一种蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置的制作方法

本技术涉及蓝宝石，具体为一种蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置。

背景技术：

1、蓝宝石纳米图形化衬底（pss）是通过在蓝宝石衬底表面制造纳米级微结构图案，优化氮化镓（gan）外延生长质量与led光提取效率的半导体材料，其核心在于利用干法刻蚀技术形成特定图形，减少外延缺陷并提升器件性能‌。

2、对此，中国申请专利号：cn220195868u，公开了一种蓝宝石晶片表面清洗装置，包括浸泡箱，所述浸泡箱外表面固定有四个支撑柱，且浸泡箱底部一侧开设有排出管，所述浸泡箱内部设有存放组件，所述浸泡箱顶部设有顶板，通过气缸带动中心柱和存放组件升降移动，进而实现对存放组件内部的蓝宝石进行先清洗再冲洗，通过转动螺杆，螺杆推动连板和各自放置框内部的挤压板移动，对内部的蓝宝石进行挤压固定，保持清洗和冲洗时蓝宝石的稳定性，相对于现有技术，通过将蓝宝石放入第一放置框、第二放置框和第三放置框内部，并通过挤压板夹持固定，可以同时容纳较多的蓝宝石清洗，并且可以保持对蓝宝石的固定效果，调节方便，有效地提高蓝宝石清洗的效率。

3、然而，现有的蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置，由于蓝宝石纳米图形化衬底需要进行清洁工作，而现有装置无法对清洁液进行过滤后进行循环使用，进而增加了工作成本。

4、因此，为了解决上述问题，提出一种蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置，以解决上述背景技术中提到的现有技术中的蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置，由于蓝宝石纳米图形化衬底需要进行清洁工作，而现有装置无法对清洁液进行过滤后进行循环使用，进而增加了工作成本的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置，包括：支撑腿和工作台，所述支撑腿上端设有工作台，所述工作台上设有孔洞板，且在工作台上设有放置盘，所述工作台上设有清洁机构，所述清洁机构内设有存储箱，所述存储箱内设有过滤块，且在存储箱一侧设有循环泵，所述循环泵输出端设有连接管，所述连接管一端设有输送管，所述输送管一侧设有支撑板，所述支撑板上设有支架，所述支架上设有喷头本体，且在工作台上设有定位机构，所述定位机构内设有l型板，所述l型板上设有伸缩柱，采用定位机构可对蓝宝石进行定位工作，在通过清洁盘可对蓝宝石进行清洁，在通过清洁机构可对清洁液进行循环使用。

3、优选的，所述伸缩柱伸缩端固定安装有横臂，所述横臂上固定安装有伺服电机，采用伸缩柱可根据需要带动清洁盘进行高度调整。

4、优选的，所述伺服电机输出端通过联轴器固定安装有传动杆，所述传动杆一端固定安装有清洁盘，采用伺服电机可带动传动杆进行转动，在通过传动杆带动清洁盘进行工作。

5、优选的，所述工作台两侧设有液压杆，所述液压杆固定安装在支撑板上，且液压杆输出端固定安装有定位环，采用液压杆可带动定位环进行蓝宝石进行定位工作。

6、优选的，所述存储箱固定安装在工作台底端，所述过滤块固定安装在存储箱内，所述循环泵通过螺栓固定安装在工作台上，且循环泵通过吸管与过滤块固定连接，采用存储箱对清洁液进行存放，在通过过滤块进行过滤工作。

7、优选的，所述连接管一端可拆卸安装在循环泵上，所述输送管一端与连接管固定连接，所述支撑板固定安装在工作台上，采用连接管将清洁液输送至连接管内，需要对存储箱进行清理时可通过工作台上的孔洞板进行拆卸从而对存储箱内进行清洗工作。

8、优选的，所述支架底端通过螺栓固定安装在支撑板上，所述喷头本体固定安装在支架上，且输送管另一端与喷头本体固定连接，采用支撑板可对支架进行支撑固定工作。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、1.通过设置有定位机构可对蓝宝石纳米图形化衬底进行定位，相对于现有结构，本实用采用液压杆、定位夹环、伸缩柱、横臂、伺服电机、传动杆、清洁盘等结构可对蓝宝石纳米图形化衬底进行夹持，在通过伺服电机通过传动杆带动清洁盘对蓝宝石纳米图形化衬底表面进行清洁，进而提高装置工作效率。

11、2.通过设置有清洁机构可根据需要对清洁液进行循环利用，相对于现有结构，本实用采用存储箱、过滤块、循环泵、连接管、输送管、支架、喷头本体等结构可利用过滤块对存储箱内的液体进行过滤在通过循环泵进行输送，此结构简单有效，进而降低装置使用成本。

1.一种蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置，包括：支撑腿（1）和工作台（2），所述支撑腿（1）上端设有工作台（2），所述工作台（2）上设有孔洞板（21），且在工作台（2）上设有放置盘（22）；

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置，其特征在于：所述伸缩柱（32）伸缩端固定安装有横臂（33），所述横臂（33）上固定安装有伺服电机（34）。

3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置，其特征在于：所述伺服电机（34）输出端通过联轴器固定安装有传动杆（35），所述传动杆（35）一端固定安装有清洁盘（36）。

4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置，其特征在于：所述工作台（2）两侧设有液压杆（37），所述液压杆（37）固定安装在支撑板（46）上，且液压杆（37）输出端固定安装有定位环（38）。

5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置，其特征在于：所述存储箱（41）固定安装在工作台（2）底端，所述过滤块（42）固定安装在存储箱（41）内，所述循环泵（43）通过螺栓固定安装在工作台（2）上，且循环泵（43）通过吸管与过滤块（42）固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置，其特征在于：所述连接管（44）一端可拆卸安装在循环泵（43）上，所述输送管（45）一端与连接管（44）固定连接，所述支撑板（46）固定安装在工作台（2）上。

7.根据权利要求1所述的一种蓝宝石纳米图形化衬底表面清洁装置，其特征在于：所述支架（47）底端通过螺栓固定安装在支撑板（46）上，所述喷头本体（48）固定安装在支架（47）上，且输送管（45）另一端与喷头本体（48）固定连接。