气缸测试装置的制作方法

本技术涉及机械手测试设备，具体而言，涉及一种气缸测试装置。

背景技术：

1、目前，现有的气缸测试装置多为针对单一性能指标的专用设备，为实现多项测试功能，通常需要将多个独立设备组合使用。然而，上述组合方式中，各设备结构松散并分别布置，整体占用空间大，导致难以在空间有限的半导体设备维护现场或实验室台面进行灵活部署。

技术实现思路

1、本技术的目的在于针对背景技术中所涉及的至少一个技术问题，提供一种气缸测试装置。

2、为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：

3、本技术提供一种气缸测试装置，包括基板，以及均安装于所述基板的第一壳体、第二壳体、固定座、流量调节阀和流量传感器，

4、所述第二壳体、所述流量调节阀和所述流量传感器均设置在第一壳体的内侧，所述固定座位于所述第二壳体的内侧，

5、所述流量调节阀的一端用于连通待测气缸的颗粒抽排接口，所述流量调节阀的另一端与所述流量传感器连通，

6、所述固定座用于安装待测气缸；

7、所述第一壳体上设置有第一接口和第二接口，所述第一接口用于连接负压气源，所述第二接口用于连接正压气源，所述第一壳体上还设置有通信接口和供电接口；

8、所述第二壳体上开设有用于连接颗粒检测仪的检测接口。

9、可选地，本技术所提供的气缸测试装置还包括均设置于所述第一壳体内的压力传感器和电磁阀，所述压力传感器的一端用于连通待测气缸的cda进气口，所述压力传感器的另一端与所述电磁阀连通，所述电磁阀用于控制正压气体通入待测气缸。

10、该技术方案的有益效果在于：这样，在基板及第一壳体限定的空间内将压力监测与正压控制功能集成于同一装置，有利于减少外部管路的分立连接，在保持整体结构紧凑性的同时实现对气缸正压供气的压力检测与通断控制。

11、可选地，本技术所提供的气缸测试装置还包括均设置于所述第一壳体上的负压数字压力开关和正压数字压力开关，所述负压数字压力开关与所述第一接口连接，所述正压数字压力开关与所述第二接口连接。

12、该技术方案的有益效果在于：这种布局使操作人员可在壳体同一侧完成对负压与正压供给的压力监视及通断调节，无需分别在多台设备上操作；同时，两个数字压力开关与壳体上对应的第一接口及第二接口的直接连接方式，减少了外部管路在壳体表面的分散走线，有利于维持整体布局的紧凑性。

13、可选地，本技术所提供的气缸测试装置还包括设置于所述第一壳体内的接头固定板，所述接头固定板固定于所述基板上，所述流量调节阀固定于所述接头固定板上。

14、该技术方案的有益效果在于：这样，接头固定板作为中间安装载体，使流量调节阀在壳体内的安装位置更加稳固，且可根据管路走向预先确定接头固定板的安装位置，进而有利于缩短流量调节阀与待测气缸颗粒抽排接口之间的管路长度，减少管路在壳体内的弯曲和绕行，进而提升壳体内有限空间的利用效率。

15、可选地，本技术所提供的气缸测试装置还包括设置于所述第二壳体内的气缸测试工装，所述气缸测试工装固定于所述固定座上，所述气缸测试工装上固定有多个检测块，各所述检测块用于检测待测气缸的无版缩回状态、有版伸出状态和无版伸出状态。

16、该技术方案的有益效果在于：这样，将用于判别无版缩回状态、有版伸出状态和无版伸出状态的检测元件全部集成于第二壳体所围合的测试空间内，使三种工作状态的检测功能在单一封闭壳体内完成，无需在多台设备之间转移待测气缸或重新装夹，有利于在有限空间内完成对气缸多种工作状态的集中检测。

17、可选地，本技术所提供的气缸测试装置还包括均设置于所述第一壳体内的电气导轨，以及均安装于所述电气导轨的电源开关、端子台、io模块和控制器，所述电源开关与所述供电接口电连接，所述端子台与所述电源开关电连接并用于提供直流供电分配，所述控制器分别与所述通信接口及所述io模块电连接。

18、该技术方案的有益效果在于：这样，使供电控制、信号采集及逻辑控制等电气元件在基板上的安装位置相对集中，减少了各电气元件之间连接线缆的分散走线长度，有利于在基板有限面积内实现电气部分的规整排布，为第一壳体内部其他功能部件的安装预留更多空间。

19、可选地，本技术所提供的气缸测试装置还包括设置于所述第一壳体内的板卡，所述板卡固定于所述基板上，所述板卡分别与所述io模块及待测气缸的传感器电连接，用于中转待测气缸的传感器信号。

20、该技术方案的有益效果在于：这样，板卡设置于第一壳体内部并固定于基板，板卡分别与io模块及待测气缸的传感器电连接，用于中转待测气缸的传感器信号，进而使传感器信号的中转功能集成于第一壳体内部，传感器信号线缆可先汇聚至板卡后再统一接入io模块，有利于减少传感器信号线缆在壳体内的分散走线长度，使壳体内的线缆布局更加规整，为其他功能部件在基板上的安装留出更多空间。

21、可选地，所述通信接口为网口转接头，所述供电接口为重载连接器。

22、该技术方案的有益效果在于：这样，网口转接头用于连接外部通信线缆，重载连接器用于连接外部供电线缆，进而使外部通信线缆和供电线缆分别通过单一接口接入壳体，无需在壳体上设置多个分散的通信端口或供电端口，有利于减少壳体表面的开口数量，使外部线缆的插拔操作相对集中，便于在空间受限的现场环境中完成外部连接。

23、可选地，所述第二壳体包括前立板、后立板、左立板、右立板和盖板，所述前立板、所述后立板、所述左立板和所述右立板分别固定于所述基板上并围合形成测试空间，所述盖板盖合于所述前立板、所述后立板、所述左立板和所述右立板的上端。

24、该技术方案的有益效果在于：这样，使待测气缸的测试区域与气流调节及流量检测区域在空间上相互分离，测试空间内仅容纳待测气缸及检测块，有利于减小测试空间的体积，使基板在测试空间外侧留出用于安装流量调节阀及流量传感器的区域，提高基板整体面积的利用效率。

25、可选地，所述第一壳体上还设置有第三接口，所述第三接口用于连接外部颗粒检测仪，所述检测接口开设于所述盖板上。

26、该技术方案的有益效果在于：这样，将颗粒检测仪的外接端口设置于第一壳体表面，同时将检测接口设置于盖板，使外部颗粒检测仪可通过第一壳体上的第三接口接入并经由盖板上的检测接口对测试空间内待测气缸进行颗粒采样，外部管路无需经过第二壳体侧壁进入测试空间，有利于减少测试空间内部及第二壳体侧壁的管路走线。

27、本技术提供的技术方案可以达到以下至少一个有益效果：

28、本技术所提供的气缸测试装置，采用集成化布局使得在有限基板面积内容纳多项功能部件，整体占用空间小，各接口集中布置于壳体，减少了外部管路及线缆的分散连接需求，进而使本技术所提供的气缸测试装置具有在空间受限的半导体设备维护现场或实验室台面上灵活部署的优势；同时，流量调节阀与流量传感器构成颗粒抽排通道，配合第二壳体上的检测接口，使颗粒抽排流量调节、流量监测及颗粒采样功能在同一装置上实现，有利于简化测试流程。

29、本技术的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本技术的具体实践可以了解到。