特性（质量大、附着力强、易残留）优化定向提取结构，导致大颗粒脱离织物表面的效率偏低，难以实现精准高效提取，进而就导致无法确认洁净服表面大颗粒对生产效率和产品良率的影响。综上，传统技术中缺乏一种能定向、高效提取洁净服表面粒径＞10µm大颗粒的专用装置，亟待针对性解决上述问题。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述不足，提供一种用于洁净服表面大颗粒的提取装置，包括：支架、电机、搅拌桨、处理箱、第一气管、真空泵，所述电机和处理箱固定在所述支架上，所述搅拌桨包括：转轴和固定于所述转轴一端的桨叶，所述桨叶设于所述处理箱内，所述处理箱的顶壁或侧壁上开设有轴伸孔、进气孔，所述转轴从所述轴伸孔伸出并与所述电机的动力轴传动连接，所述进气孔上设有过滤器，所述处理箱底部开设第一通孔，所述第一气管一端与所述第一通孔连通、另一端与所述真空泵连通，所述第一气管内设有用于采集大颗粒的过滤膜。

2、优选地，所述第一气管包括第二气管和第三气管，所述第二气管一端与所述第一通孔连通、另一端与所述第三气管连通，所述第三气管一端与所述第二气管连通、另一端与所述真空泵连通，所述第二气管和第三气管的连接端可拆卸地设有滤膜夹，所述过滤膜设于所述滤膜夹内。

3、优选地，所述处理箱呈圆柱形。

4、优选地，所述处理箱底部呈漏斗形，所述第一通孔设于所述处理箱底部的最低点。

5、优选地，所述桨叶下方设有用于放置洁净服的金属网。

6、优选地，所述转轴上套设有一轴封，所述轴封固定于所述轴伸孔上。

7、优选地，所述桨叶边缘呈光滑的圆弧形，所述桨叶由pa66+gf制成，所述处理箱由304不锈钢制成。

8、优选地，所述处理箱侧壁设有带有密封圈的密封门。

9、优选地，所述真空泵为旋片式真空泵。

10、上述用于洁净服表面大颗粒的提取装置，通过采用含可拆卸滤膜夹的分段式第一气管、带进气过滤器的处理箱，结合电机驱动桨叶搅动洁净服、真空泵负压汇聚颗粒的装置协同作用，使用对应的大颗粒提取方法，实现了洁净服表面粒径＞10µm大颗粒的定向提取与精准量化，解决了传统广谱检测数据失真、无法指导批量质控的难题，填补了传统技术缺乏针对洁净服表面粒径＞10μm大颗粒提取方案的技术空白。

1.一种用于洁净服表面大颗粒的提取装置，其特征在于，包括：支架（100）、电机（200）、搅拌桨（300）、处理箱（400）、第一气管（500）、真空泵（600），所述电机（200）和处理箱（400）固定在所述支架（100）上，所述搅拌桨（300）包括：转轴（310）和固定于所述转轴（310）一端的桨叶（320），所述桨叶（320）设于所述处理箱（400）内，所述处理箱（400）的顶壁或侧壁上开设有轴伸孔（400a）、进气孔（400b），所述转轴（310）从所述轴伸孔（400a）伸出并与所述电机（200）的动力轴传动连接，所述进气孔（400b）上设有过滤器（410），所述处理箱（400）底部开设第一通孔（400c），所述第一气管（500）一端与所述第一通孔（400c）连通、另一端与所述真空泵（600）连通，所述第一气管（500）内设有用于采集大颗粒的过滤膜（511）。

2.根据权利要求1所述的用于洁净服表面大颗粒的提取装置，其特征在于，所述第一气管（500）包括第二气管（520）和第三气管（530），所述第二气管（520）一端与所述第一通孔（400c）连通、另一端与所述第三气管（530）连通，所述第三气管（530）一端与所述第二气管（520）连通、另一端与所述真空泵（600）连通，所述第二气管（520）和第三气管（530）的连接端可拆卸地设有滤膜夹（510），所述过滤膜（511）设于所述滤膜夹（510）内。

3.根据权利要求2所述的用于洁净服表面大颗粒的提取装置，其特征在于，所述处理箱（400）呈圆柱形。

4.根据权利要求3所述的用于洁净服表面大颗粒的提取装置，其特征在于，所述处理箱（400）底部呈漏斗形，所述第一通孔（400c）设于所述处理箱（400）底部的最低点。

5.根据权利要求4所述的用于洁净服表面大颗粒的提取装置，其特征在于，所述桨叶（320）下方设有用于放置洁净服的金属网（420）。

6.根据权利要求2所述的用于洁净服表面大颗粒的提取装置，其特征在于，所述转轴（310）上套设有一轴封（311），所述轴封（311）固定于所述轴伸孔（400a）上。

7.根据权利要求2所述的用于洁净服表面大颗粒的提取装置，其特征在于，所述桨叶（320）边缘呈光滑的圆弧形，所述桨叶（320）由pa66+gf制成，所述处理箱（400）由304不锈钢制成。

8.根据权利要求2所述的用于洁净服表面大颗粒的提取装置，其特征在于，所述处理箱（400）侧壁设有带有密封圈的密封门（430）。

9.根据权利要求2所述的用于洁净服表面大颗粒的提取装置，其特征在于，所述真空泵为旋片式真空泵。