一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台的制作方法

本发明涉及半导体显示面板产品精密检测，具体涉及一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台。

背景技术：

1、在半导体显示行业的量产加工环节中，玻璃基板是 mini led、oled 等新型显示产品的核心载体，气浮平台是玻璃基板传输与检测工序中的核心装备；其通过气浮无接触支撑的方式，避免超薄玻璃基板在传输过程中出现表面划伤、受力变形的问题；同时为玻璃基板的尺寸量测、外观缺陷检测提供稳定的定位基准与传输路径；直接决定了显示产品的加工良率与产线的量产效率；广泛适配于各类大尺寸、超薄规格玻璃基板的连续化生产场景。

2、现有技术中的气浮平台，在实际量产应用中，气浮支撑区域多为固定结构，仅能适配单一规格的玻璃基板，针对不同尺寸的玻璃基板进行产线换型时，需人工调整气浮结构与传输部件，操作烦琐且易产生安装偏差，同时无法根据基板尺寸调整气浮区域，易出现基板边缘气膜支撑不均、基板飘移晃动的问题，无法保障不同尺寸基板的稳定传输；同时现有气浮平台未集成一体化的全维度检测功能，玻璃基板的传输作业与边缘尺寸、表面外观检测作业需在不同设备上分步骤完成，玻璃基板需经过多次转运与装夹定位，不仅大幅增加了产品的生产流转节拍，还易因多次定位产生基准偏差，直接影响玻璃基板的最终检测精度，无法适配显示行业高速、高精度的量产需求。

技术实现思路

1、本发明提供一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：

3、一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，包括：机架、固定安装于机架顶部的大理石基座、设置于大理石基座上表面的分区气浮单元、气浮滚轮传输单元、检测单元以及控制单元；所述分区气浮单元用于为待检测的玻璃基板提供可调式气浮支撑，所述气浮滚轮传输单元用于吸附玻璃基板并带动其沿传输方向往复移动，所述检测单元用于对玻璃基板的边缘及正反面表面进行检测作业，所述控制单元分别与分区气浮单元、气浮滚轮传输单元、检测单元电连接并实现联动控制。

4、本发明技术方案的进一步改进在于：所述分区气浮单元包括多组呈矩阵式排布的气浮板，每组气浮板均包括气浮板体以及用于支撑气浮板体的支撑件，每组气浮板均对应设置有独立的电磁控制阀，所述电磁控制阀与控制单元电连接，用于单独控制对应气浮板的启闭与供气压力。

5、本发明技术方案的进一步改进在于：所述气浮板体为氧化铝件材质，其表面经精密研磨处理，所述支撑件为高度可调式支撑结构，所述气浮板体的内部开设有与外部供气系统连通的正压气浮气道。

6、本发明技术方案的进一步改进在于：所述气浮滚轮传输单元包括多组与分区气浮单元对应布置的气浮滚轮，每组气浮滚轮均包括安装架、固定于安装架上的伺服电机、与伺服电机输出端传动连接的吸附滚轮、以及与吸附滚轮气路连通的真空发生器，所述伺服电机与真空发生器均与控制单元电连接。

7、本发明技术方案的进一步改进在于：多组所述气浮滚轮分两列对称布置于大理石基座传输方向的左右两侧，所有气浮滚轮的伺服电机通过控制单元实现同步联动控制，所述吸附滚轮的表面开设有与内部气道连通的环形吸附槽，用于配合真空发生器实现对玻璃基板侧边的负压吸附。

8、本发明技术方案的进一步改进在于：所述检测单元包括短边检测单元、长边检测单元以及面检单元，所述短边检测单元分设于大理石基座传输方向的前后两端，所述长边检测单元分设于大理石基座传输方向的左右两侧，所述面检单元沿传输方向全行程覆盖设置于大理石基座的上下两侧。

9、本发明技术方案的进一步改进在于：所述短边检测单元包括上方前短边检单元、下方前短边检单元、下方后短边检单元、上方后短边检单元以及直线电机模组，所述上方前短边检单元与下方前短边检单元上下对应设置于大理石基座的前端，所述上方后短边检单元与下方后短边检单元上下对应设置于大理石基座的后端，各短边检单元均与对应直线电机模组的滑台固定连接，所述直线电机模组与控制单元电连接。

10、本发明技术方案的进一步改进在于：所述长边检测单元包括多组上下对应设置的上方长边检单元与下方长边检单元，每组上方长边检单元与下方长边检单元均配套设置有丝杠传动模组，所述丝杠传动模组与控制单元电连接，用于驱动对应长边检单元沿垂直于传输的方向移动。

11、本发明技术方案的进一步改进在于：所述面检单元包括上方面检单元与下方面检单元，所述上方面检单元与下方面检单元上下对称设置于大理石基座的传输路径上下两侧，所述上方面检单元与下方面检单元均配套设置有调节方向垂直于传输方向的手动微调滑台。

12、本发明技术方案的进一步改进在于：所述控制单元内置有产品尺寸适配模块与检测流程控制模块，所述控制单元外接有工业触控显示屏与供电电源，所述分区气浮单元配套设置有正负压协同供气系统，所述正负压协同供气系统与控制单元电连接。

13、由于采用了上述技术方案，本发明相对现有技术来说，取得的技术进步是：

14、本发明提供一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，通过矩阵式排布的多组独立气浮板构成的分区气浮单元，配合每组气浮板对应设置的独立电磁控制阀，可通过控制单元根据玻璃基板的实际尺寸，单独控制对应区域气浮板的启闭与供气压力，灵活调整气浮支撑区域，无需人工调整机械结构即可实现不同尺寸玻璃基板的快速换型，同时可保证玻璃基板全区域气膜支撑的均匀性，避免基板边缘气膜不稳导致的飘移、晃动问题，实现不同尺寸超薄玻璃基板的无接触、高平稳传输；集成设置于大理石基座上的短边检测单元、长边检测单元与面检单元，配合控制单元与气浮滚轮传输单元的联动控制，可在玻璃基板的稳定传输过程中，同步完成基板四边边缘与正反面全表面的全维度检测，无需将基板转运至专用检测设备，大幅缩短了产品的生产流转节拍，同时避免了多次装夹转运产生的定位基准偏差，有效提升了玻璃基板的检测精度与产线的量产效率；同时分两列对称布置、同步联动控制的多组气浮滚轮，配合真空发生器与吸附滚轮表面的环形吸附槽，可实现玻璃基板侧边的稳定负压吸附与匀速传输，进一步保障了玻璃基板传输过程中的位置精度，为检测作业提供了稳定的基准；通过可随基板尺寸自动换型的直线电机模组、丝杠传动模组，可实现各检测单元的自适应位置调整，进一步提升了设备的换型效率与检测适配性。

1.一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，其特征在于：包括：机架（3）、固定安装于机架（3）顶部的大理石基座（2）、设置于大理石基座（2）上表面的分区气浮单元（7）、气浮滚轮传输单元、检测单元以及控制单元（5）；所述分区气浮单元（7）用于为待检测的玻璃基板（1）提供可调式气浮支撑，所述气浮滚轮传输单元用于吸附玻璃基板（1）并带动其沿传输方向往复移动，所述检测单元用于对玻璃基板（1）的边缘及正反面表面进行检测作业，所述控制单元（5）分别与分区气浮单元（7）、气浮滚轮传输单元、检测单元电连接并实现联动控制。

2.根据权利要求1所述的一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，其特征在于：所述分区气浮单元（7）包括多组呈矩阵式排布的气浮板（71），每组气浮板（71）均包括气浮板体（711）以及用于支撑气浮板体（711）的支撑件（712），每组气浮板（71）均对应设置有独立的电磁控制阀，所述电磁控制阀与控制单元（5）电连接，用于单独控制对应气浮板（71）的启闭与供气压力。

3.根据权利要求2所述的一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，其特征在于：所述气浮板体（711）为氧化铝件材质，其表面经精密研磨处理，所述支撑件（712）为高度可调式支撑结构，所述气浮板体（711）的内部开设有与外部供气系统连通的正压气浮气道。

4.根据权利要求1所述的一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，其特征在于：所述气浮滚轮传输单元包括多组与分区气浮单元（7）对应布置的气浮滚轮（72），每组气浮滚轮（72）均包括安装架（721）、固定于安装架（721）上的伺服电机（722）、与伺服电机（722）输出端传动连接的吸附滚轮（723）、以及与吸附滚轮（723）气路连通的真空发生器（724），所述伺服电机（722）与真空发生器（724）均与控制单元（5）电连接。

5.根据权利要求4所述的一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，其特征在于：多组所述气浮滚轮（72）分两列对称布置于大理石基座（2）传输方向的左右两侧，所有气浮滚轮（72）的伺服电机（722）通过控制单元（5）实现同步联动控制，所述吸附滚轮（723）的表面开设有与内部气道连通的环形吸附槽，用于配合真空发生器（724）实现对玻璃基板（1）侧边的负压吸附。

6.根据权利要求1所述的一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，其特征在于：所述检测单元包括短边检测单元（4）、长边检测单元（6）以及面检单元（8），所述短边检测单元（4）分设于大理石基座（2）传输方向的前后两端，所述长边检测单元（6）分设于大理石基座（2）传输方向的左右两侧，所述面检单元（8）沿传输方向全行程覆盖设置于大理石基座（2）的上下两侧。

7.根据权利要求6所述的一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，其特征在于：所述短边检测单元（4）包括上方前短边检单元（41）、下方前短边检单元（42）、下方后短边检单元（43）、上方后短边检单元（44）以及直线电机模组（45），所述上方前短边检单元（41）与下方前短边检单元（42）上下对应设置于大理石基座（2）的前端，所述上方后短边检单元（44）与下方后短边检单元（43）上下对应设置于大理石基座（2）的后端，各短边检单元均与对应直线电机模组（45）的滑台固定连接，所述直线电机模组（45）与控制单元（5）电连接，用于驱动对应短边检单元沿垂直于传输的方向移动。

8.根据权利要求6所述的一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，其特征在于：所述长边检测单元（6）包括多组上下对应设置的上方长边检单元（61）与下方长边检单元（62），每组上方长边检单元（61）与下方长边检单元（62）均配套设置有丝杠传动模组，所述丝杠传动模组与控制单元（5）电连接，用于驱动对应长边检单元沿垂直于传输的方向移动。

9.根据权利要求6所述的一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，其特征在于：所述面检单元（8）包括上方面检单元（81）与下方面检单元（82），所述上方面检单元（81）与下方面检单元（82）上下对称设置于大理石基座（2）的传输路径上下两侧，所述上方面检单元（81）与下方面检单元（82）均配套设置有调节方向垂直于传输方向的手动微调滑台。

10.根据权利要求1所述的一种兼容不同尺寸玻璃基板传输检测的气浮平台，其特征在于：所述控制单元（5）内置有产品尺寸适配模块与检测流程控制模块，所述控制单元（5）外接有工业触控显示屏与供电电源，所述分区气浮单元（7）配套设置有正负压协同供气系统，所述正负压协同供气系统与控制单元（5）电连接。