测试平台的制作方法

本申请涉及废气处理设备，具体而言，涉及一种测试平台，用于废气处理设备。

背景技术：

1、半导体行业的废气处理设备的市场需求量大，并且需要在满足市场需求的前提下保证废气处理设备稳定运行。废气处理设备在降成本过程中，需要对新器件进行批量测试，确保设备废气处理设备运行无问题。

2、应用于机台内部的各种元器件要经过严格测试，无问题后才能应用于设备。但测试过程水、电、气连接较为复杂，占用测试面积大，无固定测试场所。背景技术的部分的内容仅仅是公开人所知晓的技术，并不当然代表本领域的现有技术。

技术实现思路

1、本申请旨在提供一种测试平台，以解决目前的测试元件在测试过程中占用测试面积大，无固定测试场所的问题。

2、根据本申请的一方面，本申请提供了一种测试平台，测试平台用于废气处理设备，测试平台包括第一柜体、第一进水管、第一阀组、第一水箱、泵模块、第二阀组、第一出水管和控制模块。第一进水管穿过第一柜体的上表面插入第一柜体中，第一进水管的输入端与外部场务的输出端连接；第一阀组的输入端与第一进水管的输出端连接；第一水箱固定设置于第一柜体的内部的底部，第一水箱的输入端与第一阀组的输出端固定连接；泵模块包括卧式泵和立式泵。卧式泵设置于第一水箱的一侧，卧式泵的输入端与第一水箱的第一输出端连接；立式泵设置于第一水箱的上表面，立式泵的输入端与第一水箱的第二输出端连接；第二阀组包括第一子阀组和第二子阀组。第一子阀组的输入端与卧式泵的输出端连接；第二子阀组的输入端与立式泵的第一输出端连接；第一出水管从第一柜体内部延伸出第一柜体的上表面，第一出水管的输入端与第一子阀组的输出端、第二子阀组的输出端连接，第一出水管的输出端与外部场务的输入端连接；控制模块固定设置于第一柜体的内部，控制模块与第一阀组和第二阀组电连接。

3、根据本申请的一些实施例，测试平台还包括第一手阀和第二水箱。第一手阀的输入端与第二阀组的第二输出端连接；第二水箱固定设置于第一柜体的内部，第二水箱的输入端与第一手阀的输出端连接。

4、根据本申请的一些实施例，第二阀组还包括第一流量计。第一流量计的第一端与第一子阀组的输出端连接，并且，第一流量计的第一端与第二子阀组的输出端连接，第一流量计的第二端与第一出水管的输入端连接。

5、根据本申请的一些实施例，第二阀组还包括分流器、第二流量计。分流器的输入端与立式泵的第二输出端连接；第二流量计的第一端与分流器的输出端连接；测试平台还包括回水池。回水池设置于第一柜体的一侧，回水池的第一输入端与第二流量计的第二端连接，回水池的输出端与第一水箱的输入端连接。

6、根据本申请的一些实施例，测试平台还包括第二进水管、第三阀组和过水元件。第二进水管穿过第一柜体的上表面插入第一柜体中，第二进水管的输入端与外部冷却水管路的输出端连接；第三阀组的输入端与第二进水管的输出端连接；过水元件的输入端与第三阀组的输出端连接，过水元件的输出端与回水池的第二输入端连接；控制模块还与第三阀组电连接。

7、根据本申请的一些实施例，测试平台还包括进气管、调压阀、第四阀组和气动元件。进气管穿过第一柜体的上表面插入第一柜体中，进气管的输入端与外部的气体管路的输出端连接；调压阀的输入端与进气管的输出端连接；第四阀组的输入端与调压阀的输出端连接；的一端与第四阀组的输出端连接。控制模块还与调压阀、第四阀组和气动元件电连接。

8、根据本申请的一些实施例，测试平台还包括第二柜体。第二柜体设置于第一柜体的一侧，第二柜体的背板设置有安装过水元件或气动元件的安装孔，第二柜体的平板设置有容置回水池的安装口。

9、根据本申请的一些实施例，测试平台还包括承漏盘和漏液传感器。承漏盘设置于第一水箱的下表面；漏液传感器设置于承漏盘的上表面。

10、根据本申请的一些实施例，测试平台还包括浮球开关。浮球开关设置于第一水箱的内部。

11、根据本申请的一些实施例，测试平台还包括第二手阀和第三手阀。

12、第二手阀的输入端与第一进水管的输出端连接，第二手阀的输出端与第一阀组的输入端连接；第三手阀的输入端与第二阀组的第一输出端连接，第三手阀的输出端与第一出水管的输入端连接。

13、本申请的技术方案可以通过第一水箱、卧式泵和立式泵的集成，为测试循环水泵提供一个固定场所，且节省测试空间。

14、本申请的技术方案可以通过控制模块、第一阀组和第二阀组自动测试循环水泵，提高测试效率。

1.一种测试平台，其特征在于，所述测试平台用于废气处理设备，所述测试平台包括：

2.根据权利要求1所述的测试平台，其特征在于，所述测试平台还包括：

3.根据权利要求1所述的测试平台，其特征在于，所述第二阀组还包括：

4.根据权利要求3所述的测试平台，其特征在于，所述第二阀组还包括：

5.根据权利要求4所述的测试平台，其特征在于，所述测试平台还包括：

6.根据权利要求5所述的测试平台，其特征在于，所述测试平台还包括：

7.根据权利要求6所述的测试平台，其特征在于，所述测试平台还包括：

8.根据权利要求1所述的测试平台，其特征在于，所述测试平台还包括：

9.根据权利要求1所述的测试平台，其特征在于，所述测试平台还包括：

10.根据权利要求1所述的测试平台，其特征在于，所述测试平台还包括：