一种多分区独立测量的晶圆真空压力分布传感片的制作方法

本技术涉及晶圆真空压力分布传感片，尤其涉及一种多分区独立测量的晶圆真空压力分布传感片。

背景技术：

1、随着晶圆真空压力分布传感片技术的发展和时代的进步，晶圆真空压力分布传感片作为半导体制造中的重要组成部件之一，主要是通过压力敏感单元来检测真空压力分布，并且其利用受压生电特性实现高精度测量，适用于半导体制造中真空腔压力监控。

2、现有的晶圆真空压力分布传感片，其在使用过程中，传感片没有分区设置，使得人们只能够知晓压力是否正常，再进行半导体的调整工作，致使调整时间长，影响测量的工作进度。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有的晶圆真空压力分布传感片，其在使用过程中，传感片没有分区设置，使得人们只能够知晓压力是否正常，再进行半导体的调整工作，致使调整时间长，影响测量的工作进度的缺点，而提出的一种多分区独立测量的晶圆真空压力分布传感片。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种多分区独立测量的晶圆真空压力分布传感片，包括：

4、第一传感片体，所述第一传感片体的底部连接有第二传感片体，且第一传感片体包括有多组区域块，所述第一传感片体、第二传感片体的边缘均开设有预留槽。

5、优选的，所述第一传感片体的底端粘接有传感器本体。

6、优选的，所述第二传感片体的内侧开设有镶嵌槽。

7、优选的，所述第二传感片体的内侧中部开设有安装槽。

8、优选的，所述第二传感片体的内侧开设有通槽。

9、优选的，所述镶嵌槽与传感器本体的尾部之间为套设。

10、优选的，所述预留槽的内侧呈v状结构，且预留槽通过开槽与第一传感片体、第二传感片体均构成一体化结构。

11、优选的，所述通槽的中心线穿过镶嵌槽的中心。

12、综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

13、1、本实用新型中，通过对区域块、传感器本体、传感片等的设置，将晶圆真空压力分布传感片放置在晶圆放置平台（真空腔室的卡盘）上，区域块处安置的传感器本体能够传感晶圆放置平台的压力，实现分区测量的工作目的，使得人们快速知晓压力不均的位置，进而加快调整的进度，故有效的加快该晶圆真空压力分布传感片对晶圆放置平台的测量工作的进度。

1.一种多分区独立测量的晶圆真空压力分布传感片，包括：

2.根据权利要求1所述的一种多分区独立测量的晶圆真空压力分布传感片，其特征在于：所述第一传感片体（1）的底端粘接有传感器本体（3）。

3.根据权利要求1所述的一种多分区独立测量的晶圆真空压力分布传感片，其特征在于：所述第二传感片体（5）的内侧开设有镶嵌槽（6）。

4.根据权利要求1所述的一种多分区独立测量的晶圆真空压力分布传感片，其特征在于：所述第二传感片体（5）的内侧中部开设有安装槽（8）。

5.根据权利要求1所述的一种多分区独立测量的晶圆真空压力分布传感片，其特征在于：所述第二传感片体（5）的内侧开设有通槽（7）。

6.根据权利要求3所述的一种多分区独立测量的晶圆真空压力分布传感片，其特征在于：所述镶嵌槽（6）与传感器本体（3）的尾部之间为套设。

7.根据权利要求1所述的一种多分区独立测量的晶圆真空压力分布传感片，其特征在于：所述预留槽（4）的内侧呈v状结构，且预留槽（4）通过开槽与第一传感片体（1）、第二传感片体（5）均构成一体化结构。

8.根据权利要求5所述的一种多分区独立测量的晶圆真空压力分布传感片，其特征在于：所述通槽（7）的中心线穿过镶嵌槽（6）的中心。