一种光线观察装置的制作方法

本申请涉及微电子器件制造相关的，特别是涉及一种光线观察装置。

背景技术：

1、等离子体刻蚀工艺通过射频激励将反应气体（如cxfy、o2、ar等）电离形成等离子体，在容性耦合（ccp）或感性耦合（icp）腔体的电场作用下，通过物理轰击与化学反应对晶圆表面进行图案刻蚀。其中，icp发射光谱分析通过激发、分光、检测三步实现终点监测：等离子体使样品原子化并激发发光，光谱仪分解光信号后通过光强分析反应进程。

2、现有技术中，刻蚀腔体侧壁安装蓝宝石光线接收窗口，通过光纤将光信号传输至光谱仪。然而，蓝宝石窗长期接触等离子体后，内壁会沉积薄膜或聚合物，导致光信号衰减，影响终点判断精度，需定期更换维护。更换时需将腔体泄压至大气环境，若工艺涉及毒性气体还需氮气长时间吹扫，不仅操作繁琐，还导致设备停机，影响生产效率。这一结构缺陷成为制约刻蚀工艺稳定性和设备利用率的关键问题。

技术实现思路

1、本申请的目的在于，提供一种光线观察装置，以提高光线接收窗口的使用寿命，提高刻蚀效率。

2、为解决上述技术问题，本申请提供一种光线观察装置。

3、本申请的光线观察装置，包括：

4、气体通道，具有进气口和出气口，所述进气口用于连接反应气体的气源，所述出气口用于与等离子刻蚀装置的反应腔室连接以向等离子刻蚀装置的反应腔室内通入反应气体；

5、光线接收窗口，设置在所述气体通道上，所述光线接收窗口与所述出气口之间形成有供等离子体刻蚀产生的光线通过的光路，所述光路位于所述气体通道内；所述气体通道能够约束反应气体，使反应气体对所述光线接收窗口表面进行吹扫并阻碍刻蚀产生的等离子体团接触所述光线接收窗口；

6、匀气屏蔽件，设置在所述气体通道的出气口，用于分散反应气体并对等离子体团及射频进行限制，所述匀气屏蔽件中设置有多个匀气屏蔽孔。

7、进一步地，所述匀气屏蔽孔具有进口和出口，所述出口的横截面积小于所述进口的横截面积，所述匀气屏蔽孔的靠近所述气体通道的一端为所述进口，所述匀气屏蔽孔的远离所述气体通道的一端为所述出气口。

8、进一步地，所述气体通道包括相互连接的第一通道段和第二通道段，所述第一通道段和所述第二通道段均具有第一端和第二端，所述第一通道段的第一端具有所述出气口，所述第二通道段的第二端构成所述进气口，所述第一通道段的第二端安装有所述光线接收窗口，所述第一通道段的第二端与所述第二通道段的第一端连接。

9、进一步地，所述第一通道段和所述第二通道段之间具有设定夹角，所述设定夹角大于80°小于100°。

10、进一步地，所述第一通道段的第二端上设置有第一接口，所述第一接口处固定安装有透镜以形成所述光线接收窗口。

11、进一步地，所述第一接口为法兰接口。

12、进一步地，所述第一接口处设置有用于对所述透镜进行限位的限位件，所述限位件上设置有用于将所述限位件固定在所述第一接口处的固定件。

13、进一步地，所述固定件为固定螺栓。

14、进一步地，所述第一通道段的第二端上还设置有第二接口，所述第二接口为法兰接口且与所述第二通道段的第一端连接。

15、进一步地，还包括收集件，用于从所述光线接收窗口处接收等离子体刻蚀产生的光线。

16、相比于现有技术，本申请至少具有以下有益效果：

17、本申请通过将光线接收窗口设置在气体通道上，而不是直接暴露在反应腔室内，利用了气体通道作为光线传输路径，在此过程中，一方面，反应气体向出气口处的定向流动有效阻挡了反应腔室内的等离子体团直接接触光线接收窗口，另一方面，持续流动的反应气体还能对光线接收窗口表面进行吹扫，使得光线接收窗口更不容易被污染，配合匀气屏蔽件，有效阻挡等离子体团和射频进入气体通道，防止工艺气体在气体通道内解离成等离子体团。因此，本申请的光线接收窗口表面不容易沉积薄膜或聚合物，使用寿命较长，不需要频繁更换，在与等离子刻蚀装置配合使用时，能够提高等离子刻蚀装置的刻蚀效率。

1.一种光线观察装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光线观察装置，其特征在于，所述匀气屏蔽孔具有进口和出口，所述出口的横截面积小于所述进口的横截面积，所述匀气屏蔽孔的靠近所述气体通道的一端为所述进口，所述匀气屏蔽孔的远离所述气体通道的一端为所述出气口。

3.根据权利要求1所述的光线观察装置，其特征在于，所述气体通道包括相互连接的第一通道段和第二通道段，所述第一通道段和所述第二通道段均具有第一端和第二端，所述第一通道段的第一端具有所述出气口，所述第二通道段的第二端构成所述进气口，所述第一通道段的第二端安装有所述光线接收窗口，所述第一通道段的第二端与所述第二通道段的第一端连接。

4.根据权利要求3所述的光线观察装置，其特征在于，所述第一通道段和所述第二通道段之间具有设定夹角，所述设定夹角大于80°小于100°。

5.根据权利要求3所述的光线观察装置，其特征在于，所述第一通道段的第二端上设置有第一接口，所述第一接口处固定安装有透镜以形成所述光线接收窗口。

6.根据权利要求5所述的光线观察装置，其特征在于，所述第一接口为法兰接口。

7.根据权利要求5所述的光线观察装置，其特征在于，所述第一接口处设置有用于对所述透镜进行限位的限位件，所述限位件上设置有用于将所述限位件固定在所述第一接口处的固定件。

8.根据权利要求7所述的光线观察装置，其特征在于，所述固定件为固定螺栓。

9.根据权利要求3所述的光线观察装置，其特征在于，所述第一通道段的第二端上还设置有第二接口，所述第二接口为法兰接口且与所述第二通道段的第一端连接。

10.根据权利要求2所述的光线观察装置，其特征在于，还包括收集件，用于从所述光线接收窗口处接收等离子体刻蚀产生的光线。