一种声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器的制作方法

本技术涉及声表面波谐振器，尤其涉及一种声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器。

背景技术：

1、声表面波谐振器是一种利用机械振动进行工作的频率控制器件，原理在于利用具有压电效应的晶体材料，在其表面上制作由金属电极构成的叉指换能器以及反射栅，当电信号施加到叉指换能器时，通过逆压电效应，电能被转换为特定频率的声表面波，该波沿晶体表面传播并被两端的反射栅反射、约束，从而在腔内形成稳定的驻波谐振，谐振频率处的阻抗最小，而在反谐振频率处的阻抗最大。根据声表面波谐振器的该特性，通过电路拓扑能够形成声表面波滤波器。

2、现有技术中，声表面滤波器在通信系统中对陡峭度有着高要求，以能够有效抑制带通频段外的频率，实现抑制邻频干扰，进而满足频谱规范。

3、然而，现有的声表面波谐振器结构，存在陡峭度不足的问题，使得形成的声表面波滤波器难以满足高选择性滤波的需求。因此，如何提高声表面波谐振器的陡峭度，是亟需解决的问题。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器，用以解决现有技术中声表面波谐振器的陡峭度不足的缺陷。

2、本实用新型提供一种声表面波谐振器，包括：

3、压电层；

4、叉指换能器，设置在所述压电层上，所述叉指换能器包括多个叉指电极；

5、第一反射栅和第二反射栅，均设置于所述压电层上，所述叉指换能器位于所述第一反射栅与所述第二反射栅之间；

6、介质层，包括第一介质部以及第二介质部，所述第一介质部覆盖于所述叉指换能器靠近所述第一反射栅的至少一根所述叉指电极，所述第二介质部覆盖于所述叉指换能器靠近所述第二反射栅的至少一根所述叉指电极。

7、根据本实用新型提供的一种声表面波谐振器，所述第一介质部与所述第二介质部以所述叉指换能器的中心线为对称轴对称设置。

8、根据本实用新型提供的一种声表面波谐振器，所述第一介质部覆盖的所述叉指电极的数量与所述第二介质部覆盖的所述叉指电极的数量相等。

9、根据本实用新型提供的一种声表面波谐振器，所述介质层为聚酰亚胺层或者氮化硅层。

10、根据本实用新型提供的一种声表面波谐振器，所述第一介质部覆盖的所述叉指电极的数量大于或等于4根，所述第二介质部覆盖的所述叉指电极的数量大于或等于4根。

11、根据本实用新型提供的一种声表面波谐振器，还包括衬底，所述衬底包括高声速支撑层以及低声速层，所述低声速层设置于所述高声速支撑层上，所述压电层设置于所述低声速层上。

12、根据本实用新型提供的一种声表面波谐振器，所述衬底还包括高声速层，所述高声速层设置于所述低声速层与所述高声速支撑层之间。

13、根据本实用新型提供的一种声表面波谐振器，所述衬底包括高声速支撑层、至少两个低声速层以及至少一个高声速层，所述低声速层与所述高声速层以最上方为所述低声速层交错层叠形成层叠组，所述层叠组设置于所述高声速支撑层上，所述压电层设置于所述层叠组上。

14、根据本实用新型提供的一种声表面波滤波器，包括至少一个上述的一种声表面波谐振器。

15、本实用新型还提供一种双工器，包括发射滤波组件以及接收滤波组件，所述发射滤波组件包括至少一个上述的一种声表面波谐振器，和/或，所述接收滤波组件包括至少一个上述的一种声表面波谐振器。

16、本实用新型提供的一种声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器，至少具备有益效果：通过在叉指换能器靠近第一反射栅和第二反射栅的区域，分别覆盖介质层的第一介质部和第二介质部，引入介质层的结构，会使得叉指换能器产生的电场会在第一介质部、第二介质部的区域，部分泄露至介质层，进而使得叉指换能器与压电层之间的机电耦合系数降低。以此，通过设置有介质层的结构，形成覆盖在叉指换能器靠近第一反射栅与第二反射栅的叉指电极上的第一介质部与第二介质部，以降低机电耦合系数，由于机电耦合系数降低会使得谐振频率与反谐振频率之间的频率间隔相应减小，进而能够达到提高陡峭度的效果，有利于提高声表面波谐振器的性能，同时有利于形成声表面波滤波器时，满足高选择性滤波的需求。

1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振器，其特征在于，所述第一介质部（410）与所述第二介质部（420）以所述叉指换能器（200）的中心线为对称轴对称设置。

3.根据权利要求2所述的一种声表面波谐振器，其特征在于，所述第一介质部（410）覆盖的所述叉指电极（210）的数量与所述第二介质部（420）覆盖的所述叉指电极（210）的数量相等。

4.根据权利要求1至3任一项所述的一种声表面波谐振器，其特征在于，所述介质层（400）为聚酰亚胺层或者氮化硅层。

5.根据权利要求4所述的一种声表面波谐振器，其特征在于，所述第一介质部（410）覆盖的所述叉指电极（210）的数量大于或等于4根，所述第二介质部（420）覆盖的所述叉指电极（210）的数量大于或等于4根。

6.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振器，其特征在于，还包括衬底（500），所述衬底（500）包括高声速支撑层（510）以及低声速层（520），所述低声速层（520）设置于所述高声速支撑层（510）上，所述压电层（100）设置于所述低声速层（520）上。

7.根据权利要求6所述的一种声表面波谐振器，其特征在于，所述衬底（500）还包括高声速层（530），所述高声速层（530）设置于所述低声速层（520）与所述高声速支撑层（510）之间。

8.根据权利要求1所述的一种声表面波谐振器，其特征在于，还包括衬底（500），所述衬底（500）包括高声速支撑层（510）、至少两个低声速层（520）以及至少一个高声速层（530），所述低声速层（520）与所述高声速层（530）以最上方为所述低声速层（520）交错层叠形成层叠组（501），所述层叠组（501）设置于所述高声速支撑层（510）上，所述压电层（100）设置于所述层叠组（501）上。

9.一种声表面波滤波器，其特征在于，包括至少一个如权利要求1至8任一项所述的一种声表面波谐振器。

10.一种双工器，其特征在于，包括发射滤波组件（600）以及接收滤波组件（700），所述发射滤波组件（600）包括至少一个如权利要求1至8任一项所述的一种声表面波谐振器，和/或，所述接收滤波组件（700）包括至少一个如权利要求1至8任一项所述的一种声表面波谐振器。