镀膜系统的制作方法

本技术涉及电池片镀膜，尤其涉及一种镀膜系统。

背景技术：

1、在电池片生产过程中，承载有基片的载具需要依次经过多个工艺腔室，在不同的工艺腔室内，基片会被镀膜，以最终形成电池片。

2、相关技术中，载具需要在不同的工艺腔室之间转运，因此保障载具在多个工艺腔室之间的转运效率是本领域的研究课题之一。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本技术提供一种镀膜系统，在镀膜过程中，用于提高载具在多个工艺腔室之间的转运效率。

2、本技术通过如下技术方案实现。

3、本技术提供一种镀膜系统，该镀膜系统包括工艺段、第一输送线和伸缩机构，工艺段包括沿第一方向设置的多个工艺腔室，工艺腔室内的腔体用于容纳装载有基片的载具，并对基片进行工艺处理。第一输送线包括输送架、传输件和第一动力件，沿第二方向，工艺段设于输送架的一侧，沿第一方向，输送架延伸设置，传输件活动设于输送架，并能够沿输送架运动，第一动力件和传输件连接，并用于驱动传输件运动。伸缩机构包括伸缩件和第二动力件，沿第二方向，伸缩件活动连接于传输件，并能够在第一位置和第二位置之间伸缩，第二位置相比于第一位置更靠近工艺段，且在第二位置，伸缩件的至少部分伸至工艺段所在的一侧，伸缩件用于承载载具，第二动力件和伸缩件连接，并用于驱动伸缩件伸缩；其中，第一方向和第二方向垂直。

4、在本技术实施例的技术方案中，工艺段包括多个沿第一方向设置的工艺腔室，各工艺腔室可以容纳载具，并对载具上的基片进行相同或者不同的工艺处理。沿第二方向，由于工艺段设于输送架的一侧，且第一方向和第二方向垂直，因此工艺段的排布和输送架的设置不会产生干涉，由于第一动力件能够驱动传输件沿输送架运动，而第二动力件又可以驱动伸缩件相对于传输件伸缩，因此伸缩件可以实现第一方向和第二方向两个方向上的运动，那么在需要为工艺腔室提供载具或者将工艺腔室内的载具送出时，可以使伸缩件处于第一位置，由于第二位置相比于第一位置更靠近工艺段，也就是，第一位置相比于第二位置更远离工艺段，因此可以避免在伸缩件传输的过程中，伸缩件和工艺段干涉，在传输件传输到位后，伸缩件和对应的工艺腔室沿第二方向相对，然后再使伸缩件伸至工艺段所在的一侧，也就是第二位置，此时伸缩件靠近工艺腔室，可以将载具直接或者间接的送入工艺腔室内的腔体，或直接或间接的将工艺腔室内的载具送出，通过第一输送线和伸缩机构的配合，一个伸缩机构可以对应多个工艺腔室，可以根据载具上基片的不同工艺需求，快速将载具在不同的工艺腔室之间转运，提高载具在多个工艺腔室之间的转运效率。

5、在本技术的一些实施例中，沿第二方向，伸缩件还能够在第一位置和第三位置之间伸缩，且第一位置位于第二位置和第三位置之间，在第三位置，伸缩件的至少部分伸至和工艺段相背离的一侧。

6、如此设置，沿第二方向，伸缩件可以在第一位置和第二位置之间伸缩，还可以在第一位置和第三位置之间伸缩，也就是说，伸缩件相对于传输件可以双向伸缩，那么伸缩件便可以将自工艺腔室取出的载具转运至和工艺段相背离的一侧，或者，伸缩件也可以将位于和工艺段相背离一侧的载具转运至工艺段所在的一侧，以适应镀膜系统空间布局及各种作业需求。

7、在本技术的一些实施例中，镀膜系统还包括冗余段，冗余段包括至少一个冗余工位，沿第二方向，冗余段设于输送架远离工艺段的一侧，冗余工位用于承载载具。

8、如此设置，沿第二方向，在输送架远离工艺段的另一侧设置有冗余段，由于冗余段包括至少一个冗余工位，因此在工艺腔室内的载具或基片出现质量等问题时，可以利用伸缩件先伸至第二位置取出问题载具，然后再使伸缩件伸至第三位置，也就是冗余段所在的一侧，以将问题载具放置于冗余工位，等待处理，通过冗余工位的设置，降低问题载具对镀膜系统正常生产工序的影响，保障正常生产工序的节拍。

9、在本技术的一些实施例中，工艺段和冗余段的数量均为多个，多个工艺段和多个冗余段对应设置，沿第一方向，多个工艺段依次设置，多个冗余段依次设置。

10、如此设置，工艺段和冗余段的数量均为多个，多个工艺段的设置可以满足大产量的生产需求，而多个冗余段则可以提供更多的冗余工位，以适配更多数量的载具，从而降低问题载具对镀膜系统正常生产工序的影响，保障正常生产工序的节拍。

11、在本技术的一些实施例中，载具包括第一载具和第二载具；镀膜系统还包括第一中转工位和第二中转工位，沿第一方向，第一中转工位和第二中转工位设于工艺段的同一端，沿第二方向，输送架设于第一中转工位和第二中转工位之间，第一中转工位用于承载第一载具，第一载具用于装载待工艺处理的基片，第二中转工位用于承载第二载具，第二载具用于装载工艺处理后的基片。

12、如此设置，沿第一方向，在工艺段的同一端设置有第一中转工位和第二中转工位，如此未经工艺处理的基片装载于第一载具上后，可以先放置于第一中转工位，在伸缩件传输到位后，第一中转工位可以为伸缩件提供第一载具，伸缩件和传输件配合，以将第一载具放置于对应的工艺腔室内，以进行工艺处理，在基片经工艺处理后，伸缩件和传输件配合可以将第二载具传输至第二中转工位，以待后续处理，沿第二方向，由于输送架设于第一中转工位和第二中转工位之间，因此第一中转工位和第二中转工位不会相互干涉，可以便于上料和下料的有序进行。

13、在本技术的一些实施例中，镀膜系统还包括热量回收装置，热量回收装置包括预热工位、冷却工位及热量传递结构，沿第二方向，预热工位设于第一中转工位所在的一侧，冷却工位设于第二中转工位所在的一侧，沿第一方向，预热工位设于第一中转工位远离工艺段的上游，冷却工位设于第二中转工位远离工艺段的下游，第一中转工位用于接收来自预热工位的第一载具，第二中转工位用于将第二载具传递至冷却工位，热量传递结构用于将冷却工位的热量传递至预热工位。

14、如此设置，自工艺腔室转运至第二中转工位的第二载具处于高温状态，需要降温，使第二载具经过冷却工位进行降温，在经过冷却工位时，第二载具的热量会散发至冷却工位，同时，使第一载具经过预热工位，进而转运至第一中转工位，在第一载具和第二载具的转运过程中，热量传递结构将冷却工位的热量传递至预热工位，以将经过预热工位的第二载具加热，如此在第二载具转运至第一中转工位后，第二载具便进行了预热，在第二载具经由伸缩件和传输件转运至工艺腔室内后，第二载具在被加热至预设温度所消耗的能量便较低，可以提高能量的利用率，降低能耗。

15、在本技术的一些实施例中，热量传递结构包括第一风道和至少一个第一风机，第一风道沿第二方向延伸，冷却工位、预热工位、第一风机均设于第一风道的传输路径上，冷却工位设于预热工位的上游。

16、如此设置，在第二载具经过冷却工位，第一载具经过预热工位时，第一风机启动，以带动冷却工位的高温气体经由第一风道经过预热工位，高温气体中的热量可以传递至第一载具，以实现对第一载具的预热，第一风机和第一风道配合的结构，结构可靠，且热量传递方式更为直接。

17、在本技术的一些实施例中，热量传递结构还包括第二风道，第二风道的进风口和第一风道的出风口连通，第二风道的出风口和第一风道的进风口连通。

18、如此设置，经过第一风道的出风口排出的气体再次经过第二风道回流至第一风道的进风口，由于回流至第一风道的进风口的气体中还残留尚未被第一载具吸收的热量，因此残留的热量可以再次通过第一风道流经预热工位，以提高热量回收率，进一步降低能耗。

19、在本技术的一些实施例中，预热工位的数量、冷却工位的数量和热量传递结构的数量为多个，多个预热工位和多个冷却工位对应设置，多个热量传递结构和多个预热工位对应设置，沿第一方向，多个预热工位依次设置，多个冷却工位依次设置，热量传递结构用于将对应的冷却工位的热量传递至对应的预热工位；热量回收装置还包括预热输送线和冷却输送线，沿第一方向，多个预热工位及第一中转工位均设于预热输送线的传输路径上，预热输送线用于传输第一载具，多个冷却工位及第二中转工位均设于冷却输送线的传输路径上，冷却输送线用于传输第二载具。

20、如此设置，第一载具可以通过预热输送线向靠近第一中转工位的方向传输，在传输的过程中，第一载具依次经过多个预热工位，第一载具的温度逐渐升高，第二载具可以通过冷却输送线向远离第二中转工位的方向传输，在传输的过程中，第二载具依次经过多个冷却工位，且第二载具的温度逐渐降低，以此实现第一载具的梯度升温和第二载具的梯度降温，实现热量的高效回收利用。

21、在本技术的一些实施例中，热量回收装置还包括至少一个隔热件，沿第一方向，各相邻热量传递结构之间设隔热件，隔热件用于阻隔相邻热量传递结构的热量互相传递。

22、如此设置，沿第一方向，在各相邻的热量传递结构之间设置有隔热件，隔热件可以阻隔相邻热量传递结构的热量互相传递，以保障对应的冷却工位和预热工位之间热量交换的独立性，保障第一载具的梯度升温和第二载具的梯度降温，进一步提高热量的高效回收利用。

23、在本技术的一些实施例中，镀膜系统还包括上料工位、卸料工位、清洁工位和装卸片机构，沿第一方向，上料工位设于第一中转工位的上游，卸料工位设于第二中转工位的下游，沿第二方向，清洁工位设于卸料工位和上料工位之间，装卸片机构邻近卸料工位和上料工位设置；装卸片机构用于向承载于上料工位的第一载具装载待工艺处理的基片，上料工位用于向第一中转工位传递第一载具，卸料工位用于接收来自第二中转工位的第二载具，装卸片机构还用于将承载于卸料工位的第二载具上经过工艺处理的基片卸下，清洁工位用于接收来自卸料工位的第二载具，并对第二载具进行清洁，以转化为第一载具，清洁工位还用于向上料工位传递清洁后的第一载具。

24、如此设置，经过工艺处理且位于第二中转工位上的第二载具会传输至卸料工位，在卸料工位，装卸片机构将第二载具上经过工艺处理的基片卸下，接着空置的第二载具转运至清洁工位，在清洁工位，第二载具被清洁以转化为空置的第一载具，接着装卸片机构将待工艺处理的基片装载至第一载具，接着第一载具传输至第一中转工位，以等待伸缩件和传输件将该第一载具转运至工艺腔室内进行工艺处理，以此循环实现整个镀膜系统的循环作业，保障作业效率。

25、在本技术的一些实施例中，镀膜系统还包括升降机构，升降机构包括升降件和第三动力件，沿重力方向，升降件活动连接于传输件，沿第二方向，伸缩件活动连接于升降件以活动连接于传输件，第三动力件与升降件连接，并用于驱动升降件升降；其中，重力方向、第一方向和第二方向两两垂直。

26、如此设置，第三动力件用于驱动升降件升降，由于伸缩件连接于升降件，因此升降件可以带动伸缩件沿重力方向升降，那么在伸缩件需要沿重力方向调节以适应载具的抓取和放置时，升降件可以对伸缩件进行重力方向的调节，以满足作业需求。

27、在本技术的一些实施例中，镀膜系统还包括第一承载件，第一承载件连接于传输件，在第一位置，沿重力方向向同一投影面投影，第一承载件的投影与伸缩件的投影完全错开，且沿第一方向，伸缩件的至少一侧具有第一承载件，第一承载件用于承载载具。

28、如此设置，第一承载件可以跟随传输件沿第一方向传输，当伸缩件在第二位置抓取载具后，伸缩件回缩至第一位置，此时第一承载件可以对载具发挥承载作用，以辅助支撑载具，从而保障载具的承载稳定性，那么在传输件沿第一方向传输时，可以保障载具的设置稳定性，保障传输的可靠性。

29、在本技术的一些实施例中，镀膜系统还包括定位结构和载具，定位结构包括定位凸起和定位槽，载具和第一承载件中的一者设定位凸起，另一者设定位槽，沿重力方向，定位凸起用于伸入或脱离定位槽；在第一位置，沿重力方向，升降件用于在第四位置和第五位置之间升降，第四位置相比于第五位置更高，在第四位置，定位凸起脱离定位槽，在第五位置，定位凸起伸入定位槽内。

30、如此设置，在第一位置，如果需要将载具放置于第一承载件上，那么升降件便自第四位置下降至第五位置，此时定位凸起伸入定位槽内，以限定载具相对于第一承载件在垂直于重力方向的平面内的位移量，保障载具承载于第一承载件上的稳定性。而在需要将位于第一承载件上的载具转运离开第一承载件时，则驱动升降件自第五位置上升至第四位置，此时定位凸起脱离定位槽，解除第一承载件对载具的限定，伸缩件可以带动载具沿第二方向伸缩以转运载具。

31、在本技术的一些实施例中，工艺腔室包括支架、至少一个子腔室、门体及第四动力件，子腔室和门体均连接于支架，沿重力方向，门体设于子腔室的下侧，并用于承载载具，子腔室内具有腔体，子腔室朝向门体的一侧具有与腔体连通的第一开口，且子腔室和门体能够相对升降，以打开或封闭第一开口，第四动力件和子腔室、门体中的至少一者连接，并用于驱动子腔室和门体相互靠近或远离。

32、如此设置，在需要将载具转运至腔体内时，沿重力方向，子腔室和门体处于相对远离的位置，抓取有载具的伸缩件沿第二方向伸出至门体的上侧，然后伸缩件回缩，使门体承载载具，接着利用第四动力件驱动门体和子腔室中的至少一者沿重力方向相互靠近，以利用门体封堵第一开口，然后载具于封闭的腔体内进行工艺处理；在工艺处理后，第四动力件驱动门体和子腔室中的至少一者沿重力方向相互远离，门体打开第一开口，且门体上承载的载具离开腔室，接着利用伸缩件伸缩至载具下侧，以抓取载具，然后伸缩件回缩至第一位置，并配合传输件将载具传输至合适的位置。由于子腔室和门体沿重力方向设置，因此可以节省水平方向上的空间，且门体封闭第一开口的动作和载具进入腔体内的动作同步，门体打开第一开口的动作和载具离开腔室的动作同步，因此可以实现封闭第一开口和装入载具动作的复用，实现打开第一开口和取出载具动作的复用，提高作业效率。

33、在本技术的一些实施例中，工艺腔室还包括第一柔性连接结构和第二承载件，沿重力方向，第二承载件设于门体的下侧，并和支架连接，门体连接于第二承载件，以连接于支架，第四动力件和子腔室、第二承载件中的至少一者连接，并用于驱动子腔室和门体相互靠近或远离，第二承载件和门体之间设有第一柔性连接结构，第一柔性连接结构包括：轴承座、球型轴承、连接件和第一弹性件，轴承座与门体连接，球型轴承活动设于轴承座内，并套设于连接件上，沿重力方向，连接件滑动连接于第二承载件，第一弹性件设于轴承座和第二承载件之间。

34、如此设置，第四动力件可以驱动第二承载件和子腔室中的至少一者相互远离或靠近，以使门体打开或者关闭第一开口。由于第二承载件和门体之间连接有第一柔性连接结构，因此在门体受到来自载具的重力后，球型轴承可以相对于轴承座在一定范围内转动，也就是和球型轴承连接的连接件相对于轴承座在一定范围内倾斜，也就是门体可以相对于第二承载件在一定范围内倾斜运动，以适应门体的位姿，且在门体和子腔室的第一开口所在的平面接触密封时，可以继续施加第二承载件靠近门体的推力，此时第一弹性件会被压缩，以对门体施加一个靠近子腔室的力，以抵消门体和子腔室的第一开口所在平面未完全重合导致的偏差，保障门体和子腔室的第一开口所在平面的密封的严密性，保障腔体内密封的工艺环境。

35、在本技术的一些实施例中，工艺腔室还包括架体和多个第一均气板，沿重力方向，门体的上侧连接有架体，架体用于承载载具，且门体和载具之间设有多个间隔设置的第一均气板，第一均气板上具有多个第一通孔，多个第一通孔均布于第一均气板上，且自上至下，多个第一均气板上的第一通孔的孔径逐渐增大，且多个第一均气板上的第一通孔的密度逐渐降低。

36、如此设置，载具可以通过承载于架体上，以承载于门体上，架体的存在可以在载具和门体之间形成空间，该空间可以用于承载多个第一均气板，第一均气板上具有多个第一通孔，如此在工艺处理完毕需要排出腔体内的废气时，废气可以通过第一通孔向下流动，并自位于子腔室底部的排气口排出，在废气经过多个第一通孔时，第一通孔可以缓解废气的流动速度，以稳定第一均气板上侧的区域温度，同时保障排气的速度，满足腔体内的工艺需求，且由于自上至下，多个第一均气板实现梯度排布，多个第一均气板的区域流阻逐渐降低，最上侧的第一均气板区域流阻最大，减弱对流，以稳定上侧的区域温度，而位于最下侧的第一均气板的区域流阻最小，可以快速排出废气，通过多块第一均气板的梯度设置，更好的稳定第一均气板上侧的区域温度，同时保障排气的速度。

37、在本技术的一些实施例中，子腔室包括炉体、内胆和加热单元，炉体和内胆中的至少一者和支架连接，腔体和第一开口位于内胆，炉体套设于内胆的外侧，加热单元设于炉体和内胆之间。

38、如此设置，炉体套设于内胆的外侧，在炉体和内胆之间设有加热单元，在需要对内胆内的载具进行加热时，开启加热单元，加热单元散热的热量可以传导至内胆的内部，以实现加热，且炉体可以对热量发挥一定的隔绝效果，降低热量的溢散，保障加热效率。

39、在本技术的一些实施例中，炉体和内胆均由金属材料制成；或，内胆由金属材料制成。

40、如此设置，由于内胆由金属材料制成，因此在加热时，加热单元会首先加热内胆，使整个内胆的壁均匀分布热量，内胆的壁上的热量会辐射传导至腔体内，以此实现对腔体内的载具的加热，此种加热方式，载具受热更为均匀。另外，金属材料的炉体和内胆的成本较低，且金属材料的炉体和内胆结构便于塑形，结构强度更高，在腔体内为真空环境下，金属材料的内胆可以抵抗真空所带来的负压。

41、在本技术的一些实施例中，加热单元包括加热丝，加热绕重力方向设于内胆的周向。

42、如此设置，加热丝可以绕重力方向设于内胆的周向，加热丝可以实现内胆周向上的均匀加热，以保障载具周向上温度的均匀性，满足工艺需求。

43、在本技术的一些实施例中，加热单元的数量为多个，沿重力方向，多个加热单元依次设置。

44、如此设置，可以实现内胆沿重力方向的均匀加热，以保障载具沿重力方向上温度的均匀性，满足工艺需求。

45、在本技术的一些实施例中，炉体的内壁面具有朝向内胆的至少一个槽体，加热单元设于槽体内。

46、如此设置，在炉体的内壁面上具有槽体，加热单元设于槽体内，也就是加热单元埋设于炉体的内壁面中，那么加热单元便不会占用炉体和内胆之间的空间，可以尽可能减小炉体和内胆之间的间隙，保障加热单元的加热效率。

47、在本技术的一些实施例中，加热丝包括第一加热丝和第二加热丝，第一加热丝和第二加热丝的径向尺寸不同。

48、如此设置，加热丝包括径向尺寸不同的第一加热丝和第二加热丝，在需要将腔体快速加热至高温时，可以选用尺寸偏大的加热丝（例如第一加热丝），以满足加热需求，在需要相对缓慢精准的将腔体加热至预设温度时，可以选用尺寸偏小的加热丝（例如第二加热丝），以满足精准加热的需求。

49、在本技术的一些实施例中，内胆和支架连接，炉体活动套设于内胆的外侧；子腔室还包括调节机构，调节机构包括调节底座、第二弹性件、调节球及顶紧杆，调节底座连接于炉体，沿重力方向，调节底座内部具有延伸的调节通道，调节球滑动设于调节通道内，第二弹性件设于调节球和调节底座之间，顶紧杆穿设于调节通道内，且能够沿调节通道滑动，顶紧杆设于调节球背离门体的一侧。

50、如此设置，内胆连接于支架上，而炉体则活动套设于内胆的外侧，由于调节底座连接于炉体，沿重力方向，调节球滑动设于调节底座的调节通道内，且第二弹性件设于调节球和调节底座之间，因此炉体通过调节机构和支架之间建立的是调节球的点接触，那么在需要调节炉体和内胆之间的间隙在四周上的均匀性时，利用顶紧杆沿重力方向将调节球的部分推出调节通道，以使调节球和支架之间转变为滚动接触，如此相对于支架可以更加便于推动炉体移动，提高调节操作的便捷性，在调节完毕后，再释放顶紧杆的顶紧力，以使调节球回缩至调节通道内，使支架和炉体之间转化为面接触，保障接触的稳定性。

51、在本技术的一些实施例中，子腔室还包括多个第二均气板，多个第二均气板设于腔体内，第二均气板上具有多个第二通孔，多个第二通孔均布于第二均气板上；沿重力方向，多个第二均气板间隔设于载具的上侧，且自下至上，多个第二均气板上的第二通孔的孔径逐渐增大，且多个第二均气板上的第二通孔的密度逐渐降低。

52、如此设置，在工艺气体自上至下经过载具前，会先经过多个第二均气板，第二均气板上的多个第二通孔，可以对工艺气体进行预混和均布，以使工艺气体均匀流向载具，以保障工艺镀膜的均匀性。且自上至下，多个第二均气板实现梯度排布，多个第二均气板的区域流阻逐渐增大，最上侧的第二均气板区域流阻最小，实现初步的预混，而位于最下侧的第二均气板的区域流阻最大，可以更好的将工艺气体预混，实现工艺气体的均布，保障工艺处理效果。

53、在本技术的一些实施例中，子腔室还包括冷却管道，冷却管道设于炉体和内胆之间，冷却管道用于流通制冷剂。

54、如此设置，在炉体和内胆之间还设置有冷却管道，在需要对内胆降温时，向冷却管道通入制冷剂，制冷剂在流动的过程中，可以吸收内胆内的热量，以实现降温。

55、在本技术的一些实施例中，冷却管道的数量为多个，沿重力方向，冷却管道延伸设置，绕重力方向，多条冷却管道设于内胆的周向。

56、如此设置，可以实现内胆周向上的均匀降温，兼顾降温的效率及降温的均匀性。

57、在本技术的一些实施例中，炉体垂直于重力方向的横截面为矩形的第一环状结构，内胆垂直于重力方向的横截面为矩形的第二环状结构，内胆和炉体相匹配，载具垂直于重力方向的横截面为矩形结构，且载具和内胆内的腔体相匹配。

58、如此设置，在载具为矩形的立式载具时，将炉体和内胆均设计为四棱柱状结构，从而使内胆内的腔体和载具相适配，保障空间的利用率，且在炉体和内胆由金属材料制成时，四棱柱状的炉体和内胆依然可以保持结构强度，满足腔体内的负压环境。

59、在本技术的一些实施例中，镀膜系统还包括载具，载具包括至少一个第一子部，第一子部包括第一承载座、第一承载片和第二承载片，沿重力方向，第一承载片和第二承载片承载于第一承载座，且沿第三方向，第一承载片和第二承载片交替间隔排布，第一承载片和第二承载片相对的一侧用于承载基片，第一承载片和第二承载片绝缘设置，第一承载片和第二承载片分别用于通入不同极性的电信号；其中，第三方向与重力方向垂直。

60、如此设置，基片可以承载于第一承载片和第二承载片相对的一侧，而第一承载座可以承载第一承载片和第二承载片，由于第一承载片和第二承载片通入的电信号极性不同，因此在第一承载片和第二承载片之间可以形成电场，在电场和工艺气体的作用下，实现对基片的镀膜，由于第一承载片和第二承载片沿和重力方向垂直的第三方向交替设置，因此该立式载具沿重力方向可以承载更多的基片，提高了载具的基片装载率。

61、在本技术的一些实施例中，镀膜系统还包括载具，载具包括至少一个第二子部，第二子部包括第二承载座、第三承载片和第四承载片，沿重力方向，第三承载片或第四承载片承载于第二承载座，且第三承载片和第四承载片交替间隔排布，第三承载片和第四承载片的上表面用于承载基片，第三承载片和第四承载片绝缘设置，第三承载片和第四承载片分别用于通入不同极性的电信号。

62、如此设置，基片可以承载于第三承载片和第四承载片的上侧，而第二承载座可以承载第三承载片和第四承载片，由于第三承载片和第四承载片通入的电信号极性不同，因此在第三承载片和第四承载片之间可以形成电场，在电场和工艺气体的作用下，实现对基片的镀膜。