八寸晶圆检测专用探针设备的制作方法

本技术涉及八寸晶圆检测领域，具体是八寸晶圆检测专用探针设备。

背景技术：

1、八寸晶圆检测是指在半导体制造过程中，对八英寸晶圆上的芯片进行电性测试、缺陷检查或参数测量的关键质量控制环节，确保芯片功能合格后再进行切割和封装，在检测过程中一般会用到探针检测装置。

2、在对八英寸晶圆进行探针检测时，需要先对晶圆进行夹持，但是一般探针检测装置上的夹持方法多为三点式夹持，但是晶圆本身厚度较薄，较为脆弱，可能会由于三点的夹持应力导致边缘崩缺，从而造成晶圆损坏。

技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足，一般探针检测装置上的夹持方法多为三点式夹持，但是晶圆本身厚度较薄，较为脆弱，可能会由于三点的夹持应力导致边缘崩缺，从而造成晶圆损坏的问题，本实用新型提出八寸晶圆检测专用探针设备。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：八寸晶圆检测专用探针设备，包括探针检测装置本体，所述探针检测装置本体包括底座，所述底座的顶部固定连接有纵向滑轨和横向滑轨，所述横向滑轨的表面活动连接有滑动支撑块，所述滑动支撑块的顶部固定连接有放置台，所述底座的顶部固定连接有安装架，所述安装架的顶部固定连接有探针检测机构，所述探针检测机构的数量为四个，所述安装架的表面固定连接有显微摄像头，所述放置台的底部设置有多爪夹持机构；

3、所述多爪夹持机构包括旋转盘，所述旋转盘顶部与放置台的底部活动连接，所述旋转盘的内腔活动连接有滑动柱，所述旋转盘的内腔与滑动支撑块的表面活动连接，所述滑动柱的数量为八个，每个所述滑动柱的顶部均固定连接有滑动杆，所述滑动杆的表面固定连接有弧形夹持板。

4、作为优选，所述旋转盘的表面开设有导向槽，所述导向槽的数量为八个，每个所述导向槽的内腔各与一个滑动柱的表面活动连接。

5、作为优选，所述放置台的表面开设有滑动槽，所述滑动槽的数量为八个，每个所述滑动槽的内腔均与一个滑动杆的表面活动连接。

6、作为优选，所述弧形夹持板的内侧固定连接有防滑条，所述防滑条为橡胶材质。

7、作为优选，所述滑动支撑块的表面固定连接有第二伞形齿轮，所述第二伞形齿轮的表面的齿牙啮合连接有第一伞形齿轮，所述第一伞形齿轮的表面活动连接有阻尼转轴，所述阻尼转轴的一端固定连接有转动块，所述阻尼转轴的表面螺纹连有固定架。

8、作为优选，所述固定架的底部固定连接有支撑架，所述支撑架的表面与滑动支撑块的表面固定连接。

9、作为优选，所述滑动支撑块的表面固定连接有限位环，所述限位环的顶部与第二伞形齿轮的表面活动连接。

10、本实用新型的有益之处在于：

11、本实用新型通过探针检测装置本体和多爪夹持机构，在探针检测装置本体对晶圆进行探针检测之前，通过多爪夹持机构的八个弧形夹持板对晶圆进行夹持固定，比传统的三爪式夹持增加了对晶圆的夹持面积，减少了夹持对晶圆产生的应力，一定程度避免了对晶圆造成损坏的情况，解决了一般探针检测装置上的夹持方法多为三点式夹持，但是晶圆本身厚度较薄，较为脆弱，可能会由于三点的夹持应力导致边缘崩缺，从而造成晶圆损坏的问题。

1.八寸晶圆检测专用探针设备，包括探针检测装置本体(1)，其特征在于：所述探针检测装置本体(1)包括底座(101)，所述底座(101)的顶部固定连接有纵向滑轨(102)和横向滑轨(103)，所述横向滑轨(103)的表面活动连接有滑动支撑块(104)，所述滑动支撑块(104)的顶部固定连接有放置台(105)，所述底座(101)的顶部固定连接有安装架(108)，所述安装架(108)的顶部固定连接有探针检测机构(107)，所述探针检测机构(107)的数量为四个，所述安装架(108)的表面固定连接有显微摄像头(106)，所述放置台(105)的底部设置有多爪夹持机构(2)；

2.根据权利要求1所述的八寸晶圆检测专用探针设备，其特征在于：所述旋转盘(201)的表面开设有导向槽(214)，所述导向槽(214)的数量为八个，每个所述导向槽(214)的内腔各与一个滑动柱(211)的表面活动连接。

3.根据权利要求1所述的八寸晶圆检测专用探针设备，其特征在于：所述放置台(105)的表面开设有滑动槽(213)，所述滑动槽(213)的数量为八个，每个所述滑动槽(213)的内腔均与一个滑动杆(210)的表面活动连接。

4.根据权利要求1所述的八寸晶圆检测专用探针设备，其特征在于：所述弧形夹持板(203)的内侧固定连接有防滑条(212)，所述防滑条(212)为橡胶材质。

5.根据权利要求1所述的八寸晶圆检测专用探针设备，其特征在于：所述滑动支撑块(104)的表面固定连接有第二伞形齿轮(209)，所述第二伞形齿轮(209)的表面的齿牙啮合连接有第一伞形齿轮(207)，所述第一伞形齿轮(207)的表面活动连接有阻尼转轴(205)，所述阻尼转轴(205)的一端固定连接有转动块(206)，所述阻尼转轴(205)的表面螺纹连有固定架(202)。

6.根据权利要求5所述的八寸晶圆检测专用探针设备，其特征在于：所述固定架(202)的底部固定连接有支撑架(204)，所述支撑架(204)的表面与滑动支撑块(104)的表面固定连接。

7.根据权利要求1所述的八寸晶圆检测专用探针设备，其特征在于：所述滑动支撑块(104)的表面固定连接有限位环(208)，所述限位环(208)的顶部与第二伞形齿轮(209)的表面活动连接。