一种高精度自动化平面度整形检测设备结构的制作方法

本发明涉及平面检测，尤其涉及一种高精度自动化平面度整形检测设备结构。

背景技术：

1、平面度是板材、精密盖板、半导体载板、金属冲压件、光学基准件等精密零部件核心形位公差指标，直接决定产品装配精度、密封性能、光学成像效果与整机使用寿命，现阶段精密五金、新能源、半导体、光学元器件制造产线均需对批量工件开展全域平面度检测，需要用到平面度整形检测设备结构进行检测；

2、现有技术中的平面度整形检测设备结构，通过单丝杠驱动结构仅依靠单根丝杆带动工件载台平移，丝杆单侧受力，运行中易产生径向跳动、轴向窜动，设备受地面震动、电机启停冲击时，载台会发生无规则漂移，工件扫描路径偏离检测仪镜头中心，平面度图像采集存在畸变，微米级高精度检测数据重复性差；通过多轴同步传动方案多采用普通直齿轮传动，齿轮啮合间隙大、传动重合度低，高速往复运动时存在传动滞后、转速差，左右进给不同步，载台受力偏斜，长期批量检测后定位误差持续累积，无法满足半导体载板、光学基准件等高精密工件全域平面度检测需求；丝杠螺纹同向布置，运行振动会持续向载台输出单向轴向推力，无受力抵消结构，停机、断电后工件放置平台易受外力、振动发生滑移，工件位置偏移，需频繁人工重新对位，产线自动化连续性差。因此，亟需要提供一种高精度自动化平面度整形检测设备结构。

技术实现思路

1、基于背景技术的技术问题，本发明提出了一种高精度自动化平面度整形检测设备结构。

2、本发明提出的一种高精度自动化平面度整形检测设备结构，包括：底部板，底部板的顶部固定设置有安装检测设备的拐角板；垂直板，垂直板固定设置于底部板的顶部；伺服电机，伺服电机固定设置于垂直板的顶部；驱动机构，驱动机构设置于底部板的顶部；驱动机构包括：右端框和左端框，右端框和左端框固定设置于底部板的顶部；轴承一和轴承二，两个轴承一和两个轴承二分别贯穿固定于右端框的两侧；转动轴和细转杆，转动轴和细转杆分别贯穿设置于轴承一和轴承二的中间；粗转杆，粗转杆的两端分别固定设置于转动轴和细转杆的端部；蜗轮盘，蜗轮盘固定嵌套于粗转杆的外表面；两端台，其中两个两端台固定设置于细转杆的端部；驱动杆，驱动杆的两端分别固定设置于两个两端台的端部；顶部块，至少两个顶部块固定设置于右端框的内壁；轴承四，至少两个轴承四分别固定设置于至少两个顶部块的底部；横向杆，横向杆贯穿设置于至少两个轴承四的中间；正蜗杆和反蜗杆，正蜗杆和反蜗杆一体化成型固定设置于横向杆的外表面。

3、优选的，所述驱动机构还包括：右端杆，右端杆的一端固定设置于另外两个两端台的端部；右细杆，右细杆的一端固定设置于右端杆的另一端；轴承三，轴承三贯穿设置于左端框中；斜齿轮，四个斜齿轮分别嵌套固定于右端杆和粗转杆的外表面；移动块，至少一个移动块螺纹嵌入于两个驱动杆的外表面；横向板，横向板固定设置于至少一个移动块的顶部。

4、优选的，所述驱动机构还包括：加固板，四个加固板分别固定设置于横向板的两侧；放置罩，放置罩的底部固定设置于四个加固板和横向板的顶部；双轴孔，双轴孔开口设置于移动块的中间；正螺纹，正螺纹一体化成型设置于移动块的双轴孔内壁；反螺纹，反螺纹一体化成型设置于移动块的双轴孔内壁；丝杠槽，丝杠槽开口设置于驱动杆的外表面。

5、优选的，所述伺服电机的动力输出端上同轴固定有转动杆，转动杆的一端同轴固定在横向杆的端部，拐角板的侧面与底部板的顶部固定设置有三角板。

6、优选的，所述拐角板的顶部固定设置有至少一个固定套，至少一个固定套的中间贯穿固定有检测仪，检测仪的顶部可拆卸设置有顶部盖，检测仪的底部设置有镜头。

7、优选的，所述正蜗杆与蜗轮盘保持啮合，反蜗杆与蜗轮盘保持啮合，两个粗转杆外表面的斜齿轮保持啮合，两个右端杆外表面的斜齿轮保持啮合。

8、优选的，所述右细杆贯穿设置在轴承三的中间，横向杆的轴向和粗转杆的轴向保持垂直，其中两个两端台活动贯穿在左端框的侧面，两个驱动杆保持平行，转动轴的轴向、粗转杆的轴向、细转杆的轴向、右端杆的轴向、右细杆的轴向和驱动杆的轴向同轴设置。

9、优选的，所述正螺纹的螺旋方向与反螺纹的螺旋方向相反，两个驱动杆表面丝杠槽的螺旋方向相反，其中一个驱动杆表面的丝杠槽与正螺纹相配适，另外一个驱动杆表面的丝杠槽与反螺纹相配适。

10、优选的，所述斜齿轮的轴向和粗转杆的轴向同轴设置，斜齿轮位于轴承一和轴承二的中间，细转杆的直径与右细杆的直径保持一致，粗转杆的直径与右端杆的直径保持一致，细转杆的直径小于右端杆的直径。

11、优选的，所述加固板和横向板保持垂直，放置罩的边缘垂直向上形成凸缘，检测仪位于两个驱动杆上方，横向杆贯穿设置在右端框中，两端台呈圆台状，四个两端台分别固定设置在两个驱动杆的两端。

12、本发明中的有益效果为：通过两根螺旋旋向相反的平行驱动杆，搭配移动块内部正反双螺纹啮合结构，伺服电机驱动两根驱动杆同步反向旋转时，会向移动块输出大小相等、轴向相反的推力，通过两股反向推力相互抵消，具有抗振动能力强的优点；横向杆一体化成型正、反蜗杆，分别与两侧粗转杆上的蜗轮盘啮合形成两组独立蜗轮蜗杆传动副，依托蜗轮蜗杆单向传动、逆止自锁的固有机械特性，设备停机、断电或遭遇外力碰撞时，可自动锁止整套轴系，杜绝驱动杆自主空转，放置罩工件载台不会受振动、外力发生滑移；左右轴系配套四组斜齿轮两两成对啮合，斜齿传动重合度远高于传统直齿轮，可大幅减小齿轮啮合间隙，弱化高速往复运动的传动冲击、滞后与转速差；强制两侧粗转杆、右端杆同步反向运转，保证两根驱动杆转速、转角、进给位移完全一致，规避双丝杠不同步带来的载台受力偏斜问题，从传动源头抑制定位误差累积，适配高精度连续往复扫描检测工况。

1.一种高精度自动化平面度整形检测设备结构，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的一种高精度自动化平面度整形检测设备结构，其特征在于，所述驱动机构还包括：

3.根据权利要求2所述的一种高精度自动化平面度整形检测设备结构，其特征在于，所述驱动机构还包括：

4.根据权利要求3所述的一种高精度自动化平面度整形检测设备结构，其特征在于，所述伺服电机（5）的动力输出端上同轴固定有转动杆（6），转动杆（6）的一端同轴固定在横向杆（216）的端部，拐角板（3）的侧面与底部板（1）的顶部固定设置有三角板（31）。

5.根据权利要求4所述的一种高精度自动化平面度整形检测设备结构，其特征在于，所述拐角板（3）的顶部固定设置有至少一个固定套（32），至少一个固定套（32）的中间贯穿固定有检测仪（33），检测仪（33）的顶部可拆卸设置有顶部盖（34），检测仪（33）的底部设置有镜头（35）。

6.根据权利要求5所述的一种高精度自动化平面度整形检测设备结构，其特征在于，所述正蜗杆（217）与蜗轮盘（25）保持啮合，反蜗杆（218）与蜗轮盘（25）保持啮合，两个粗转杆（26）外表面的斜齿轮（213）保持啮合，两个右端杆（210）外表面的斜齿轮（213）保持啮合。

7.根据权利要求6所述的一种高精度自动化平面度整形检测设备结构，其特征在于，所述右细杆（211）贯穿设置在轴承三（212）的中间，横向杆（216）的轴向和粗转杆（26）的轴向保持垂直，其中两个两端台（28）活动贯穿在左端框（21）的侧面，两个驱动杆（29）保持平行，转动轴（24）的轴向、粗转杆（26）的轴向、细转杆（27）的轴向、右端杆（210）的轴向、右细杆（211）的轴向和驱动杆（29）的轴向同轴设置。

8.根据权利要求7所述的一种高精度自动化平面度整形检测设备结构，其特征在于，所述正螺纹（225）的螺旋方向与反螺纹（226）的螺旋方向相反，两个驱动杆（29）表面丝杠槽（219）的螺旋方向相反，其中一个驱动杆（29）表面的丝杠槽（219）与正螺纹（225）相配适，另外一个驱动杆（29）表面的丝杠槽（219）与反螺纹（226）相配适。

9.根据权利要求8所述的一种高精度自动化平面度整形检测设备结构，其特征在于，所述斜齿轮（213）的轴向和粗转杆（26）的轴向同轴设置，斜齿轮（213）位于轴承一（22）和轴承二（23）的中间，细转杆（27）的直径与右细杆（211）的直径保持一致，粗转杆（26）的直径与右端杆（210）的直径保持一致，细转杆（27）的直径小于右端杆（210）的直径。

10.根据权利要求9所述的一种高精度自动化平面度整形检测设备结构，其特征在于，所述加固板（222）和横向板（221）保持垂直，放置罩（223）的边缘垂直向上形成凸缘，检测仪（33）位于两个驱动杆（29）上方，横向杆（216）贯穿设置在右端框（2）中，两端台（28）呈圆台状，四个两端台（28）分别固定设置在两个驱动杆（29）的两端。