氦检系统及其漏率校准方法与流程

本申请涉及设备标定，具体涉及一种氦检系统及其漏率校准方法。

背景技术：

1、氦检技术广泛应用于电池顶盖激光焊接后的气密性检测，标准漏率源（例如有源漏孔）作为具有已知漏率的标准源，是氦检系统校准的核心组件，其作用是确保氦检仪检测结果的准确性。

2、相关技术中，氦检系统校准通常采用直接读取法，即直接导通标准漏率源与氦检仪之间的气路，由氦检仪直接读取标准漏率源的漏率值作为校准基准。

3、然而，上述直接读取法存在以下缺陷：标准漏率源所处管路在长期运行或停机后容易积压残留气体，且氦检系统自身存在本底泄漏，将氦检仪的直接读数作为最终校准结果，导致校准后的漏率值不能真实反映标准漏率源的实际漏率状态。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种氦检系统及其漏率校准方法，旨在显著提升氦检系统漏率校准的准确度和可靠性。

2、第一方面，本申请实施例提供一种氦检系统的漏率校准方法，所述氦检系统包括标准漏率源、氦检仪、抽真空装置以及腔体；所述标准漏率源分别和所述氦检仪、所述抽真空装置以及所述腔体连接；所述腔体分别和所述氦检仪以及所述抽真空装置连接；其中，所述方法包括：控制所述标准漏率源与所述氦检仪之间的连通路径以及所述标准漏率源与所述腔体之间的连通路径断开，并同时控制所述标准漏率源与所述抽真空装置连通以及所述腔体与所述氦检仪连通，获取所述氦检仪当前测得的第一漏率值；其中，所述抽真空装置用于抽除所述标准漏率源所处管路的气体；所述第一漏率值用于表征所述氦检系统的本底漏率值；控制所述腔体分别与所述标准漏率源和所述氦检仪连通，并同时控制所述标准漏率源与所述抽真空装置之间的连通路径断开，获取所述氦检仪当前测得的第二漏率值；所述第二漏率值用于表征所述氦检系统的实际漏率值；基于所述实际漏率值和所述本底漏率值的差值，确定所述氦检系统校准后的漏率值。

3、可选地，控制所述标准漏率源与所述抽真空装置连通以及所述腔体与所述氦检仪连通的持续时长均大于第一预设时长。

4、可选地，在所述获取所述氦检仪当前测得的第一漏率值之前，所述方法还包括：控制所述标准漏率源与所述氦检仪连通，并同时控制所述标准漏率源与所述腔体之间的连通路径以及所述标准漏率源与所述抽真空装置之间的连通路径断开，获取所述氦检仪当前测得的第三漏率值；其中，所述第三漏率值用于表征所述氦检系统的基准漏率值；确定所述基准漏率值和所述标准漏率源的标称漏率值之间的差值；在所述差值的绝对值大于偏差阈值的情况下，触发报警信号并终止校准流程。

5、可选地，在所述标准漏率源与所述氦检仪连通的情况下，所述标准漏率源的气体流经所述标准漏率源所处管路，以清除所述管路中的残留气体。

6、可选地，所述标准漏率源与所述氦检仪之间设置有标定氦检阀；所述方法还包括：控制所述标定氦检阀的关闭或者打开，以断开或者连通所述标准漏率源与所述氦检仪之间的连通路径。

7、可选地，所述标准漏率源与所述抽真空装置之间设置有标漏抽空阀；所述方法还包括：控制所述标漏抽空阀的关闭或者打开，以断开或者连通所述标准漏率源与所述抽真空装置之间的连通路径。

8、可选地，所述标准漏率源与所述腔体之间设置有腔体标漏阀；所述方法还包括：控制所述腔体标漏阀的关闭或者打开，以断开或者连通所述标准漏率源与所述腔体之间的连通路径。

9、可选地，所述腔体与所述氦检仪之间设置有腔体氦检阀；所述方法还包括：控制所述腔体氦检阀的关闭或者打开，以断开或者连通所述腔体与所述氦检仪之间的连通路径。

10、可选地，控制所述标准漏率源与所述氦检仪连通的持续时长大于第二预设时长。

11、另一方面，本申请实施例还提供一种氦检系统，包括：控制器、标准漏率源、氦检仪、抽真空装置以及腔体；所述标准漏率源分别和所述氦检仪、所述抽真空装置以及所述腔体连接；所述腔体分别和所述氦检仪以及所述抽真空装置连接；其中，所述控制器被配置为：控制所述标准漏率源与所述氦检仪之间的连通路径以及所述标准漏率源与所述腔体之间的连通路径断开，并同时控制所述标准漏率源与所述抽真空装置连通以及所述腔体与所述氦检仪连通，获取所述氦检仪当前测得的第一漏率值；其中，所述抽真空装置用于抽除所述标准漏率源所处管路的气体；所述第一漏率值用于表征所述氦检系统的本底漏率值；

12、控制所述腔体分别与所述标准漏率源和所述氦检仪连通，并同时控制所述标准漏率源与所述抽真空装置之间的连通路径断开，获取所述氦检仪当前测得的第二漏率值；所述第二漏率值用于表征所述氦检系统的实际漏率值；

13、基于所述实际漏率值和所述本底漏率值的差值，确定所述氦检系统校准后的漏率值。

14、本申请中，在测量氦检系统的本底漏率值时，同步将标准漏率源与氦检仪及腔体断开并使其与抽真空装置连通，从而在对标准漏率源管路进行抽真空以清除残留气体的同时，通过腔体与氦检仪的连通获取系统本底漏率值；在此基础上，再控制腔体分别与标准漏率源和氦检仪连通并断开抽真空装置，获取消除了残留干扰的实际漏率值，并最终通过二者差值确定校准后的漏率值；该校准方法不仅能够有效避免标准漏率源管路中残留气体对校准测量的污染，还能将系统本底泄漏从实际测量值中准确剔除，使得校准后的漏率值真实反映标准漏率源的实际漏率状态，显著提升了氦检系统漏率校准的准确度和可靠性。

1.一种氦检系统的漏率校准方法，其特征在于，所述氦检系统包括标准漏率源、氦检仪、抽真空装置以及腔体；所述标准漏率源分别和所述氦检仪、所述抽真空装置以及所述腔体连接；所述腔体分别和所述氦检仪以及所述抽真空装置连接；其中，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，控制所述标准漏率源与所述抽真空装置连通以及所述腔体与所述氦检仪连通的持续时长均大于第一预设时长。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述获取所述氦检仪当前测得的第一漏率值之前，所述方法还包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述标准漏率源与所述氦检仪连通的情况下，所述标准漏率源的气体流经所述标准漏率源所处管路，以清除所述管路中的残留气体。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述标准漏率源与所述氦检仪之间设置有标定氦检阀；所述方法还包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述标准漏率源与所述抽真空装置之间设置有标漏抽空阀；所述方法还包括：

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述标准漏率源与所述腔体之间设置有腔体标漏阀；所述方法还包括：

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述腔体与所述氦检仪之间设置有腔体氦检阀；所述方法还包括：

9.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，控制所述标准漏率源与所述氦检仪连通的持续时长大于第二预设时长。

10.一种氦检系统，其特征在于，包括：控制器、标准漏率源、氦检仪、抽真空装置以及腔体；所述标准漏率源分别和所述氦检仪、所述抽真空装置以及所述腔体连接；所述腔体分别和所述氦检仪以及所述抽真空装置连接；其中，所述控制器被配置为：