一种声表面波四工器的制作方法

本发明涉及射频滤波，尤其涉及一种声表面波四工器。

背景技术：

1、随着第五代移动通信（5g）及下一代通信技术的商用推进，终端设备、物联网射频模块需要同时支持多频段、多模信号的收发，对射频前端器件的小型化、低损耗、高集成度提出了更高要求。然而，现有技术中的射频前端器件的尺寸和插入损耗较大。

技术实现思路

1、本发明提供了一种声表面波四工器，以降低声表面波四工器尺寸和插入损耗。

2、根据本发明的一方面，提供了一种声表面波四工器，其特征在于，包括：

3、三个第一滤波支路和一个第二滤波支路；

4、三个所述第一滤波支路和一个所述第二滤波支路共用一个输入端；

5、所述第一滤波支路包括第一叉指换能器和压电层，所述第一叉指换能器设置在压电层的第一表面上；

6、所述第一叉指换能器包括第一电极指、第二电极指、第一汇流条、第二汇流条、第一假指电极和第二假指电极；

7、所述第一电极指与所述第二电极指沿声波传播方向交替排列，所述第一汇流条和第二汇流条沿电极指延伸方向相对设置；

8、所述第一电极指和所述第一假指电极与所述第一汇流条连接，所述第二电极指和所述第二假指电极与所述第二汇流条连接；

9、所述第一假指电极与所述第二电极指沿第二电极指延伸方向相对设置，所述第二假指电极与所述第一电极指沿第一电极指延伸方向相对设置；

10、所述第二滤波支路包括第二叉指换能器和压电层，所述第二叉指换能器设置在压电层的第一表面上；

11、所述第二叉指换能器包括第三电极指、第四电极指、第三汇流条和第四汇流条；

12、所述第三电极指与所述第四电极指沿声波传播方向交替排列，所述第三汇流条和第四汇流条沿电极指延伸方向相对设置；

13、所述第三电极指与所述第三汇流条连接，所述第四电极指与所述第四汇流条连接；

14、所述压电层的厚度与所述第二叉指换能器传播的声表面波的波长的比值小于或等于第一预设值；所述第一预设值小于或等于24%。

15、可选的，三个第一叉指换能器传播的声表面波的波长分别为第一波长、第二波长和第三波长，第二叉指换能器传播的声表面波的波长为第四波长；

16、所述第一波长小于所述第二波长，所述第二波长小于所述第三波长，所述第三波长小于所述第四波长。

17、可选的，所述第一滤波支路还包括声波束缚层、俘获材料层和支承基板，所述第二滤波支路还包括第二声波束缚层、第二俘获材料层和第二支承基板；

18、所述俘获材料层设置在所述支承基板的第一表面上，所述声波束缚层设置在所述俘获材料层远离所述支承基板一侧的表面上，所述压电层设置在所述声波束缚层远离所述支承基板一侧的表面上，所述第一叉指换能器设置在所述压电层远离所述支承基板的一侧，所述第二叉指换能器设置在所述压电层远离所述支承基板的一侧。

19、可选的，三个所述第一滤波支路和一个所述第二滤波支路共用一个所述压电层。

20、可选的，所述压电层的欧拉角为（0°，140°，0°）。

21、可选的，所述压电层的材料为钽酸锂，所述声波束缚层的材料为氧化硅，所述支承基板的材料为硅，所述俘获材料层的材料为多晶硅。

22、可选的，所述第一滤波支路还包括第一反射器，所述第二滤波支路还包括第二反射器；

23、所述第一反射器沿声表面波传播方向设置在所述第一叉指换能器的两侧，所述第二反射器沿声表面波传播方向设置在所述第二叉指换能器的两侧。

24、可选的，三个第一滤波支路的工作频段分别为第一工作频段、第二工作频段和第三工作频段，第二滤波支路的工作频段为第四工作频段；

25、所述第一工作频段大于所述第二工作频段，所述第二工作频段大于所述第三工作频段，所述第三工作频段大于所述第四工作频段。

26、本发明实施例的声表面波四工器包括三个第一滤波支路和第二滤波支路，三个第一滤波支路和第二滤波支路共用一个输入端；第一滤波支路包括第一叉指换能器和压电层，第一叉指换能器包括第一电极指、第二电极指、第一汇流条、第二汇流条、第一假指电极和第二假指电极；第一电极指和第一假指电极与第一汇流条连接，第二电极指和第二假指电极与第二汇流条连接；第一假指电极与第二电极指沿第二电极指延伸方向相对设置，第二假指电极与第一电极指沿第一电极指延伸方向相对设置；第二滤波支路包括第二叉指换能器和压电层，第二叉指换能器包括第三电极指、第四电极指、第三汇流条和第四汇流条，通过设置第一滤波支路中的第一叉指换能器包括第一假指电极可以防止声波泄露，提高声表面波四工器的性能。通过设置声表面波四工器包括不具备假指电极的第二滤波支路，压电层的厚度与第二滤波支路的声表面波的波长的比值小于或等于第一预设值；第一预设值小于或等于24%，可以降低声表面波四工器的插入损耗。

27、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

1.一种声表面波四工器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的声表面波四工器，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的声表面波四工器，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的声表面波四工器，其特征在于：

5.根据权利要求3所述的声表面波四工器，其特征在于：

6.根据权利要求3所述的声表面波四工器，其特征在于：

7.根据权利要求1所述的声表面波四工器，其特征在于，还包括：

8.根据权利要求1所述的声表面波四工器，其特征在于：