紧凑型晶圆线性搬运机构的制作方法

本技术涉及一种紧凑型晶圆线性搬运机构。

背景技术：

1、目前，常见的晶圆搬运手段大致可以分为两类：晶圆搬运机械手和直线搬运模组。前者功能较为全面，常规拥有3～4个运动轴，可实现xzθ方向的高速运动，因此售价长期居高不下。后者直线搬运机构为丝杠或同步带线性模组，由于头尾支撑单元、滑块、传动机构、动力源等不可或缺机构的存在，使得整套模组在长度方向远大于所需行程。例如：行程为400mm的搬运模组，其总体长度约为600mm。若安装取料的吸附组件，再算上取放料时需伸入料盒内部的距离，整体所需的安装空间会进一步加大，缺点是空间占用较大，很难应用于结构紧凑的设备。

2、有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的紧凑型晶圆线性搬运机构，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种紧凑型晶圆线性搬运机构。

2、为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

3、紧凑型晶圆线性搬运机构，包括旋转平台，所述旋转平台的底部连接有旋转电机，所述旋转平台的上端连接有第一旋转臂，所述第一旋转臂内一端连接有与旋转电机驱动连接的第一旋转关节组件，所述第一旋转臂内另一端连接有第二旋转关节组件，所述第二旋转关节组件与第一旋转关节组件通过同步带第一同步带同步连接，所述第一旋转臂上安装有通过第二旋转关节组件带动旋转的第二旋转臂，与第二旋转关节组件相对的所述第二旋转臂内连接有第三旋转关节组件，所述第三旋转关节组件与第二旋转关节组件通过第二同步带同步连接，所述第二旋转臂上安装有通过第三旋转关节组件带动旋转的真空吸附手指。

4、优选地，所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，所述第一旋转臂内连接有用于张紧第一同步带的第一张紧组件，所述第二旋转臂内连接有用于张紧第二同步带的第二张紧组件。

5、优选地，所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，所述第一张紧组件和第二张紧组件为相同的结构，

6、所述第二张紧组件包括相同结构的左张紧件和右张紧件，所述左张紧件包括张紧架，所述张紧架的两侧端部连接均通过转轴连接有张紧轮，所述张紧架上开设有调节固定孔，所述调节固定孔通过固定螺栓将张紧架连接在对应的旋转臂内。

7、优选地，所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，所述第二旋转关节组件包括固定轴架，所述固定轴架连接在第一旋转臂内，所述固定轴架上连接有轴承座，所述轴承座内连接有交叉滚珠轴承，所述交叉滚珠轴承内穿接有转轴，所述固定轴加上连接有竖直的固定轴，所述固定轴穿接在转轴上，所述转轴的下端连接有下同步轮，所述转轴通过与转轴同步连接的连接盘与第二旋转臂相连，所述转轴和固定轴的上端伸入第二旋转臂内，且转轴的上端连接有上同步轮(。

8、优选地，所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，所述旋转平台上连接有感应器所述第一旋转臂的底部连接有与感应器感应配合的感应片。

9、优选地，所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，所述感应器至少设两个，它们分设在旋转平台不同的位置处且均与感应片相感应配合。

10、优选地，所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，所述真空吸附手指通过手指延长臂与第三旋转关节组件相连。

11、优选地，所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，所述第一旋转关节组件包括第一同步轮和旋转连接座，所述旋转电机的驱动轴上连接有与其同步旋转的旋转连接座，所述旋转连接座上连接有与其同步旋转的第一旋转臂，所述旋转电机的驱动轴上端伸入第一旋转臂内并与第一同步轮相连，所述第一同步轮通过第一同步带与下同步轮相同步连接。

12、优选地，所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，所述第三旋转关节组件包括轴承固定轴，所述轴承固定轴连接在第二旋转臂上，所述轴承固定轴上通过轴承连接有第二同步轮，所述第二同步轮通过第二同步带与上同步轮相同步连接，所述第二同步轮通过轴承外压板与真空吸附手指相连。

13、借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

14、本实用新型采用类机械手机构，用同步带和同步轮作为动力传输部件，实现单方向的线性移动。同时，在不同的关节处使用多个直径不同的同步轮，精准控制减速比，达到手指始终做直线运动的目的。该结构相较于丝杠或同步带线性模组，长度方向所需的安装空间约减少25％，为狭窄空间内的使用提供了解决方案。

15、上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

1.紧凑型晶圆线性搬运机构，其特征在于：包括旋转平台（1），所述旋转平台（1）的底部连接有旋转电机（2），所述旋转平台（1）的上端连接有第一旋转臂（3），所述第一旋转臂（3）内一端连接有与旋转电机（2）驱动连接的第一旋转关节组件（7），所述第一旋转臂（3）内另一端连接有第二旋转关节组件（8），所述第二旋转关节组件（8）与第一旋转关节组件（7）通过同步带第一同步带（12）同步连接，所述第一旋转臂（3）上安装有通过第二旋转关节组件（8）带动旋转的第二旋转臂（4），与第二旋转关节组件（8）相对的所述第二旋转臂（4）内连接有第三旋转关节组件（10），所述第三旋转关节组件（10）与第二旋转关节组件（8）通过第二同步带（11）同步连接，所述第二旋转臂（4）上安装有通过第三旋转关节组件（10）带动旋转的真空吸附手指（6）。

2.根据权利要求1所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，其特征在于：所述第一旋转臂（3）内连接有用于张紧第一同步带的第一张紧组件（13），所述第二旋转臂（4）内连接有用于张紧第二同步带的第二张紧组件（9）。

3.根据权利要求2所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，其特征在于：所述第一张紧组件（13）和第二张紧组件（9）为相同的结构，

4.根据权利要求1所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，其特征在于：所述第二旋转关节组件（8）包括固定轴架（81），所述固定轴架（81）连接在第一旋转臂内，所述固定轴架（81）上连接有轴承座（82），所述轴承座（82）内连接有交叉滚珠轴承（83），所述交叉滚珠轴承（83）内穿接有转轴（84），所述固定轴架（81）上连接有竖直的固定轴（85），所述固定轴（85）穿接在转轴上，所述转轴（84）的下端连接有下同步轮（86），所述转轴（84）通过与转轴同步连接的连接盘与第二旋转臂（4）相连，所述转轴和固定轴的上端伸入第二旋转臂内，且转轴的上端连接有上同步轮（87）。

5.根据权利要求1所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，其特征在于：所述旋转平台（1）上连接有感应器（14）所述第一旋转臂（3）的底部连接有与感应器（14）感应配合的感应片（15）。

6.根据权利要求5所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，其特征在于：所述感应器（14）至少设两个，它们分设在旋转平台不同的位置处且均与感应片相感应配合。

7.根据权利要求1所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，其特征在于：所述真空吸附手指（6）通过手指延长臂与第三旋转关节组件（10）相连。

8.根据权利要求1所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，其特征在于：所述第一旋转关节组件（7）包括第一同步轮（701）和旋转连接座（702），所述旋转电机（2）的驱动轴上连接有与其同步旋转的旋转连接座（702），所述旋转连接座（702）上连接有与其同步旋转的第一旋转臂（3），所述旋转电机的驱动轴上端伸入第一旋转臂内并与第一同步轮（701）相连，所述第一同步轮通过第一同步带与下同步轮相同步连接。

9.根据权利要求1所述的紧凑型晶圆线性搬运机构，其特征在于：所述第三旋转关节组件（10）包括轴承固定轴（101），所述轴承固定轴（101）连接在第二旋转臂上，所述轴承固定轴（101）上通过轴承连接有第二同步轮（102），所述第二同步轮（102）通过第二同步带与上同步轮相同步连接，所述第二同步轮（102）通过轴承外压板（103）与真空吸附手指（6）相连。