倾斜检测装置及使用该倾斜检测装置的倾斜检测方法与流程

本公开涉及一种能够适用于光学构件的倾斜检测技术的倾斜检测装置及使用该倾斜检测装置的倾斜检测方法。

背景技术：

1、以往，提出关于具有对光的反射方向进行控制的反射镜的扫描仪装置的技术。例如，在专利文献1中公开了一种反射镜旋转角度检测装置，具有对从激光光源出射的激光的出射方向进行变更的反射镜以及接收在设置于反射镜的第一反射面及第二反射面中的第二反射面反射的反射光的受光传感器。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特许第5293686号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1的扫描仪装置中，为了检测反射镜的角度，对以与反射镜的倾斜对应的反射角度反射的光进行检测，因此反射光的角度范围大。若反射光的角度范围大，则也需要扩大接收反射光的受光传感器的检测范围。由于根据接收的光在受光传感器上移动的距离检测反射镜的旋转角度，因此若检测范围变大，则检测精度可能恶化。另外，在实现检测速度的高速化的情况下，可以考虑使用按每个纵横检测线检测受光的轮廓传感器作为受光传感器。但是，轮廓传感器在同时接收多个光的情况下，若在检测线上存在多个受光部位，则无法分离检测受光位置的坐标，存在检测精度恶化的问题。

3、本公开的目的在于提供一种倾斜检测装置及使用该倾斜检测装置的倾斜检测方法，能够大范围地测量构件的倾斜（倾斜方向、倾斜角度），并且能够确保检测精度且使检测速度高速化。

4、用于解决问题的手段

5、本公开的倾斜检测装置具有：偏转构件，被控制为绕转动中心点转动，一侧的面为功能面；多面部，在所述偏转构件的另一侧的面中，由多个反射面聚集形成；光源，向所述多面部照射光；检测部，检测被所述多面部反射的所述光；以及控制部，根据由所述检测部检测的所述光的光轴位置检测所述偏转构件的倾斜。

6、本公开的倾斜检测方法为倾斜检测装置的倾斜检测方法，所述倾斜检测装置具有：偏转构件，被控制为绕转动中心点转动，一侧的面为功能面；多面部，在所述偏转构件的另一侧的面中，由多个反射面聚集形成；光源，向所述多面部照射光；检测部，检测被所述多面部反射的所述光；以及控制部，根据由所述检测部检测的所述光的光轴位置检测所述偏转构件的倾斜；所述倾斜检测方法根据由所述检测部检测的所述光的光轴位置检测所述偏转构件的倾斜。

7、发明效果

8、本公开的倾斜检测装置及倾斜检测方法能够大范围地测量构件的倾斜（倾斜方向、倾斜角度），并且能够确保检测精度且使检测速度高速化。

1.一种倾斜检测装置，其中，具有：

2.根据权利要求1所述的倾斜检测装置，其中，所述检测部为二维图像传感器。

3.根据权利要求1所述的倾斜检测装置，其中，

4.根据权利要求3所述的倾斜检测装置，其中，所述偏转构件配置在使所述受光点在所述二维坐标中在x轴方向及y轴方向上不以直线状排列的位置。

5.一种倾斜检测方法，为倾斜检测装置的倾斜检测方法，所述倾斜检测装置具有：