用于吹气枪的吹气管及吹气枪的制作方法

本申请涉及半导体加工设备，特别涉及一种用于吹气枪的吹气管及吹气枪。

背景技术：

1、在半导体领域，通过塑封工艺制备得到的塑封结构存在多余的塑封胶，需要进行切除。通常采用冲切模具对塑封结构进行切割，以去除多余的塑封胶。冲切模具包括上模和下模，在进行除胶时，将塑封结构放在下模上，上模朝向下模移动以使上模的刀具将塑封结构多余的塑封胶切掉。塑封胶被切掉后会掉落在下模上。若塑封胶未从下模清理掉，后续将塑封结构放置在下模上时塑封结构与下模残留的塑封胶接触，刀具对塑封结构进行切割时，会使得塑封结构发生开裂。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种用于吹气枪的吹气管及吹气枪。

2、根据本申请实施例的第一方面，提供了一种用于吹气枪的吹气管，所述吹气管为硬管，所述吹气管包括：

3、主管段，包括第一进气口、第一出气口及位于所述第一进气口与所述第一出气口之间的开口；

4、分支管段，包括第二进气口及第二出气口，所述第二进气口与所述开口连通，所述第二出气口在所述主管段上的正投影位于所述开口远离所述第一出气口的一侧或与所述开口至少部分交叠；

5、挡板，包括位于所述主管段内的阻挡部；所述阻挡部位于所述开口朝向所述出气口的一侧；所述阻挡部包括相对的第一端和第二端，所述第一端远离所述开口且与所述主管段的内表面之间存在间隙，所述第二端靠近所述开口且与所述主管段的内表面之间无间隙。

6、在一个实施例中，所述挡板还包括与所述阻挡部相连的连接部；所述连接部位于所述分支管段内，且与所述分支管段的内表面焊接。

7、在一个实施例中，所述挡板的最大宽度小于所述开口的最大宽度及所述分支管段的最大宽度；所述连接部的表面与所述分支管段的内表面贴合。

8、在一个实施例中，所述阻挡部在与所述主管段的轴线垂直的平面上的正投影的面积为第一面积，所述主管段与其轴线垂直的截面的面积为第二面积，所述第一面积与所述第二面积的比值小于二分之一。

9、在一个实施例中，所述分支管段与其轴线垂直的截面的面积为第三面积，所述第三面积小于所述第二面积。

10、在一个实施例中，所述第一面积与所述第二面积的比值大于或等于三分之一。

11、在一个实施例中，所述主管段的轴线与所述分支管段的轴线之间的夹角范围为30°~60°。

12、在一个实施例中，所述第一进气口与所述开口之间的距离大于所述第一出气口与所述开口之间的距离；和/或，

13、所述第一出气口与所述开口之间的距离范围为8cm~10cm；和/或，

14、所述第一出气口与所述开口之间的距离小于所述第二出气口与所述开口之间的最大距离。

15、根据本申请实施例的第二方面，提供了一种吹气枪，所述吹气枪包括枪体及上述的吹气管，所述吹气管与所述枪体相连。

16、在一个实施例中，所述枪体包括主体部及位于所述主体部一侧的手持开关，所述手持开关与所述分支管段位于所述主管段的同一侧。

17、本申请实施例提供的用于吹气枪的吹气管及吹气枪，通过设置位于主管段内的阻挡部，阻挡部的第一端远离开口且与主管段的内表面之间存在间隙，第二端靠近开口且与主管段的内表面之间无间隙，则通过第一进气口进入主管段的气体中，部分气体可通过阻挡部的第一端与主管段的内表面之间的间隙流向第一出气口并通过第一出气口流出，另一部分气体被阻挡部阻挡并流向分支管段，最终通过分支管段的第二出气口流出；也即是吹气管中的气体可同时经过主管段的第一出气口及分支管段的第二出气口流出以对下模的承载面进行吹扫；由于分支管段的第二出气口在主管段上的正投影位于开口远离第一出气口的一侧，或与开口至少部分交叠，则第二出气口吹出的气体可对下模的承载面靠近操作人员的角落处的塑封胶进行吹扫，将该角落处的塑封胶吹掉；主管段的第一出气口吹出的气体可对下模的非边缘区域及其他角落处的塑封胶进行吹扫将其吹掉。可知，本申请实施例提供的吹气管，可使得其所属的吹气枪将下模的承载面的塑封胶吹扫干净，避免塑封胶残留导致上模的刀具对塑封结构进行冲切时塑封结构发生开裂的问题，可提升塑封结构的良率。

1.一种用于吹气枪的吹气管，其特征在于，所述吹气管为硬管，所述吹气管包括：

2.根据权利要求1所述的用于吹气枪的吹气管，其特征在于，所述挡板还包括与所述阻挡部相连的连接部；所述连接部位于所述分支管段内，且与所述分支管段的内表面焊接。

3.根据权利要求2所述的用于吹气枪的吹气管，其特征在于，所述挡板的最大宽度小于所述开口的最大宽度及所述分支管段的最大宽度；所述连接部的表面与所述分支管段的内表面贴合。

4.根据权利要求1所述的用于吹气枪的吹气管，其特征在于，所述阻挡部在与所述主管段的轴线垂直的平面上的正投影的面积为第一面积，所述主管段与其轴线垂直的截面的面积为第二面积，所述第一面积与所述第二面积的比值小于二分之一。

5.根据权利要求4所述的用于吹气枪的吹气管，其特征在于，所述分支管段与其轴线垂直的截面的面积为第三面积，所述第三面积小于所述第二面积。

6.根据权利要求4所述的用于吹气枪的吹气管，其特征在于，所述第一面积与所述第二面积的比值大于或等于三分之一。

7.根据权利要求1所述的用于吹气枪的吹气管，其特征在于，所述主管段的轴线与所述分支管段的轴线之间的夹角范围为30°~60°。

8.根据权利要求1所述的用于吹气枪的吹气管，其特征在于，所述第一进气口与所述开口之间的距离大于所述第一出气口与所述开口之间的距离；和/或，

9.一种吹气枪，其特征在于，所述吹气枪包括枪体及权利要求1至8任一项所述的吹气管，所述吹气管与所述枪体相连。

10.根据权利要求9所述的吹气枪，其特征在于，所述枪体包括主体部及位于所述主体部一侧的手持开关，所述手持开关与所述分支管段位于所述主管段的同一侧。