一种晶圆检测设备的制作方法

本技术涉及晶圆检测领域，尤指一种晶圆检测设备。

背景技术：

1、晶圆的质量决定了成为芯片后电气性能的可靠程度。

2、检测的项目有很多种，比如，对晶圆的外观进行检测，用于检测晶圆表面是否存在有瑕疵。

3、检测外观的工艺，包含有尺寸测量、晶圆扫码、旋转晶圆等一系列动作，每一个工艺内，均对应一台设备，从整个检测外观工艺来看，要完成外观的检测至少涉及三台设备，提升效率的基本要素是增加设备量，在固定的生产空间内提升设备量，显然无法实现。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本实用新型提供一种晶圆检测设备，以集成的形式将各个功能模块收拢在同一台设备中，这种紧凑设计的方案可更为充足的优化占用空间。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种晶圆检测设备，其特征在于，包含有：在作业表面上额外设有的旋转台，和将晶圆维持在旋转台上的定位机构，同时，旋转台上方提供多维度变化的线性移动机构驱动扫码终端、图案采集单元拾取晶圆上的信息。

3、本实用新型的有益效果：

4、本实用新型为了解决上述技术问题，包含有旋转台与作业表面之间的装配关系，以及图案采集单元、扫码终端共用同一套线性移动机构，在整个布局下，单个设备里面集成了多个功能模块，以至于能够解决空间利用率低的问题，以及为生产者提供了更高生产效率的可行性。

5、进一步地，定位机构的设计兼顾人工放入和便于扫码终端、图案采集单元对晶圆的采集，定位机构包含有一对适配晶圆外周面的靠板和引导靠板靠近或者远离晶圆的导向组件，在导向组件的作用下，可以改变靠板对晶圆的包围面积，此时，可以放入不同尺寸的晶圆，协助对晶圆的定位。

6、较优的是，导向组件包含有滑台、滑座、调节旋钮、齿条，滑座上预留有安装齿条的定位槽，同时，滑台上还设有与滑座滑动装配后对齿条避让的开槽，调节旋钮的末端上设有环形分布的齿，在调节旋钮的末端从滑台的侧面穿入后，与齿条上的齿是啮合的，齿条是固定在定位槽中，此时，拧动调节旋钮会使得整个滑台活动，设置在滑台上的靠板则自然的靠近或者远离晶圆。

7、图案采集单元至少包含有两个种类，分别为电动变倍镜头和物镜，其中，物镜为高倍物镜或者是低倍物镜中的一种，在一些实施例中，同时包含有高倍物镜和低倍物镜。

8、上述的线性移动机构为现有技术，其结构就不再赘述了。

9、为了解决光线不足的问题，作业表面为玻璃材质，作业表面为机台的表面，通过在机台内设置光源，光源从底部向上方的晶圆射出光线，通过补偿亮度解决轮廓不清晰的问题。

10、当然，还考虑到光源的位置需要调整，线性移动机构包含有多个线性移动组件，部分线性移动组件位于机台内，光源通过支架设置在机台内的线性移动组件的活动端上。

1.一种晶圆检测设备，其特征在于，包含有：在作业表面上额外设有的旋转台，和将晶圆维持在旋转台上的定位机构，同时，旋转台上方提供多维度变化的线性移动机构驱动扫码终端、图案采集单元拾取晶圆上的信息。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测设备，其特征在于，定位机构包含有一对适配晶圆外周面的靠板和引导靠板靠近或者远离晶圆的导向组件。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测设备，其特征在于，导向组件包含有滑台、滑座、调节旋钮、齿条，滑座上预留有安装齿条的定位槽，同时，滑台上还设有与滑座滑动装配后对齿条避让的开槽，调节旋钮的末端上设有环形分布的齿，在调节旋钮的末端从滑台的侧面穿入后，与齿条上的齿是啮合的，齿条是固定在定位槽中。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种晶圆检测设备，其特征在于，图案采集单元至少包含有两个种类，分别为电动变倍镜头和物镜，其中，物镜为高倍物镜或者是低倍物镜中的一种。

5.根据权利要求1-3任意一项所述的一种晶圆检测设备，其特征在于，还包含有机台，作业表面为机台的表面，作业表面为玻璃材质，通过在机台内设置光源，光源从底部向上方的晶圆射出光线。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆检测设备，其特征在于，线性移动机构包含有多个线性移动组件，部分线性移动组件位于机台内，光源通过支架设置在机台内的线性移动组件的活动端上。