一种均流板结构及包括其的BC电池硅片扩散装置的制作方法

本技术属于电池磷扩散工艺，涉及一种均流板结构及包括其的bc电池硅片扩散装置。

背景技术：

1、bc电池因背面电极全接触设计，对磷扩散工艺的均匀性要求极高。传统扩散炉炉口处因气流紊乱、掺杂源分布不均，易导致硅片边缘与中心区域方阻差异显著，影响电池电学性能。

2、现有技术中，均流板多采用均匀分布的固定孔径结构，但未针对bc电池硅片尺寸（如210mm大尺寸）及炉口气流特性进行优化，导致大尺寸硅片边缘扩散不足或中心过扩散问题突出。

3、因此，亟需设计一种均流板结构，克服现有技术缺陷，以满足实际应用需求。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种均流板结构及包括其的bc电池硅片扩散装置，尤其涉及一种适配bc电池磷扩散工艺的炉口均流板结构及扩散装置。在本实用新型中，通过对均流板的结构的具体设计，在均流板本体上划分了边缘区和中心区，并区分设置气孔，改善了炉口区域磷源分布的均匀性，提升硅片方阻的一致性，可根据炉体大小进行气孔的分布调节，适应性强，结构简单，适合工业化推广应用。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、第一方面，本实用新型提供了一种均流板结构，所述均流板结构包括均流板本体，所述均流板本体的一侧表面划分为中心区，以及所述中心区周向的边缘区；所述边缘区上均布有喇叭形气孔，所述喇叭形气孔的直径沿进气方向逐渐增大；所述中心区上均布有直筒形气孔。

4、优选地，所述中心区和所述边缘区的交界处设置有挡板。

5、优选地，所述挡板包括至少一个第一挡板，以及至少一个第二挡板，所述第二挡板可滑动地套设于所述第一挡板内。

6、优选地，所述挡板电性连接有电机，所述电机用于控制挡板的伸缩长度和开合角度。

7、优选地，所述挡板为氮化硅陶瓷挡板或玻璃挡板。

8、优选地，所述挡板的厚度为40μm~60μm，例如40μm、45μm、50μm、55μm、60μm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

9、优选地，所述边缘区的宽度与所述均流板本体的宽度的比例为1:(5~6)，例如1:5、1:52、1:54、1:56、1:58、1:6等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

10、优选地，所述喇叭形气孔包括小直径端和大直径端，所述小直径端朝向进气方向设置。

11、优选地，所述小直径端的直径为4mm~6mm，例如4mm、4.5mm、5mm、5.5mm、6mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

12、优选地，所述大直径端的直径为8mm~12mm，例如8mm、8.5mm、9mm、9.5mm、10mm、10.5mm、11mm、11.5mm、12mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

13、优选地，相邻所述喇叭形气孔的中心之间的距离为1mm~3mm，例如1mm、1.5mm、2mm、2.5mm、3mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

14、优选地，所述喇叭形气孔在所述边缘区的分布密度为200孔/平方米~250孔/平方米。

15、优选地，所述直筒形气孔的直径为4mm~6mm，例如4mm、4.5mm、5mm、5.5mm、6mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

16、优选地，相邻所述直筒形气孔的中心之间的距离为0.5mm~2mm，例如0.5mm、1mm、1.5mm、2mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

17、优选地，所述直筒形气孔在所述中心区的分布密度为300孔/平方米~350孔/平方米。

18、优选地，所述均流板本体背向进气方向的一侧表面均布有若干个导流槽，若干个所述导流槽平行设置。

19、优选地，相邻所述导流槽之间的距离为8mm~12mm，例如8mm、8.5mm、9mm、9.5mm、10mm、10.5mm、11mm、11.5mm、12mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

20、优选地，所述导流槽的宽度为0.4mm~0.6mm，例如0.4mm、0.45mm、0.5mm、0.55mm、0.6mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

21、优选地，所述导流槽的深度为0.15mm~0.25mm，例如0.15mm、0.2mm、0.25mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

22、优选地，所述均流板本体为石英板。

23、优选地，所述均流板本体的厚度大于等于400μm，例如400μm、450μm、500μm、550μm、600μm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

24、优选地，所述均流板本体的长度为300mm~600mm，例如300mm、350mm、400mm、450mm、500mm、550mm、600mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

25、优选地，所述均流板本体的宽度为300mm~600mm，例如300mm、350mm、400mm、450mm、500mm、550mm、600mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

26、优选地，所述均流板本体的透光率大于等于95%，例如95%、95.5%、96%、97%、98%、98.5%、99%等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

27、第二方面，本实用新型提供了一种bc电池硅片扩散装置，所述bc电池硅片扩散装置包括炉体，以及设置在所述炉体内部的至少一个均流板结构；均流板结构采用第一方面所述的均流板结构。

28、优选地，所述均流板结构靠近所述炉体的炉口内壁处设置，所述喇叭形气孔的小直径端朝向所述炉口设置。

29、优选地，所述均流板本体的一侧边缘相对设置有定位凸台，所述定位凸台用于与炉口内部卡槽卡接。

30、优选地，所述均流板本体距离所述炉口的最大线性距离为15mm~20mm，例如15mm、156mm、17mm、18mm、19mm、20mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

31、优选地，所述炉口处设置有热电偶和压差传感器。

32、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本实用新型的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本实用新型的范围。本实用新型的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

33、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

34、在本实用新型中，通过对均流板的结构的具体设计，在均流板本体上划分了边缘区和中心区，并区分设置气孔，改善了炉口区域磷源分布的均匀性，提升硅片方阻的一致性，可根据炉体大小进行气孔的分布调节，适应性强，结构简单，适合工业化推广应用。