双联往复运动泵的制作方法

本发明涉及一种双联往复运动泵。

背景技术：

1、以往，已知一种双联往复运动泵，其通过与连接轴相连的波纹管等可动区隔部件，将一对封闭空间划分为泵室与工作室，并通过向一对工作室中交替导入工作流体，使连接轴进行往复运动，从而使泵室交替地进行压缩及扩张。

2、在该双联往复运动泵中，在连接轴的往复的移动冲程的端部，一对吸入阀及一对排出阀分别从一泵室侧向另一泵室侧进行切换。其结果是，在排出流量中产生了与冲程数相对应的脉动。这样的脉动，例如在半导体、液晶、太阳能电池、医药、食品等制造处理领域中，会带来各种不良影响。所以，降低脉动成为亟需改善的重要技术问题。

3、为了解决上述问题，已知一种双联往复运动泵，其在通过切换阀机构并由控制器驱动一对可动区隔部件时，以一个泵室的压缩步骤与另一泵室的压缩步骤具有部分重叠的重叠距离的方式，对用重叠距离相比于可动区隔部件的全冲程长度的比例来表示的重叠率进行控制，从而实现脉动的降低（参照专利文献1）。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特许第5315550号公报

技术实现思路

1、发明要解决的技术问题

2、然而，在上述专利文献1所公开的双联往复运动泵中，利用两个位移传感器连续地检测一对可动区隔部件的位移，并基于它们的输出来设定最合适的重叠率来谋求脉动降低，所以重叠率的计算及设定等格外复杂且需要很精细的控制。所以，存在未曾设想过例如削减传感器的数量、以更简单的结构进行简便的控制来谋求脉动降低的技术问题。

3、本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够以简单的结构进行简便的控制并实现脉动降低的双联往复运动泵。

4、解决技术问题的方法

5、本发明所涉及的双联往复运动泵，包括：壳体部件，在其内部沿轴向形成有一对空间；一对可动隔板部件，其以沿轴向可变形或可移动的方式分别配置于所述一对空间内，并将所述一对空间分别沿轴向划分为泵室及工作室；连接轴，其通过伸缩部件以沿轴向可伸缩的方式连接所述一对可动隔板部件；吸入阀，其设置于所述泵室的吸入侧，将移送流体导入所述泵室；排出阀，其设置于所述泵室的排出侧，从所述泵室排出所述移送流体；阀机构，其用于向所述工作室导入工作流体并从所述工作室排出所述工作流体；位移传感器，其检测所述连接轴的所述伸缩部件进行了收缩；接近传感器，其分别检测所述一对可动隔板部件到达了移动冲程的端部；以及控制器，其基于所述位移传感器及所述接近传感器的输出，通过切换所述阀机构来驱动所述一对可动隔板部件。所述控制器，基于以所述输出为基础并表示所述位移传感器及所述接近传感器的检测的有无、检测和时间差的判断信息，判断一个泵室与另一个泵室的压缩步骤部分地重叠的重叠期间，并根据判断结果以使所述判断信息发生变化的方式驱动所述一对可动隔板部件。

6、在本发明的一实施方式中，所述控制器：基于所述判断信息，在所述一对可动隔板部件的变形或移动的每个冲程中判断所述重叠期间，并且驱动所述一对可动隔板部件，以使所述判断信息表示所述位移传感器及所述接近传感器的检测为同时发生。

7、在本发明的另一实施方式中，所述控制器：当所述判断信息表示所述接近传感器的检测先于所述位移传感器的检测发生、或者虽有所述接近传感器的检测但没有所述位移传感器的检测时，判断为所述重叠期间的开始较迟，并以每个冲程中所述一对可动隔板部件的变形或移动的开始时刻的时间差减少固定时间的方式驱动所述一对可动隔板部件，直到所述接近传感器及所述位移传感器的检测同时发生为止。

8、在本发明的又一实施方式中，所述控制器：当所述判断信息表示所述位移传感器的检测先于所述接近传感器的检测发生、或者虽有所述位移传感器的检测但没有所述接近传感器的检测时，判断为所述重叠期间的开始较早，并以每个冲程中所述一对可动隔板部件的变形或移动的开始时刻的时间差增加固定时间的方式驱动所述一对可动隔板部件，直到所述位移传感器及所述接近传感器的检测同时发生为止。

9、在本发明的又一实施方式中，所述位移传感器配置在所述连接轴的隔着所述伸缩部件的一侧轴部上，并通过检测配置在隔着所述伸缩部件的另一侧轴部上的被检测部件，来检测所述伸缩部件的收缩。所述伸缩部件优选为线圈弹簧。

10、在本发明的又一实施方式中，所述阀机构包括：一对阀，其分别设置于一对所述工作室；以及一对调压器，其调节来自工作流体供应源的工作流体的压力并向所述一对阀分别供应所述工作流体。

11、本发明所涉及的另一双联往复运动泵，包括：泵头；有底圆筒状的一对波纹管，以彼此的开口侧互相面对的方式附设于所述泵头的两侧并在内部分别形成泵室，并且分别能够沿轴向伸缩；有底圆筒状的一对气缸，以分别将所述一对波纹管收纳于其内部的方式相对于一对波纹管同轴地进行配置，并与所述一对波纹管之间形成工作室，以其开口部互相面对的方式安装在所述泵头上；一对泵轴，分别沿所述气缸的中心轴以气密且可滑动的方式贯穿所述一对气缸的底部，各自的一端分别与所述一对波纹管的各底部相连；连结轴，其通过伸缩部件沿轴向以可伸缩的方式将所述一对泵轴的另一端彼此相连；阀单元，其在所述泵室内安装于所述泵头，从输送流体的吸入口将所述移送流体导入所述泵室并且将所述移送流体从所述泵室向输送流体的排出口排出；阀机构，其用于向所述工作室导入工作流体并从所述工作室排出所述工作流体；位移传感器，其检测所述连接轴的所述伸缩部件发生了收缩；接近传感器，其分别检测所述一对波纹管到达了收缩端；以及控制器，其基于所述位移传感器及所述接近传感器的输出，通过切换所述阀机构来驱动所述一对波纹管。所述控制器，基于以所述输出为基础并表示所述位移传感器及所述接近传感器的检测的有无、顺序和时间差的判断信息，判断一个泵室与另一个泵室的压缩步骤部分地重叠的重叠期间，并根据判断结果以使所述判断信息发生变化的方式驱动所述一对波纹管。

12、在本发明的一实施方式中，所述控制器：基于所述判断信息，在所述一对波纹管的伸缩的每个冲程中判断所述重叠期间，并驱动所述一对波纹管，以使所述判断信息表示所述位移传感器及所述接近传感器的检测为同时发生。

13、在本发明的另一实施方式中，所述控制器：当所述判断信息表示所述接近传感器的检测先于所述位移传感器的检测发生、或者虽有所述接近传感器的检测但没有所述位移传感器的检测时，判断为所述重叠期间的开始较迟，并以每个冲程中所述一对波纹管的收缩的开始时刻的时间差减少固定时间的方式驱动所述一对波纹管，直到所述接近传感器及所述位移传感器的检测同时发生为止。

14、在本发明的又一实施方式中，所述控制器：当所述判断信息表示所述位移传感器的检测先于所述接近传感器的检测发生，或者虽有所述位移传感器的检测但没有所述接近传感器的检测时，判断为所述重叠期间的开始较早，并以每个冲程中所述一对波纹管的收缩的开始时刻的时间差增加固定时间的方式驱动所述一对波纹管，直到所述位移传感器及所述接近传感器的检测同时发生为止。

15、发明的效果

16、根据本发明，能够以简单的结构进行简便的控制并实现脉动降低。