一种晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置的制作方法

本发明涉及废气处理，具体地说，涉及一种晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置。

背景技术：

1、晶圆立式炉在排胶工艺中会产生大量含有有机粘合剂分解产物及气态污染物的高温废气，工业上通常先通过冷凝工序将其降温，使部分高沸点有机物凝结析出，再进行后续吸收或吸附处理。冷凝后的废气仍含有一定浓度的低沸点有机物和细微液滴，需要经过填料塔等气液接触设备进一步净化。现有处理装置多采用固定填料床结构，填料层的空隙率和堆积状态在运行过程中基本保持不变。

2、然而，晶圆立式炉的排胶过程具有明显的间歇性和负荷波动特征，传统固定填料塔在实际运行中暴露出一些缺陷。在低负荷工况下，废气流量较小，气相动能不足，气流在塔截面内易沿局部低阻力通道通过，形成偏流或沟流，导致气液接触不充分，传质效率显著下降。而在高负荷工况下，废气流量骤增，固定床层的处理能力受到填料高度的限制，容易出现污染物穿透现象。若单纯增加填料层高度，又会带来床层整体压降显著上升的问题。因此，固定填料塔难以在较宽的负荷变化范围内同时保持良好的传质效率、较低的压降和稳定的运行状态。

技术实现思路

1、本发明提供了晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置，其通过设置固定填料层，并在固定填料层上方悬挂可自由晃动的浮动填料，使固定填料层与浮动填料能够根据废气负荷变化自动切换分离或复合状态，从而解决上述背景技术中所提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供了一种晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置包括进气箱、固定安装于进气箱顶部的喷淋箱、固定安装于进气箱与喷淋箱之间的净化筒以及设置于喷淋箱内部用于喷淋吸收液的喷淋头，净化筒的内部设置有可上下活动的活动滤板，活动滤板在上升至预设高度后，在下降过程中会发生水平转动。活动滤板上铺设有固定填料层，固定填料层上方通过连接绳悬挂有浮动填料，浮动填料由轻质材料制成。

3、在上述技术方案中，在较小气流量下，浮动填料悬挂于连接绳末端并在气流作用下晃动，在气流量增大到一定程度后，活动滤板与固定填料层被气流向上推动，浮动填料与固定填料层顶部抵接形成复合床层。

4、基于上述基础，净化筒的内壁卡接有安装架，安装架的杆壁固定安装有固定筒，连接绳远离浮动填料的一端贯穿固定筒，且连接绳远离浮动填料的一端在固定筒的顶部缠绕有绳结。

5、固定筒的底面固定安装有限位筒，且限位筒套设于连接绳的外部。

6、净化筒的内壁固定安装有固定滤板，浮动填料设置有若干个，连接绳的数量与浮动填料的数量对应，若干个连接绳均贯穿固定滤板的通孔。

7、活动滤板的外壁固定安装有插杆，净化筒的内壁开设有供插杆滑动的导向槽。

8、导向槽包括开设于净化筒内壁上且首尾相互连通的直槽、转向槽和螺旋槽，导向槽还包括设置于直槽顶部的楔块。

9、净化筒的内壁固定安装有支撑环板，支撑环板的顶面转动安装有转动环板，转动环板的顶面固定安装有阻尼弹簧，阻尼弹簧的顶端与活动滤板的底面固定连接。

10、活动滤板的顶面固定安装有推板。

11、进气箱的外壁固定安装有进气管，喷淋箱的顶面固定安装有出气管，进气箱的侧壁固定安装有储水箱，储水箱上设置有引水泵，引水泵的进水端与储水箱内部连通，引水泵出水端连接有喷淋管，喷淋管远离引水泵的一端与喷淋头连通，喷淋箱的内壁固定安装有除雾器，且除雾器位于喷淋头的上方。

12、进气箱内壁的底面倾斜设置，储水箱通过连接管与进气箱的内部连通。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果：

14、该晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置中，通过设置可上下活动的活动滤板，并在活动滤板上铺设固定填料层，同时在固定填料层上方通过连接绳悬挂浮动填料，使得装置能够根据废气负荷变化自动切换填料接触状态，达到了低负荷下浮动填料自由晃动强化气液接触、高负荷下浮动填料与固定填料层形成复合床层提高处理能力的效果。从而有效避免了传统固定填料塔在负荷波动时传质效率不稳定、高负荷易穿透的问题，实现了对废气负荷波动的自适应调节。

15、2、该晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置中，通过导向槽与插杆的配合，使活动滤板在上升后预设高度后再下降时，能够沿螺旋槽产生水平转动，带动固定填料层重新排列，达到了破坏填料架桥、板结和重新分布气流通道的效果。从而有效避免了固定填料层在长期运行中因杂质沉积或液膜黏附而堵塞的问题，保证了装置在低负荷工况下仍能维持良好的气液传质效率，提升了运行稳定性和使用寿命。

1.一种晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置，包括进气箱、固定安装于进气箱顶部的喷淋箱、固定安装于进气箱与喷淋箱之间的净化筒以及设置于喷淋箱内部用于喷淋吸收液的喷淋头，其特征在于：所述净化筒的内部设置有可上下活动的活动滤板，所述活动滤板在上升至预设高度后，在下降过程中会发生水平转动；

2.根据权利要求1所述的晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置，其特征在于：所述净化筒的内壁卡接有安装架，所述安装架的杆壁固定安装有固定筒，所述连接绳远离浮动填料的一端贯穿固定筒，且连接绳远离浮动填料的一端在固定筒的顶部缠绕有绳结。

3.根据权利要求2所述的晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置，其特征在于：所述固定筒的底面固定安装有限位筒，且限位筒套设于连接绳的外部。

4.根据权利要求2所述的晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置，其特征在于：所述净化筒的内壁固定安装有固定滤板，所述浮动填料设置有若干个，连接绳的数量与浮动填料的数量对应，若干个所述连接绳均贯穿固定滤板的通孔。

5.根据权利要求1所述的晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置，其特征在于：所述活动滤板的外壁固定安装有插杆，所述净化筒的内壁开设有供插杆滑动的导向槽。

6.根据权利要求5所述的晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置，其特征在于：所述导向槽包括开设于净化筒内壁上且首尾相互连通的直槽、转向槽和螺旋槽，所述导向槽还包括设置于直槽顶部的楔块。

7.根据权利要求6所述的晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置，其特征在于：所述净化筒的内壁固定安装有支撑环板，所述支撑环板的顶面转动安装有转动环板，所述转动环板的顶面固定安装有阻尼弹簧，所述阻尼弹簧的顶端与活动滤板的底面固定连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置，其特征在于：所述活动滤板的顶面固定安装有推板。

9.根据权利要求1所述的晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置，其特征在于：所述进气箱的外壁固定安装有进气管，所述喷淋箱的顶面固定安装有出气管，所述进气箱的侧壁固定安装有储水箱，所述储水箱上设置有引水泵，所述引水泵的进水端与储水箱内部连通，所述引水泵出水端连接有喷淋管，所述喷淋管远离引水泵的一端与喷淋头连通，所述喷淋箱的内壁固定安装有除雾器，且除雾器位于喷淋头的上方。

10.根据权利要求9所述的晶圆立式炉排胶冷凝废气处理装置，其特征在于：所述进气箱内壁的底面倾斜设置，所述储水箱通过连接管与进气箱的内部连通。