测量用直角棱镜安装装置的制作方法

本技术涉及测量设备，尤其涉及一种测量用直角棱镜安装装置。

背景技术：

1、测量用直角棱镜广泛应用于半导体装备、3c自动化装备的基准测量。如图1所示，测量用直角棱镜构造为横截面为直角三角形的棱柱结构，并包括两个直角表面。在进行基准测量时，通常需要采用支撑装置支撑两个直角表面。然而，现有的支撑装置在支撑测量用直角棱镜时存在以下问题：（1）支撑精度及稳定性差；（2）由于支撑结构与测量用直角棱镜的热膨胀系数不同，在温度变化时棱镜容易被挤压破损。

2、因此，亟待需要一种测量用直角棱镜安装装置来解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种测量用直角棱镜安装装置，不仅能够稳定支撑测量用直角棱镜，且在温度变化时能够避免直角棱镜因热变形量与安装装置不一致而被挤压破损。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、测量用直角棱镜安装装置，包括支撑底座、第一支撑脚、第二支撑脚和第三支撑脚；所述支撑底座具有上侧支撑平面；所述第一支撑脚、所述第二支撑脚和所述第三支撑脚均为柔性弹片结构；所述第一支撑脚的顶部设置第一支撑斜面，用于支撑测量用直角棱镜的一个直角面；所述第二支撑脚的顶部设置第二支撑斜面，所述第三支撑脚的顶部设置第三支撑斜面，所述第二支撑斜面和所述第三支撑斜面共面，且均垂直于所述第一支撑斜面，用于支撑所述测量用直角棱镜的另一个直角面；所述第一支撑脚、所述第二支撑脚和所述第三支撑脚三者在所述上侧支撑平面上的投影首尾相连构成第一等腰三角形，所述第一支撑脚位于所述第一等腰三角形的顶点。

4、作为一个可选的方案，所述第一支撑脚包括第一底板、第一立板和第一支撑块，所述第一底板与所述上侧支撑平面连接，所述第一立板垂直于所述上侧支撑平面设置，且下端与所述第一底板固定连接，上端与所述第一支撑块连接，所述第一支撑斜面设置在所述第一支撑块上；所述第一立板平行于所述第一等腰三角形的底边。

5、作为一个可选的方案，所述第二支撑脚包括第二底板、第二立板和第二支撑块，所述第二底板与所述上侧支撑平面连接，所述第二立板垂直于所述上侧支撑平面设置，且下端与所述第二底板固定连接，上端与所述第二支撑块连接，所述第二支撑斜面设置在所述第二支撑块上；

6、所述第三支撑脚包括第三底板、第三立板和第三支撑块，所述第三底板与所述上侧支撑平面连接，所述第三立板垂直于所述上侧支撑平面设置，且下端与所述第三底板固定连接，上端与所述第三支撑块连接，所述第三支撑斜面设置在所述第三支撑块上；

7、所述第二立板和所述第三立板均垂直于所述第一等腰三角形的底边。

8、作为一个可选的方案，所述第一支撑脚自身关于所述第一等腰三角形底边上的高对称；所述第二支撑脚和所述第三支撑脚关于所述第一等腰三角形底边上的高对称设置。

9、作为一个可选的方案，所述第一支撑脚、所述第二支撑脚和所述第三支撑脚均与所述支撑底座一体成型。

10、作为一个可选的方案，所述支撑底座上设置三个安装孔，三个所述安装孔分别用于通过三个紧固件与外部结构紧固连接。

11、作为一个可选的方案，三个所述安装孔在所述上侧支撑平面上的投影首尾相连形成第二等腰三角形，所述第二等腰三角形底边上的高与所述第一等腰三角形底边上的高共线。

12、作为一个可选的方案，所述支撑底座下侧设置有三个凸台，三个所述凸台的底部分别设置有安装表面，三个所述安装表面共面，每个所述安装孔的下端贯穿所述安装表面。

13、作为一个可选的方案，所述支撑底座材料为铝合金或合金钢。

14、作为一个可选的方案，所述第一支撑脚、所述第二支撑脚和所述第三支撑脚的材料均为橡胶。

15、本实用新型有益效果为：

16、本实用新型测量用直角棱镜安装装置包括支撑底座、第一支撑脚、第二支撑脚和第三支撑脚，在使用时，支撑底座固定在预设的位置，第一支撑脚的第一支撑斜面支撑测量用直角棱镜的一个直角面；第二支撑脚的第二支撑斜面和第三支撑脚的第三支撑斜面共同支撑测量用直角棱镜的另一个直角面。由于第一支撑脚、第二支撑脚和第三支撑脚三者在上侧支撑平面上的投影首尾相连构成第一等腰三角形，且第一支撑脚位于第一等腰三角形的顶点，从而使测量用直角棱镜受力平衡，进而被可靠稳定且精准地支撑；此外，由于第一支撑脚、第二支撑脚和第三支撑脚三者均为柔性弹片结构，故当周围温度变化时，第一支撑脚、第二支撑脚和第三支撑脚可以通过自身的弹性变形来对测量用直角棱镜和安装装置的热变形量不一致情况进行补偿，从而避免各个支撑脚对测量用直角棱镜产生过大的作用力，避免测量用直角棱镜被挤压破损。

1.测量用直角棱镜安装装置，其特征在于，包括支撑底座(10)、第一支撑脚(20)、第二支撑脚(30)和第三支撑脚(40)；所述支撑底座(10)具有上侧支撑平面(11)；所述第一支撑脚(20)、所述第二支撑脚(30)和所述第三支撑脚(40)均为柔性弹片结构；所述第一支撑脚(20)的顶部设置第一支撑斜面(231)，用于支撑测量用直角棱镜(50)的一个直角面(51)；所述第二支撑脚(30)的顶部设置第二支撑斜面(331)，所述第三支撑脚(40)的顶部设置第三支撑斜面(431)，所述第二支撑斜面(331)和所述第三支撑斜面(431)共面，且均垂直于所述第一支撑斜面(231)，用于支撑所述测量用直角棱镜(50)的另一个直角面(51)；所述第一支撑脚(20)、所述第二支撑脚(30)和所述第三支撑脚(40)三者在所述上侧支撑平面(11)上的投影首尾相连构成第一等腰三角形(60)，所述第一支撑脚(20)位于所述第一等腰三角形(60)的顶点。

2.如权利要求1所述的测量用直角棱镜安装装置，其特征在于，所述第一支撑脚(20)包括第一底板(21)、第一立板(22)和第一支撑块(23)，所述第一底板(21)与所述上侧支撑平面(11)连接，所述第一立板(22)垂直于所述上侧支撑平面(11)设置，且下端与所述第一底板(21)固定连接，上端与所述第一支撑块(23)连接，所述第一支撑斜面(231)设置在所述第一支撑块(23)上；所述第一立板(22)平行于所述第一等腰三角形(60)的底边。

3.如权利要求1所述的测量用直角棱镜安装装置，其特征在于，所述第二支撑脚(30)包括第二底板(31)、第二立板(32)和第二支撑块(33)，所述第二底板(31)与所述上侧支撑平面(11)连接，所述第二立板(32)垂直于所述上侧支撑平面(11)设置，且下端与所述第二底板(31)固定连接，上端与所述第二支撑块(33)连接，所述第二支撑斜面(331)设置在所述第二支撑块(33)上；

4.如权利要求1所述的测量用直角棱镜安装装置，其特征在于，所述第一支撑脚(20)自身关于所述第一等腰三角形(60)底边上的高对称；所述第二支撑脚(30)和所述第三支撑脚(40)关于所述第一等腰三角形(60)底边上的高对称设置。

5.如权利要求1所述的测量用直角棱镜安装装置，其特征在于，所述第一支撑脚(20)、所述第二支撑脚(30)和所述第三支撑脚(40)均与所述支撑底座(10)一体成型。

6.如权利要求1-5任一项所述的测量用直角棱镜安装装置，其特征在于，所述支撑底座(10)上设置三个安装孔(12)，三个所述安装孔(12)分别用于通过三个紧固件与外部结构紧固连接。

7.如权利要求6所述的测量用直角棱镜安装装置，其特征在于，三个所述安装孔(12)在所述上侧支撑平面(11)上的投影首尾相连形成第二等腰三角形(70)，所述第二等腰三角形(70)底边上的高与所述第一等腰三角形(60)底边上的高共线。

8.如权利要求6所述的测量用直角棱镜安装装置，其特征在于，所述支撑底座(10)下侧设置有三个凸台(13)，三个所述凸台(13)的底部分别设置有安装表面(14)，三个所述安装表面(14)共面，每个所述安装孔(12)的下端贯穿所述安装表面(14)。

9.如权利要求1-5任一项所述的测量用直角棱镜安装装置，其特征在于，所述支撑底座(10)材料为铝合金或合金钢。