静电卡盘组件的制作方法

本公开的实施方式的方面涉及静电卡盘组件和包括静电卡盘组件的沉积装置。

背景技术：

1、向用户提供图像的电子设备（诸如智能电话、数码相机、笔记本计算机、导航系统和智能电视）包括显示设备。显示设备生成图像并且通过显示屏向用户提供所生成的图像。诸如液晶显示（lcd）面板和有机发光二极管（oled）显示面板的各种显示面板已经被开发用于显示设备中。

2、在这些显示面板之中，oled显示面板包括自发射发光二极管。每个发光二极管包括阳极、阴极和发射层。发射层包括有机材料。可以使用沉积工艺以在显示面板上形成发射层。

3、沉积工艺可以包括在显示面板的衬底和沉积源之间定位掩模，并且从沉积源提供有机材料以及通过掩模将有机材料沉积到衬底上。如果衬底或掩模下垂，则可能在衬底和掩模之间形成阴影区域，导致有机材料与目标位置未对准的沉积缺陷。静电卡盘是通过使用静电力来减少或最小化衬底的下垂的设备。

技术实现思路

1、本公开的实施方式提供了自动控制静电卡盘的平整度的静电卡盘组件和包括静电卡盘组件的沉积装置。

2、在本公开的一个实施方式中，静电卡盘组件包括静电卡盘、加强框架和致动器。静电卡盘具有配置成附接衬底的第一表面和与第一表面相对的第二表面。加强框架具有上表面部分和连接部分，其中，上表面部分与静电卡盘的第二表面间隔开并且面对静电卡盘的第二表面，连接部分将上表面部分与静电卡盘连接。致动器联接到静电卡盘和上表面部分，并且配置成根据电力供应在静电卡盘上沿第三方向产生推力或拉力，第三方向与平行于静电卡盘的第二表面的第一方向和第二方向相交。

3、根据本公开的一个实施方式，连接部分可以在第一方向或第二方向上联接到静电卡盘的相对的端。

4、根据本公开的一个实施方式，上表面部分可以具有面对静电卡盘的第三表面和与第三表面相对的第四表面。连接部分可以通过紧固件以能够分离的方式联接到上表面部分，紧固件通过穿透上表面部分的第四表面和第三表面来联接到连接部分。

5、根据本公开的一个实施方式，对致动器中的每个的电力供应可以独立地控制。

6、根据本公开的一个实施方式，致动器中的每个可以包括压电致动器，该压电致动器具有能够根据电力供应而调节的长度。

7、根据本公开的一个实施方式，致动器可以包括第一致动器和第二致动器。第一致动器可以沿着静电卡盘的第二表面的外围区域布置成环形形状，并且第二致动器可以布置在第二表面的由外围区域限定的中央区域中。

8、根据本公开的一个实施方式，致动器可以布置成具有至少三行和三列的矩阵。

9、根据本公开的一个实施方式，第二表面可以具有在第一方向上延伸的第一侧和在与第一方向相交的第二方向上延伸的第二侧。第二致动器中的每个可以沿着第一方向布置在来自第一致动器之中的一对第一致动器之间，并且沿着第二方向布置在来自第一致动器之中的另一对第一致动器之间。

10、根据本公开的一个实施方式，致动器可以经由永久电磁体和磁性构件以能够分离的方式联接到静电卡盘。永久电磁体可以联接到致动器的端，并且磁性构件可以联接到静电卡盘，并且通过由永久电磁体中的每个提供的磁力以能够分离的方式联接到永久电磁体。

11、根据本公开的一个实施方式，永久电磁体中的每个可以在每次供应电力时切换到磁接通状态或磁断开状态，并且可以在电力供应中断之后保持磁接通状态或磁断开状态。

12、根据本公开的一个实施方式，静电卡盘组件还可以包括第一磁屏蔽帽和第二磁屏蔽帽。第一磁屏蔽帽可以绕着永久电磁体中的每个延伸，同时暴露永久电磁体中的每个的第一附接表面。第二磁屏蔽帽可以绕着磁性构件中的每个延伸，同时暴露磁性构件中的每个的第二附接表面。永久电磁体中的每个的第一附接表面和磁性构件中的每个的第二附接表面可以彼此面对以通过磁力彼此粘附。

13、根据本公开的一个实施方式，静电卡盘组件还可以包括磁体板。磁体板可以配置成在静电卡盘和上表面部分之间竖直地移动。磁体板可以包括板部分和磁体。板部分可以具有面对静电卡盘的第五表面和与第五表面相对的第六表面。磁体可以各自联接到板部分的第五表面。

14、根据本公开的一个实施方式，板部分可以具有容纳致动器的通孔，并且通孔可以布置成在平面图中不与磁体重叠。

15、根据本公开的另一个实施方式，静电卡盘组件可以包括静电卡盘、加强框架和平整度控制结构。静电卡盘具有衬底附接到其的第一表面和与第一表面相对的第二表面。加强框架具有上表面部分和连接部分，其中，上表面部分与静电卡盘的第二表面间隔开并且面对静电卡盘的第二表面，连接部分将上表面部分与静电卡盘连接。平整度控制结构联接到静电卡盘和上表面部分，并且配置成在静电卡盘上沿第三方向产生推力或拉力，第三方向与静电卡盘的第二表面垂直。平整度控制结构经由永久电磁体和磁性构件以能够分离的方式联接到静电卡盘。永久电磁体分别联接到平整度控制结构的端。磁性构件各自联接到静电卡盘，并且通过由永久电磁体中的每个提供的磁力以能够分离的方式联接到永久电磁体。

16、根据本公开的一个实施方式，上表面部分可以具有面对静电卡盘的第三表面和与第三表面相对的第四表面。连接部分可以通过紧固件以能够分离的方式联接到上表面部分，紧固件通过延伸穿过上表面部分的第四表面和第三表面而联接到连接部分。

17、根据本公开的一个实施方式，静电卡盘组件还可以包括第一磁屏蔽帽和第二磁屏蔽帽。第一磁屏蔽帽可以绕着永久电磁体中的每个延伸，同时暴露永久电磁体中的每个的第一附接表面。第二磁屏蔽帽可以绕着磁性构件中的每个延伸，同时暴露磁性构件中的每个的第二附接表面。永久电磁体中的每个的第一附接表面和磁性构件中的每个的第二附接表面可以彼此面对以通过磁力彼此粘附。

18、根据本公开的另一个实施方式，沉积装置可以包括真空室、沉积源、静电卡盘组件和掩模架。沉积源布置在真空室中并且配置成将沉积材料供应到真空室中。静电卡盘组件在沉积源上方，并且衬底附接到静电卡盘组件。掩模架支承在沉积源和衬底之间的掩模的两端。静电卡盘组件包括静电卡盘、加强框架和致动器。静电卡盘具有衬底附接到其的第一表面和与第一表面相对的第二表面。加强框架具有上表面部分和连接部分，其中，上表面部分与静电卡盘的第二表面间隔开并且面对静电卡盘的第二表面，连接部分将上表面部分与静电卡盘连接。致动器联接到静电卡盘和上表面部分，并且配置成根据电力供应在静电卡盘上沿第三方向产生推力或拉力，第三方向与平行于静电卡盘的第二表面的第一方向和第二方向相交。

19、根据本公开的一个实施方式，静电卡盘可以在平面图中与一对掩模架中的每个的至少一部分重叠。

20、根据本公开的一个实施方式，沉积装置还可以包括传感器和控制器。传感器可以配置成测量与致动器中的每个对应的在第三方向上介于静电卡盘和上表面部分之间的距离。控制器可以配置成通过基于来自传感器的测量值单独地控制对致动器中的每个的电力供应来自动地调节静电卡盘的平整度。

21、根据本公开的一个实施方式，致动器可以包括第一致动器和第二致动器。第一致动器可以沿着静电卡盘的第二表面的外围区域布置成环形形状，并且第二致动器可以布置在第二表面的由外围区域限定的中央区域中。第二致动器对静电卡盘的第二区域的提升距离可以大于第一致动器对静电卡盘的第一区域的提升距离。

22、根据本公开的实施方式，静电卡盘的平整度可以通过单独地控制对致动器中的每个的电力供应来自动调节。

23、此外，可以减轻或避免由于受限的工作空间在大面积的静电卡盘的中央区域中执行平整度调节操作时的困难。