一种芯片AOI检测设备和芯片测试设备的制作方法

本技术涉及芯片检测，具体涉一种芯片aoi检测设备和芯片测试设备。

背景技术：

1、芯片是一种由半导体材料制成的微小电子器件，它巧妙地将晶体管、电阻器、电容器等多个电子元件及电路功能单元集成于单一芯片之上，被广泛应用于各类电子设备与系统中。然而，在芯片的生产制造、测试等过程中，会产生各种表面缺陷，如划痕、崩边、残缺等，也会出现焊接问题和元件位置偏移等状况。为快速且准确地检测芯片表面缺陷、焊接问题和元件位置偏移等，进而提高芯片的生产效率并保障产品质量，需要对芯片的六个面进行aoi检测。当前市场上，多数aoi检测设备功能较为单一，检测范围不全面，仅能检测芯片的正面、背面，无法对芯片侧边的四个面进行检测，这会导致某些特定区域或角度的缺陷可能被遗漏，从而大幅提升了缺陷漏检的风险。尽管少数aoi检测设备能够用于检测芯片正面、背面及侧边四个面，但是，这些设备仍存在显著短板。具体而言，其检测效率有待提升，且图像的清晰度与稳定性难以保证。例如，用于检测侧边四个面的相机定位精度不足，且无法迅速对焦，进而导致图像模糊不清。随着电子产品不断向小型化、智能化方向迈进，对芯片尺寸的要求也日益严苛。在此背景下，现有的aoi检测设备在检测尺寸更为微小或形状更为复杂的芯片时，其检测结果的准确性与可靠性将大打折扣。因此，需要一种新型的芯片aoi检测设备。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种芯片aoi检测设备和芯片测试设备，能够在提升检测效率的同时，确保图像的清晰度与稳定性，从而满足电子产品行业对芯片检测的更高要求。

2、为达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种芯片aoi检测设备，芯片aoi检测设备包括：

3、底面检相机组件，包括底面检相机，所述底面检相机的取像光轴竖向布置，用于获取其上方沿第一方向移动的待测芯片的背面图像；

4、第一侧面检相机组件和第二侧面检相机组件分别设置在所述第一方向的两侧；

5、所述第一侧面检相机组件包括第一侧面检相机和驱动所述第一侧面检相机沿第二方向往复移动的第一驱动组件；所述第二侧面检相机组件包括第二侧面检相机和驱动所述第二侧面检相机沿第二方向往复移动的第二驱动组件；

6、所述第一侧面检相机和所述第二侧面检相机的取像光轴水平且平行布置，并且所述第一侧面检相机和所述第二侧面检相机的取像视野相对布置；

7、所述第一侧面检相机用于获取沿所述第一方向移动的所述待测芯片的第一侧面图像；所述第二侧面检相机用于获取沿所述第一方向移动的所述待测芯片的第二侧面图像；

8、控制主机，与所述底面检相机组件、所述第一侧面检相机组件以及所述第二侧面检相机组件电连接；

9、所述控制主机能够基于获取的所述背面图像的信息，确定所述第一侧面检相机沿第二方向移动的移动量，进而实现所述第一侧面检相机与所述待测芯片的第一侧面对焦；以及确定所述第二侧面检相机沿第二方向移动的移动量，进而实现所述第二侧面检相机与所述待测芯片的第二侧面对焦。

10、进一步地，所述第一侧面检相机和所述第二侧面检相机的取像光轴共轴设置，在所述待测芯片沿所述第一方向移动至所述第一侧面检相机或所述第二侧面检相机的取像视野的状态下，所述第一侧面检相机和所述第二侧面检相机可以同步获取所述待测芯片的相应的第一侧面图像和第二侧面图像。

11、进一步地，所述第一侧面检相机和所述第二侧面检相机的取像光轴沿所述第一方向间隔布置，在所述待测芯片沿所述第一方向移动的过程中，所述待测芯片能够依次经过所述第一侧面检相机和所述第二侧面检相机，进而依次通过所述第一侧面检相机获取所述待测芯片的第一侧面图像，通过所述第二侧面检相机获取所述待测芯片的第二侧面图像。

12、进一步地，所述第一驱动组件包括可沿第二方向滑动的第一滑块，所述第一侧面检相机固定设置在所述第一滑块上；

13、所述第二驱动组件包括可沿第二方向滑动的第二滑块，所述第二侧面检相机固定设置在所述第二滑块上。

14、进一步地，还包括吸附组件，所述吸附组件包括多个沿所述第一方向依次布置的吸嘴轴，每一所述吸嘴轴的底端用于吸附一个所述待测芯片，每一所述吸嘴轴均可带动所述待测芯片绕其轴线旋转和可带动所述待测芯片沿其轴向上升降移动。

15、进一步地，还包括第一侧面相机微调组件和第二侧面相机微调组件；

16、所述第一侧面相机微调组件固定设置在所述第一滑块上，所述第一侧面相机微调组件的上端与所述第一侧面检相机相连接，驱动所述第一侧面检相机在水平面上转动，用于将所述第一侧面检相机的取像光轴调节至与第二方向平行的方向；

17、所述第二侧面相机微调组件固定设置在所述第二滑块上，所述第二侧面相机微调组件的上端与所述第二侧面检相机相连接，驱动所述第二侧面检相机在水平面上转动，用于将所述第二侧面检相机的取像光轴调节至与第二方向平行的方向。

18、进一步地，所述第一侧面相机微调组件包括第一固定件和第一驱动件，所述第一固定件的一端与所述第一侧面检相机的前端相连接，另一端与所述第一滑块固定连接，所述第一驱动件固定设置在所述第一滑块上，所述第一驱动件包括与所述第一侧面检相机相连的第一运动件，所述第一运动件用于带动所述第一侧面检相机在水平面上转动；

19、所述第二侧面相机微调组件包括第二固定件和第二驱动件，所述第二固定件的一端与所述第二侧面检相机的前端相连接，另一端与所述第二滑块固定连接，所述第二驱动件固定设置在所述第二滑块上，所述第二驱动件包括与所述第二侧面检相机相连的第二运动件，所述第二运动件用于带动所述第二侧面检相机在水平面上转动。

20、进一步地，所述芯片aoi检测设备还包括底面相机微调组件，所述底面相机微调组件与所述底面检相机组件相连接，所述底面相机微调组件驱动所述底面检相机组件沿所述第一方向移动，用于使所述底面检相机的取像光轴与所述吸嘴轴的轴线重合。

21、进一步地，所述底面相机微调组件包括连接件和第三驱动件，所述连接件呈l型，一端固定设置在第三驱动件上，另一端与所述底面检相机组件的侧面固定连接，所述第三驱动件驱动所述底面检相机组件沿所述第一方向移动。

22、本技术还提供了一种芯片测试设备，该设备包括上述芯片aoi检测设备。

23、本实用新型的有益效果在于：本技术提供的芯片aoi检测设备，通过合理布局第一侧面检相机组件、第二侧面检相机组件和底面检相机组件，能够实现对芯片多个面的快速检测，在极大地缩短单次检测周期的同时，大大提高了芯片检测的准确性和可靠性，避免了现有设备因检测范围不全面而导致的缺陷漏检问题，进而显著提升检测效率，有助于提升芯片的生产效率。

24、该芯片aoi检测设备通过驱动组件能够实现第一侧面检相机、第二侧面检相机与待测芯片的精确对焦，确保第一侧面检相机、第二侧面检相机在捕捉待测芯片的四个侧面的图像时，能够聚焦于关键检测区域，获取到清晰的图像数据，进而显著提升检测的准确性和可靠性。通过侧面相机微调组件和底面相机微调组件可以分别对第一侧面检相机、第二侧面检相机的取像光轴和底面检相机的取像光轴进行精确调节，进而能够消除因相机安装误差、机械振动等因素导致的图像模糊、畸变等问题，进一步确保拍摄到的图像清晰、稳定，为后续的缺陷分析提供了高质量的图像数据。通过第一驱动组件、第二驱动组件实现第一侧面检相机、第二侧面检相机与待测芯片的精确对焦，还能够使该芯片aoi检测设备具有极高的灵活性和便捷性，具有广泛的应用前景。当需要检测不同尺寸、形状的芯片时，尤其是在检测尺寸更为微小或形状更为复杂的芯片时，能够自动调整焦点位置，以保证检测结果的准确性与可靠性，无需进行硬件更换或复杂的参数重新设置。这不仅节省了设备调试时间和成本，还提高了生产线的适应性和生产效率，尤其适用于多品种、小批量的芯片生产模式。

25、上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施方式并配合附图详细说明如后。